Pengaruh Variasi Temperatur Sintesa, Temperatur Operasi dan Konsentrasi gas CO terhadap Sensitivitas Sensor Gas Co dari Material ZnO

Transkripsi

1 JURNAL TEKNIK POMITS Vol. 3, No. 1, (2014) ISSN: ( Print) F-73 Pengruh Vrisi Tempertur Sintes, Tempertur Opersi dn Konsentrsi gs CO terhdp Sensitivits Sensor Gs Co dri Mteril ZnO Endh Lutfin, Dr. Dih Susnti, S.T, M.T. Teknik Mteril dn Metlurgi, Fkults Teknologi Industri, Institut Teknologi Sepuluh Nopemer (ITS) Jl. Arief Rhmn Hkim, Sury Indonesi E-mil: Astrk Kron monoksid ( CO ) merupkn gs yng tidk erwrn dn tidk eru yng dihsilkn dri proses pemkrn yng tidk sempurn. Gs ini sngt erun gi tuuh mnusi kren sift iologiny yng mmpu eriktn dengn hemogloin yng mn ertugs memw oksigen dlm drh, sehingg kdr oksigen dpt menurun drstis dn menyekn kerunn hkn kemtin. Sehingg diutuhkn sutu lt pendeteksi tu sensor untuk mendeteksi dny gs terseut.oksid metl seringkli digunkn untuk mteril sensor. ZnO merupkn sutu mteril semikonduktor yng telh digunkn untuk pliksi sensor. Dlm penelitin ini pemutn sensor ZnO dilkukn dengn mengoksidsi seruk Zn pd vrisi tempertur 800, 850, 900 o C selm 40 menit. Selnjutny diut pelet sensor dengn mengkompksi seruk ZnO hsil Oksidsi dengn teknn 200 Br. Pelet kemudin disinter dengn tempertur 500 o C. Setelh itu dilkukn pengujin SEM, XRD, dn uji Sensitivits dengn vrisi tempertur opersi 30, 50, 100 o C dn vrisi konsentrsi 10 ppm, 50 ppm, 100 ppm, 250 ppm, 500 ppm. Dri hsil pengujin didptkn nili sensitivits tertinggi pd tempertur sintes 800 o C dengn konsentrsi gs CO 500 ppm pd tempertur opersi sensor 100 o C yitu seesr 0,52. Kt Kuni ZnO, Sensitivits, Sensor gs CO. I. PENDAHULUAN ron monoksid ( CO ) merupkn gs erhy Kyng mempunyi iri khs tidk erwrn dn tidk mempunyi u (odorless). Gs ini dihsilkn dri proses pemkrn yng tidk sempurn dri mteril yng erhn dsr kron seperti kyu, tu r, hn kr minyk dn zt-zt orgnik linny [1]. Krkteristik iologik yng sngt penting dri CO dlh kemmpunny untuk eriktn dengn hemogloin, pigmen sel drh merh yng mengkut oksigen keseluruh tuuh. Sift ini menghsilkn pementukn kroksihemogloin (HCO) yng 200 kli leih stil dindingkn oksihemogloin (HO 2 ). Pengurin HCO yng reltif lmt menyekn terhmtny kerj molekul sel pigmen terseut dlm fungsiny memw oksigen keseluruh tuuh. Kondisi seperti ini is erkit serius, hkn ftl, kren dpt menyekn kerunn Kren sift gs CO yng tidk dpt dirskn oleh inder mnusi dn hy dri gs CO terseut gi tuuh mnusi, mk diperlukn sutu lt pendeteksi yng dpt mendeteksi dny gs kron monoksid yng d di udr sehingg tidk smpi terhirup oleh mnusi. Penelitin mengeni oksid metl muli erkemng lus kren pliksiny yng ukup nyk. Apliksi dri metl oksid ntr lin sensor gs erun, optoelektrokromik sert modulsi optikl, fotoktlis, desin permukn hidrofilik, dn ktlis. Sedngkn metl oksid yng isny digunkn untuk pemutn sensor dlh TiO 2, SnO 2, ZnO, dn WO 3,. [2]. Segi slh stu hn yng pling menonjol untuk sensor gs, ZnO sudh menunjukkn respon yng ik terhdp gs polutn seperti H 2 S,NOx, dn enszen [3] dn gs seperti H 2, CO, ethnol dn etone [4]. Slh stu sintes ZnO yng pernh dilkukn di lortorium Kimi Mteril yitu dengn Chemil Vpour Trnsport (CVT). Nmun pd metode terseut memutuhkn sustrt lumin dn sputtering Pd/Au yng hrgny ukup mhl. Selin itu proses yng dilkukn menggunkn Horizontl furne yng mn ukup sulit dlm proses sintesny. Sehingg diperlukn sutu r untuk mensintes ZnO dengn metode yng murh dn sederhn nmun mempunyi sensitifits yng sngt ik terhdp dny gs CO. Oleh kren itu dlm penelitin ini dilkukn proses Sintes ZnO dri seruk Zn dengn r oksidsi pemnsn ser lngsung untuk mendptkn ZnO dengn mudh nmun mempunyi sensitifits yng mksiml terhdp gs CO. II. METODOLOGI A.Prosedur Sintes Zin Oxside (ZnO) Sintes Seng Oksid (ZnO) yng digunkn segi mteril sensor gs CO yitu mellui pemnsn dlm muffle furne. Seruk Seng dengn ukurn <45 µ terleih ditimng dengn ner nlitik dengn jumlh 3 smpel yng msing msing 2 gr. Setelh itu diletkkn didlm ruile yng nntiny kn dimsukkn kedlm muffle furne. Dri ketig smpel terseut dipnskn didlm muffle furne dengn vrisi tempertur 800, 850, dn 900 o C selm 40 menit. Kemudin

2 JURNAL TEKNIK POMITS Vol. 3, No. 1, (2014) ISSN: ( Print) F-74 dilkukn pendinginn didlm furne. Proses sintes ini dilkukn dengn oksidsi terml menggunkn oksigen yng diperoleh dri tmosfer st proses pemnsn didlm furne. Setelh didptkn ZnO dri hsil pemnsn terseut, kemudin dihnurkn menggunkn mortr. Proses ini ertujun untuk mereduksi ukurn dri ZnO yng telh terentuk sehingg seruk yng terentuk mempunyi ukurn yng leih keil. B. Proses Kompksi seruk Penelitin mengeni sensor dlm entuk pelet seelumny pernh dilkukn oleh [5] yng memut pelet sensor gs LPG dri mteril WO 3. Seruk WO 3 yng telh dimilling kemudin dikompksi (old press) pd etkn. Seruk WO 3 yng didpt dri proses sol-gel dn post hydrotherml dikompksi dengn teknn 150 r pd etkn (dies). Proses pemutn pelet menggunkn metode kompksi menggunkn lt press. Proses pementukn dlh erup hn seruk ZnO yng telh dishieving dimsukkn kedlm etkn (die) kemudin dilkukn kompksi (omption). Setelh dikompksi seruk mementuk green ody yng sesui dengn entuk etkn. Green ody terseut kemudin disinter tujunny dlh gr terjdi proses difusi ntr prtikel kn menytu, dn terentuk logm yng pdt [6]. Proses kompksi ini dilkukn dengn teknn seesr 200 Br. Setelh terentuk Green ody dilkukn sinter pd tempertur 500 o C hl ini ertujun gr pelet ZnO terseut mempunyi kekutn yng leih ik sehingg tidk mudh peh. C. Metode Pengujin Sensitivits Spesimen sensor ZnO yng sudh terkompksi dn disinter selnjutny kn dilkukn pengukurn sensitivitsny dengn menggunkn potensiostt. Pengujin ini dilkukn pd seuh hmer (rung) yng terut dri hn stinless steel dn teknn di dlm hmer dinggp teknn dlm tmosfer yng konstn (1 tm). Chmer ini dirngkikn dengn perltn penunjng, rngkin ini sering diseut dynmi gs instltion Thp pertm pd pengujin ini dlh persipn hmer, selnjutny tempertur di ontrol pd 30 0 C mellui thermoontroller. Heter yng digunkn erup kwt niklin ø 0.3 mm sepnjng 10 meter dn dientuk spirl yng ditemptkn didlm tu thn pi. Kemudin resistnsi udr (R o ) diukur. Setelh diukur R o, mpurn gs CO dn udr dimsukkn dengn rsio konsentrsi gs CO seesr 10 ppm, 100 ppm, 250 ppm, 500 ppm. Selnjutny didptkn thnn setelh terppr gs CO Peron diulngi untuk tempertur sensor 50 o C dn 100 o C dengn rsio konsentrsi CO yng sm. kemudin didptkn nili sensitivitsny dengn persmn S = R g -R o /R o Dimn S dlh sensitivits sensor, Rg dlh resistnsi setelh diliri gs CO dn dinytkn dlm ohm (Ω), dn Ro dlh resistnsi seelum diliri gs CO dlm ohm (Ω). Gmr.1 Perndingn pol difrksi pelet ZnO seelum disinter 800 o C, 850 o C, dn 900 o C. Gmr 2 Perndingn pol difrksi pelet ZnO seelum disinter 800 o C, 850 o C, dn 900 o C. III. ANALISA DATA DAN PEMBAHASAN A. Hsil Uji XRD Pengujin XRD dilkukn menggunkn lt Philips Anlytil, pd smpel ZnO seelum disinter, sesudh disinter, dn sesudh dilkukn uji senisitivits. Pengujin XRD ZnO dilkukn dengn sinr X menggunkn pnjng gelomng seesr 1,54056 Å dn rnge sudut o. Hsil pengujin XRD seruk ZnO seelum disinter ditunjukkn pd gmr.1. Hsil terseut ersesuin dengn JCPDF numer Ketig tempertur sintes terseut hsilny mementuk ZnO ser keseluruhn, dn tidk terliht dny prtikel Zn lgi. Pol XRD pd tempertur sintes 800 o C, 850 o C, dn 900 o C menunjukkn orientsi kristl (101) pd 2θ o, (100) pd o, (002) pd o. Dri ketig vrisi tempertur sintes terseut mempunyi struktur kristl heksgonl. Peredn hsil XRD ketig vrisi tempertur sintes terseut yitu pd tinggi intensits. Pd tempertur sintes 800 o C memiliki intensits punk yng leih tinggi dindingn tempertur 850 o C dn 900 o C. Semkin tinggi tempertur sintes mengkitkn penurunn intensits pek. Dri dt FWHM dikethui seiring dengn kenikn tempertur didptkn FWHM yng semkin keil. Hl ini mengindiksikn kulits kristl yng semkin ik [7]. Smpel ZnO yng telh disinter dilkukn pengujin XRD untuk

3 JURNAL TEKNIK POMITS Vol. 3, No. 1, (2014) ISSN: ( Print) F-75 Tel.1 Perndingn ukurn kristl dengn vrisi tempertur sintes seelum disinter Tempertur Sintes λ (Å) B(rd) θ ( o ) D (Å) Ɛ ( o C) Tel.2 Perndingn ukurn kristl dengn vrisi tempertur sintes setelh disinter (seelum terppr gs CO) Gmr.3 Perndingn pol Difrksi pelet ZnO 800 o C, 850 o C, dn 900 o C sesudh terppr gs CO meliht dny peruhn pd smpel selm proses sinter. Tujun sintering sendiri yitu gr terjdi iktn permukn prtikel seruk ZnO. Hsil pengujin XRD pelet ZnO setelh disinter ditunjukkn pd gmr.2 Dri gmr 2 menunjukkn hsil yng msih ersesuin dengn JCPDF numer Artiny tidk d peruhn fs tu terentuk fs lin selin ZnO selm proses sintering. Dri dt FWHM didptkn ler FWHM pd smpel ZnO 800 o C, 850 o C, dn 900 o C erturut turut , , dn Dri dt FWHM ini dpt dikethui hw terjdi penurunn kulits kristl setelh proses sintering untuk ketig smpel. Untuk mengethui leih lnjut dny peruhn pd smpel setelh dilkukn pengujin sensitivits mk dilkukn pul pengujin XRD pd pelet ZnO setelh penguji. Gmr.3 menunjukkn hsil XRD pelet setelh diuji sensitivits. Sesui dengn gmr 3 didptkn hw hsil pengujin XRD ersesuin dengn JCPDF numer untuk ketig smpel dengn vrisi tempertur ZnO 800 o C, 850 o C, dn 900 o C. Ketig smpel terseut memiliki struktur kristl heksgonl wurtzite. Ketig smpel ZnO dengn vrisi tempertur sintes mempunyi stu fs yng sm dn tidk eruh setelh terppr gs CO. Sehingg untuk mengethui peredn dri ketig smpel setelh terppr yitu dengn memndingkn ler FWHM. Dri dt FWHM dikethui dri ketig smpel ZnO 800 o C, 850 o C, dn 900 o C erturut turut yitu , dn , Sehingg dpt disimpulkn hw tidk terjdi peruhn kristlissi. Keuli pd smpel 800 o C dimn terjdi pelern FWHM yng mengindiksikn dny penurunn ukurn kristl. Ukurn kristl ketig smpel ZnO dihitung menggunkn Sherrer s formul. 0.9λ D = B osθ Dri ketig vrisi tempertur sintes ditunjukkn pd tel.1 yng mn ukurn kristl semkin esr dengn kenikn tempertur sintes. Ukurn kristl teresr yitu pd tempertur sintes 900 o C yitu seesr Å. Sedngkn Tempertur Sintes ( o C) λ (Å) B(rd) θ ( o ) D (Å) Ɛ Tel.3 Perndingn ukurn kristl dengn vrisi tempertur sintes sesudh terppr gs CO Tempertur Sintes ( o λ (Å) B(rd) θ ( o ) D (Å) C) Ɛ pd tempertur 850 o C dn 800 o C mempunyi ukurn kristl yng enderung sm esr yitu seesr Å dn Å. Pertumuhn kristl terjdi seiring dengn ertmhy tempertur pemnsn Zink. Perndingn ukurn kristl ntr seelum disinter dn sesudh disinter ditunjukkn tel 2 dn 3. Dri tel terseut terliht hw terjdi penurunn ukurn kristl dri mteril ZnO pd semu vrisi tempertur sintes. Penurunn ukurn kristl teresr terjdi pd smpel ZnO 900 o C yng ukup signifikn dri Å menjdi Å yng jug memiliki peruhn mikro strin yng pling esr. Sedngkn pd tel 3 menunjukkn ukurn kristl setelh pelet terppr gs CO (setelh dilkukn pengujin sensitivits). Pd tempertur pemnsn 800 o C menglmi penurunn ukurn kristl setelh terppr gs CO. Nmun pd tempertur 850 o C dn 900 o C menglmi peningktn ukurn meskipun peningktnny sngt keil. Pd tempertur 800 o C menglmi penurunn dri Å menjdi Å. Sedngkn pd tempertur 850 o C dn tempertur 900 o C mempunyi ukurn yng reltive sm. Selin itu nili mikro strin jug menglmi penurunn meskipun sngt keil. Sehingg dpt disimpulkn hw peruhn ukurn kristl terjdi selm proses sintering. Selm proses pengujin sensitifits digunkn tempertur 30 o C, 50 o C dn 100 o C. Adny peruhn ukurn kristl ini kemungkinn dikitkn pengruh tempertur neling yng enderung memeh prtikel sehingg mempunyi ukurn kristl yng leih keil.

4 JURNAL TEKNIK POMITS Vol. 3, No. 1, (2014) ISSN: ( Print) F-76 Gmr.4 Pengmtn SEM ZnO hsil Oksidsi vrisi tempertur ) 800 o C, ) 850 o C, dn ) 900 o C pd peresrn x Gmr.6 Pengmtn SEM pd pelet Zink Oksid seelum proses sinter peresrn x ) 800 o C, ) 850 o C, dn ) 900 o C Gmr.5 Pengmtn SEM seruk Zink Oksid peresrn x yng telh menglmi Oksidsi pd ) 800 o C, ) 850 o C, dn ) 900 o C B. Hsil Uji SEM Pengujin SEM (Snning Elektron Mirosope) dengn menggunkn lt FEI S-50 yng ertujun untuk mengmti morfologi dri pelet ZnO. Mteril ZnO yng diuji SEM meliputi hsil sintes ZnO seelum dihnurkn menjdi seruk, ZnO setelh dihnurkn, ZnO setelh dikompksi menjdi pelet dn Pelet ZnO setelh terppr gs CO. Gmr.3 menunjukkn morfologi seruk Zink yng digunkn segi prekursor ZnO. Dri hsil SEM terseut menunjukkn seruk Zink erentuk ellipsoid dengn ukurn ntr 1,161 µm 16,44 µm. Setelh seruk Zink dipnskn pd vrisi tempertur 800 o C, 850 o C, 900 o C selm 40 menit. ZnO hsil Oksidsi seruk Zink erup pdtn erwrn putih. Hsil SEM ZnO hsil pemnsn seelum dihnurkn menjdi seruk ditunjukkn pd gmr 4. Dri gmr.4 terliht gmr ZnO hsil pemnsn pd Gmr.7 Pengmtn SEM pd pelet Zink Oksid setelh proses sinter pd peresrn x. ) 800 o C, ) 850 o C, dn ) 900 o C tempertur 800 o C mempunyi pori yng leih nyk dindingkn dengn pd tempertur 850 o C dn 900 o C. Apil sutu mteril mempunyi porosits yng esr mk kn menyekn lus permukn yng leih esr pul pd mteril. Dengn demikin ZnO hsil oksidsi terml pd tempertur 800 o C memiliki lus permukn yng leih esr dindingkn dengn tempertur linny. Seiring dengn kenikn tempertur mk porosits kn semkin erkurng. [8]. Selnjutny ZnO yng terentuk dri hsil oksidsi seruk Zink dihnurkn dengn menggunkn mortr untuk mereduksi ukurn prtikel ZnO. Struktur morfologi seruk ZnO seelum dikompksi

5 JURNAL TEKNIK POMITS Vol. 3, No. 1, (2014) ISSN: ( Print) F-77 Tel 4. Ukurn prtikel seruk ZnO pd setip tempertur pemnsn Tempertur ( o C) Ukurn prtikel (µm) Seelum disinter Sesudh disinter 800 1, ,83-1, ,75-4,52 1,16-5, ,66-5,93 1,48 6,22 Tel 5. Lusn Surfe re smpel uji ZnO hsil pengujin BET Feture Tempertur ( o C) BET Surfe Are (m 2 /g) mementuk gregt. Dri hsil pengujin SEM ini dpt diktkn tidk terjdi peruhn dlm struktur morfologi pelet ZnO kit terppr gs CO. Gmr.8 Pengmtn SEM pd pelet Zink Oksid setelh terppr gs CO peresrn x ) 800 o C, ) 850 o C, dn ) 900 o C ditunjukkn pd gmr 5 yng mn terliht ukurn prtikel irregulr. Pd tempertur 900 o C mempunyi ukurn prtikel yng leih esr dindingkn pd tempertur 800 o C dn 850 o C. Nmun dri ketig vrisi sintes terseut enderung memiliki ukurn prtikel yng tidk homogen. Kemudin seruk ZnO terseut dikompksi dengn teknn 200 Br dn dilkukn sintering. Seelum dn sesudh disinter dilkukn pengujin SEM untuk meliht struktur morfologi seelum dn setelh disinter. Gmr 6 dn 7 menunjukkn struktur morfologi pelet seelum dn sesudh disinter. Seelum dilkukn sinter tmpk dri ketig smpel ZnO memilik pori yng leih nyk dindingkn sesudh disinter. Meskipun struktur morfologi seelum dn sesudh ukup sulit diedkn, nmun pd gmr 7() terliht susunn prtikel yng leih rpt dindingkn pd gmr 6. Hl ini mengindiksikn hw terjdi iktn ntr permukn prtikel ZnO selm proses neling, meskipun tidk terllu signifikn. Bentuk prtikel ik gmr 6 mupun 7 memiliki entuk yng irregulr dn enderung mementuk gregt. Persern prtikel untuk setip vrisi tempertur sintes ik seelum mupun sesudh disinter terliht tidk rt. Setelh disinter, pelet ZnO kemudin dilkukn pengujin sensitivits untuk mengethui nili sensitivitsny terhdp gs kron monoksid. Struktur morfologi pelet setelh terppr ditunjukkn pd gmr 8. Gmr.8 menunjukkn pelet ketig vrisi tempertur pemnsn setelh terppr gs CO. Ketig pelet terseut memiliki morfologi yng tidk juh ered dengn seelum terppr gs CO. Persern prtikel tidk mert dn C. Hsil Uji BET Pengujin BET mteril seruk ZnO dilkukn untuk mengethui permukn ktif seruk ZnO terhdp gs nitrogen. Hsil pengujin BET merupkn lusn permukn ktif smple dlm stun m 2 /gr. Hsil pengujin BET mteril seruk ZnO ditunjukkn pd tel 5. Dri hsil terseut dikethui hw semkin tinggi tempertur sintes kn menurunkn lus permukn ktif mteril. Hl ini dikrenkn semkin nyk prtikel yng eriktn pd tempertur yng leih tinggi. Akitny lus permukn mteril kn semkin erkurng dengn dny kenikn tempertur. Lus permukn ktif ini erpengruh terhdp nili sensitivits sensor ZnO. Semkin esr lus permukn ktif rtiny semkin nyk lusn yng mmpu mengdsorsi gs kron monoksid. D. Hsil Uji Sensitivits Hsil pengujin sensitivits sensor ditunjukkn pd gmr 9. Pd tempertur sintes 800 o C memiliki nili sensitivits yng pling esr yitu seesr 0,515 jik dindingkn dengn tempertur sintes 850 o C dn 900 o C. Peningktn tempertur menyekn pementukn mesopores yng leih nyk dn meningktkn volume pori sehingg lus permukn reltive semkin keil. Lus permukn ktif mempengruhi peyerpn gs CO pd permukn sensor Seiring dengn nikny tempertur opersi sensor dn konsentrsi gs CO, mk nili sensitivits jug kn semkin esr. Grfik pd gmr 9 menunjukkn dny peningktn nili sensitivits seiring dengn peningktn tempertur opersi dri 30 o C, 50 o C, hingg 100 o C. Nili sensitivits terseut nik pd semu konsentrsi gs CO yng dierikn. Prinsip kerj sensor ZnO ini menggunkn prinsip hemisorsi, dimn gs CO yng terdsor kedlm permukn pelet ZnO ereksi dengn Oksigen dsor. Oksigen dsor yitu Oksigen dri udr yng telh eriktn dengn elektron dri ZnO dn terentuk dipermukn ZnO. Oksigen dsor dn gs CO ini kemudin erksi dn mementuk gs CO 2 dn melepskn eletron. Ketik sensor terekspose oleh gs yng dideteksi, gs terseut kn ereksi dengn oksigen yng tersor oleh permukn sensor terseut. Inilh yng mengkitkn timulny peruhn resistnsi pd sensor. [9] seperti ditunjukkn persmn 1 dn 2. Oksidsi: 1/2 O g 2 + e - O d-..(1) Reduksi: CO + O d- CO g 2 + e - (2) Hl inilh yng menyekn dny peruhn resistnsi

6 JURNAL TEKNIK POMITS Vol. 3, No. 1, (2014) ISSN: ( Print) F-78 () IV. KESIMPULAN Mteril ZnO segi hn pemutn sensor dpt diperoleh mellui Oksidsi terml seruk Zink. Hsil pengujin XRD terhdp mteril dengn vrisi tempertur sintes 800oC, 850o C, dn 900o C menunjukkn hw mteril yng dihsilkn memiliki struktur kristl heksgonl (JCPDF no ). Pelet sensor ZnO diut dengn kompksi menggunkn teknn 200 r, dn dieri proses sintering hingg 500o C gr leih kut dn tidk mudh rpuh. Hsil pengujin sensitivits menunjukkn dny penurunn sensitivits seiring kenikn tempertur Oksidsi. Hl ini dipengruhi lus permukn ktif ketig smpel. Dimn lus permukn yng pling esr terdpt pd tempertur 800oC. Nili sensitivits terendh terdpt pd tempertur opersi 30o C dn pd smpel pelet ZnO tempertur Oksidsi 900 o C yitu 0,026 dn tertinggi pd tempertur opersi 100 o C dn pd smpel 800 o C yitu 0,52 dengn konsentrsi 500 ppm. Semkin tinggi konsentrsi gs CO dn tempertur opersi mk sensitivits jug kn semkin meningkt. () () (d) Gmr 9. Hsil pengujin sensitivits terhdp tempertur opersi pd konsentrsi gs )10ppm, )100ppm, )250ppm, d)500ppm. pd sensor. Pd tempertur opersi sensor yng rendh, didptkn nili sensitivits yng leih rendh pul. Hl ini dikrenkn molekul CO tidk memiliki energy terml yng ukup untuk ereksi dengn Oksigen dsor [10]. Seiring dengn kenikn tempertur mk energy terml yng diterim sensor kn semkin esr pul. sehingg dpt meningktkn nili sensitivits. DAFTAR PUSTAKA [1] W.L. Ko,, dn N. Kristine, A, Cron Monoxide Poisoning. Emerg Med Clin N Arn (2004) [2] S.H Wng, C.C. Tse dn C.L. Chung, Nno-rystlline tungsten oxide NO 2 sensor. Sensors nd Atutors B 94 (2003): [3] D. Clestni, M. Zh, R. Mos, A. I. Zppettin, M.C Crott, V.D. Ntle, dn L. Znotti, Growth of ZnO tetrpods for nnostruture-sed gs sensors. Sensors nd Atutors B 144 (2010): [4].W.T. Moon, Y.K. Jun, H.S. Kim, W.S. Kim, W, dn S.H. Hong, CO gs sensing propertiesin Pd- dded ZnO sensor. Eletroerm 23 (2009): [5] D. J. D.Kusum,., dn D. Susnti Pengruh Vrisi Tempertur Opersi dn Konsentrsi Gs Terhdp Sensitifits Sensor Gs LPG dri Mteril WO3 Hsil Proses Sol-Gel dn Post Hydrotherml.Skripsi S1 Jurusn Teknik Mteril dn Metlurgi ITS. [6] Rusinto, Toto dn Setyn, D. Liliki Pengruh Kdr TiO 2 Terhdp Kekutn Bending Komposit Seruk Al/TiO 2. Jurnl Teknik Mesin, Fkults Teknologi Industri, Universits Kristen Petr. [7] M. R. Khnlry, Vhid, dn R Ali, Synthesis nd Chrteriztion of ZnO Nnowires y Therml Oxidtion of Zn Thin Films t Vrious Tempertures, Moleules 17 (2012), [8] G. Dutt, dn B. Dipnkr, Effet of Sintering Temperture on Density, Porosity nd Hrdness of Powder Metllurgy Component. Interntionl Journl of Emerging Tehnology nd Advned Engineering Wesite. ISSN (2012) Volume 2. [9] L.H. Nguyen, E. Ahn, H. Jung, H. Kim dn D. Kim, Synthesis nd Gs Sensing Properties of ZnO Nnostrutures. Journl of the Koren Physil Soiety, Vol. 57, pp (2010) [10] L.Y. Chueh, C. F Chen, dn J.P. Leu, Frition nd CO Sensing Properties of Mesostrutured ZnO Gs Sensors. Journl of The Eletrohemil Soiety. 156(2008) (1) J16-J19.