PENGARUH FRAKSI MOL Mn/Ga LARUTAN TERHADAP KOMPOSISI DAN MIKRO STRUKTUR LAPISAN TIPIS GaN: Mn YANG DIDEPOSISI METODE SOL-GEL
|
|
- Glenna Budiaman
- 7 tahun lalu
- Tontonan:
Transkripsi
1 MT-45 PENGARUH FRAKSI MOL Mn/Ga LARUTAN TERHADAP KOMPOSISI DAN MIKRO STRUKTUR LAPISAN TIPIS GaN: Mn YANG DIDEPOSISI METODE SOL-GEL Heri Sutanto 1), Iis Nurhasanah 1), Istadi 2) 1) Jurusan Fisika, FSM Universitas Diponegoro 2) Jurusan Teknik Kimia, FT Univeristas Diponegoro Jl. Prof. Soedharto, SH Tembalang Semarang Telepon (024) Disajikan Nop 2012 ABSTRAK Pengaruh fraksi mol mn/ga larutan terhadap komposisi dan mikro struktur lapisan tipis gan:mn yang dideposisi metode sol-gel. Dalam makalah ini dilaporkan hasil penelitian pengaruh fraksi mol larutan Mn/Ga pada lapisan tipis GaN:Mn terhadap karakteristik komposisi dan mikro struktur. Lapisan Tipis GaN:Mn telah dideposisikan di atas substrat Si(111) menggunakan metode Chemical Solution Deposition (CSD) dengan teknik spin coating. Fraksi mol Mn/Ga yang digunakan adalah 4%, 6%, 8%, dan 10%. Larutan gallium-manganese-citrate-amine disintesis dengan menggunakan Ga2O3 sebagai sumber gallium dan MnO2 sebagai sumber mangan. Kristal kering dari sintesis kemudian dilarutkan dalam Ethylenediamine dengan molaritas 0,6 M sehingga membentuk gel. Gel digunakan untuk deposisi lapisan tipis GaN:Mn di atas substrat Si (111) dengan teknik spin coating. Spin coater diputar dengan kecepatan putar 1100 rpm selama 20 detik. Lapisan tipis GaN:Mn dipanaskan pada temperatur 900 o C selama 2 jam pada lingkungan N2 UHP dengan laju alir tetap sebesar 120 sccm. Komposisi atomik padatan, struktur kristal, dan morfologi permukaan lapisan tipis GaN:Mn hasil deposisi dikarakterisasi menggunakan X-Ray Diffraction (XRD), Energy Dispersive of X-ray (EDX), dan Scanning Electron Microscope (SEM). Hasil uji EDX menunjukkan bahwa semakin besar fraksi mol Mn/Ga larutan menghasilkan %At Mn semakin meningkat. Diperoleh korelasi fraksi mol Mn/Ga larutan dengan padatan dengan persamaan y= 0,023x 3 0,352x 2 1,742x -2,81. Seluruh lapisan tipis GaN:Mn hasil deposisi masih terjadi kekosongan nitrogen, terdapat impuritas karbon dan memiliki struktur polikristal wurtzite. Konstanta kisi a pada rentang 3,2077 Å 3,2621 Å dan kisi c pada rentang 5,1094 Å 5,3038 Å bervariasi terhadap persentase atomik Mn. Tingkat kekasaran permukaan lapisan tipis GaN:Mn sebesar 16,72 29,90 nm. Ukuran dan distribusi bulir yang homogen terbentuk pada lapisan tipis dengan fraksi mol Mn/Ga 6%. Kata Kunci: GaN:Mn, Spintronik, CSD, spin coating, mikrostruktur I. PENDAHULUAN Perkembangan teknologi informasi yang sangat pesat dalam dekade terakhir ini ditunjang oleh perkembangan industri rangkaian terintegrasi (integrated circuit atau disingkat dengan IC) dan industri penyimpanan data magnetik Dalam upaya menggabungkan keunggulan karakteristik elektronik dan magnetik di atas, diperkenalkan suatu divais baru, yaitu divais spintronik, yang bekerja dengan cara memanfaatkan muatan dan spin elektron yang bergerak dalam induk semikonduktor (semiconductor host). Keunggulan divais ini meliputi non-volatile, laju pemrosesan data yang lebih tinggi dan ukuran divais yang lebih kecil [1,2]. Selama lebih dari tiga puluh tahun fisikawan dan insinyur melakukan penelitian mengenai divais transfer muatan (charge-transfer) dan teknologi semikonduktor sehingga mengalami perkembangan yang sangat luar biasa hingga ditemukannya divais spintronik. Spintronik dikembangkan dalam berbagai aplikasi antara lain: divais logika spintronik (spintronic logic), magnetic random acces memory (MRAM), dan sensor medan magnet [3]. Material yang dapat digunakan untuk divais spintronik adalah material yang bersifat feromagnetik pada suhu kamar dan memiliki efisiensi yang cukup tinggi saat injeksi spin (Ohno, 1998). Material yang memenuhi sifat tersebut dimiliki oleh material Diluted Magnetic Semiconductor (DMS) atau semikonduktor feromagnetik. Beberapa tahun terakhir banyak peneliti yang memfokuskan penelitiannya pada material ini untuk aplikasi divais spintronik. Material DMS diperoleh dengan cara inkorporasi unsur magnetik dari logam transisi ke dalam semikonduktor non magnetik [4]. Material ini memiliki potensi untuk divais spintronik karena
2 MT-46 dapat digunakan untuk menyimpan data sekaligus memproses data [5] GaN:Mn merupakan material DMS yang banyak dikembangkan oleh para peneliti. GaN:Mn memiliki keunggulan dibandingkan dengan material DMS lain seperti ZnO:Co, GaN:Gd, dan AlN:Cr yaitu temperatur Curie (TC) di atas temperatur kamar, ideal untuk injeksi spin dan cocok dengan perkembangan teknologi semikonduktor yang telah ada. Temperatur Curie (TC) GaN:Mn dilaporkan lebih dari 300 K [6]. Deposisi semikonduktor feromagnetik GaN:Mn telah dilakukan dengan berbagai metode, antara lain metode Plasma Assisted Metal Organic Chemical Vapor Deposition (PA- MOCVD) [7], Molecular Beam Epitaxy (MBE) [8], dan implantasi ion [9]. Substrat silikon (Si) yang digunakan dalam penumbuhan lapisan tipis GaN:Mn memiliki keunggulan dibandingkan substrat safir dan SiC yang biasa digunakan dalam penumbuhan GaN dan paduannya. Substrat Si tersedia dalam ukuran yang besar dan harganya relatif murah, sehingga cocok digunakan untuk kalangan industri karena biaya produksi yang lebih rendah. Meskipun demikian, substrat Si masih terdapat ketidaksesuaian kisi dan koefisien ekspansi termal dengan GaN:Mn, yaitu masing-masing sebesar 17% dan 56% [10]. Hal tersebut menyebabkan deposisi lapisan tipis GaN:Mn di atas substrat Si menjadi tidak mudah. Pada penelitian ini dilakukan deposisi lapisan tipis GaN:Mn di atas substrat Si (111) menggunakan metode CSD teknik spin coating. Besar fraksi mol Mn/Ga larutan divariasikan dalam rentang 4% - 10%. Pengaruh besar fraksi mol Mn/Ga dianalis terhadap karakteristik komposisi padatan yang terbentuk dan mikrostruktur lapisan tipis GaN:Mn melalui pengujian menggunakan X-Ray Diffraction (XRD), Scanning Electron Microscopy (SEM), dan Energy Dispersive X-Ray (EDX). II. METODE PENELITIAN Deposisi lapisan tipis GaN:Mn menggunakan metode CSD dari kristal gallium-manganesse-citrate-amine. Pembuatan gel gallium-manganese-citrate-amine dilakukan dengan melarutkan kristal gallium-manganese-citrate-amine dalam ethylendiamine. Kristal gallium-manganese-citrate-amine diperoleh melalui preparasi gel dari larutan yang mengandung ion Ga 3+, ion Mn 4+, dan asam sitrat (CA) dengan fraksi mol Mn/Ga yang bervariasi antara 4% - 10%. Serbuk Ga2O3 dan serbuk MnO2 dengan fraksi mol Mn/Ga 4% 10% dilarutkan dalam campuran 5 ml HCl dan 5 ml HNO3. Larutan dinetralisir hingga mencapai ph 7,6-8 dengan cara menambahkan ammonia (NH4OH) sehingga didapatkan ion Ga 3+ dan ion Mn 4+ dalam larutan. Asam sitrat ditambahkan pada larutan dengan rasio molar Ga:CA adalah 1:1 agar ion-ion yang telah terpecah bergabung kembali dan membentuk larutan gallium-manganese-citrateamine. Kristal hasil sintesis kemudian disaring menggunakan kertas saring, dibilas dengan aseton dan dikeringkan dalam vakum desikator. Kristal kemudian dilarutkan dalam ethylendiamine dengan molaritas 0,6 M agar menjadi gel 0103: Heri Sutanto dkk. gallium-manganese-citrate-amine yang akan dilapiskan pada substrat Si (111). Sebelum proses deposisi lapisan tipis GaN:Mn di atas substrat Si(111), substrat Si dibersihkan terlebih dahulu dengan metode RCA. Si dicuci dengan aseton, kemudian dengan metanol masing-masing selama 10 menit menggunakan sistem pencuci ultrasonik untuk menghilangkan pengotor organik seperti lemak dan minyak. Selanjutnya Si dicuci dengan DI water (deionized water) selama 1 menit dan dimasukkan ke dalam larutan HF 20% selama 10 detik untuk menghilangkan lapisan SiO2 yang mungkin terbentuk selama proses penyimpanan substrat. Selanjutnya, substrat dicuci dengan DI water dan dikeringkan dengan disemprot gas nitrogen (N2) teknis. Substrat kemudian diletakkan di atas spin coater dan ditetesi dengan gel gallium-manganese-citrate-amine. Substrat yang telah ditetesi gel diputar menggunakan spin coater dengan laju putar sebesar 1200 rpm selama 20 detik. Sampel dikeringkan (drying) pada temperatur 150 o C selama 10 menit dilanjutkan proses pirolisis di atas hot plate pada temperatur 350 o C selama 20 menit. Sampel dipanaskan dalam furnace pada temperatur 900 o C selama 2 jam sambil dialiri gas nitrogen (N2) untuk dekomposisi dengan kecepatan alir sebesar 240 sccm. Kenaikan dan penurunan temperatur furnace diatur 10 o C/menit. Pengaliran N2 dilakukan untuk memberikan sumber prekursor N supaya terjadi ikatan antara anion-anion Ga 3+ dengan N 3- sehingga terbentuk lapisan GaN:Mn. Hasil-hasil penelitian berupa lapisan tipis selanjutnya dikarakterisasi dengan EDX untuk menentukan komposisi, XRD untuk mengetahu struktur dan parameter kisi kristal yang terentuk serta pengujian SEM untuk mengetahui morfologi permukaan lapisan. III. HASIL DAN PEMBAHASAN Hasil analisis komposisi atom menggunakan EDX pada lapisan tipis GaN:Mn yang terbentuk bertujuan untuk mengetahui atom-atom penyusun lapisan, inkorporasi atom Mn ke dalam lapisan dan mengamati keberadaan atom pengotor. Hasil analisis komposisi tersebut ditunjukkan pada tabel 1 dan korelasi fraksi molar Mn/Ga larutan terhadap %At padatan hasil deposisi ditunjukan gambar 1. Gambar 1. Grafik presentase atomik Mn (%At Mn) padatan hasil deposisi lapisan tipis GaN:Mn dengan berbagai fraksi mol Mn/Ga. Hasil pengujian komposisi menunjukkan bahwa terjadi kenaikan %At Mn dengan penambahan/ kenaikan fraksi
3 mol Mn/Ga larutan. Selain itu, secara umum komposisi padatan dari lapisan hasil deposisi menunjukkan bahwa terjadi kekosongan nitrogen dan masih hadirnya atom pengotor karbon (C). Besar persentase atomik karbon bervariasi pada lapisan GaN:Mn dan tidak bergantung pada fraksi mol Mn/Ga larutan. Adanya pengotor karbon diduga menyebabkan sulitnya inkorporasi Mn ke dalam GaN dikarenakan atom Mn akan sulit menyisip ke dalam GaN apabila terdapat atom karbon. Hal ini sesuai dengan pola grafik pada gambar 1 yang tidak linier (tidak stokiometrik) di mana persentase atomik Mn padatan hasil deposisi jauh lebih kecil dari fraksi molar Mn/Ga larutan yang dibuat. Tabel 1. Persentase atomik unsur lapisan tipis GaN:Mn dengan berbagai fraksi mol Mn/Ga dengan menghitung atom karbon Fraksi mol Mn/Ga (%) At (%) Mn Ga N C Ga/N 4 0,04 2,19 2,33 7,07 0,94 6 0,06 6,34 2,28 12,01 2,78 8 0,65 11,76 5,46 19,12 2, ,94 15,31 4,72 13,92 3,24 Inkorporasi Mn ke dalam lapisan tipis GaN dimaksudkan agar diperoleh lapisan tipis GaN:Mn dengan kualitas kristal yang rata dan homogen sehingga lapisan tipis tersebut memiliki sifat semikonduktor dan sifat feromagnetik. Tingkat inkorporasi Mn ke dalam GaN juga dapat dipengaruhi oleh perbedaan jari-jari atom dopan (Mn) relatif terhadap jari-jari atom yang disubtitusi (Ga) yang dapat menyebabkan terjadinya regangan. Jika energi regangan naik dengan kuat karena konsentrasi doping bertambah maka dopan tidak akan dapat diinkorporasikan [7]. Dari hasil penelitian diperoleh korelasi fraksi mol Mn/Ga larutan dengan %At Mn padatan yang memenuhi persamaan y = 0,023x 3-0,352x 2 + 1,745x - 2,81. Selain itu, dari hasil pengujian EDX diperoleh nilai rasio Ga/N yang kurang dari 1 menunjukkan bahwa terjadi kekosongan Ga pada lapisan, sedangkan nilai rasio Ga/N yang lebih dari 1 menunjukkan bahwa lapisan tipis yang terbentuk mengalami kekosongan nitrogen (nitrogen vacancy). Sampel dengan fraksi mol Mn/Ga 4% mengalami kekosongan Ga, sedangkan sampel dengan fraksi mol Mn/Ga 6%, 8%, dan 10% mengalami kekosongan nitrogen. Adanya kekosongan nitrogen menyebabkan GaN bersifat sebagai semikonduktor tipe-n. Sebaliknya, kekosongan Ga dapat bertindak sebagai akseptor dan menyebabkan GaN bersifat sebagai semikonduktor tipe-p [11]. Struktur kristal lapisan tipis yang terbentuk diamati dari hasil pengujian XRD. Pola XRD semua lapisan tipis yang dideposisikan dengan fraksi mol Mn/Ga tertentu menunjukkan adanya puncak yang bersesuaian dengan bidang GaN. Selain puncak Si, terdapat pula puncak-puncak MT-47 yang tidak identik dengan puncak GaN yang mengindikasikan adanya fase lain. intensitas (a.u) SiO 2 (112) Si (111) SiO 2 (400) GaN (1010) GaN (0002) GaN (1011) MnO 2 (111) ( ) GaN (1012) MnO 2 (302) MnO 2 (212) (10%) Gambar 2. Pola XRD lapisan tipis GaN:Mn dengan berbagai fraksi mol Mn/Ga. Struktur kristal wurtzite lapisan tipis GaN:Mn yang terbentuk diidentifikasi menggunakan JCPDS nomor Pada sampel 4% teramati dua puncak difraksi yang masing-masing mengindikasikan bidang SiO2 (112) dan GaN (1011). Pada sampel 6% teramati adanya puncak difraksi bidang GaN (1011) dan fase lain SiO2 (112), MnO2 (111), MnO2 (302), dan MnO2 (212). Pada sampel 8% teramati adanya puncak difraksi bidang GaN (1011) dan fase lain SiO2 (112). Pada sampel 10% teramati puncak difraksi bidang GaN (1010), GaN (0002), dan GaN (1012) serta puncak difraksi fase lain SiO2 (440) dan MnO2 (111). Dari Hasil uji XRD dihitung beberapa parameter mikrostruktur [12] seperti ditunjukkan tabel 2. Si (222) (8%) (6%) (4%) Tabel 2. Nilai konstanta kisi dan regangan kisi lapisan tipis GaN:Mn dengan berbagai fraksi mol Mn/Ga. Fraksi mol Mn/Ga (%) Konstanta kisi Strain atau stress ( ) a (Å) c (Å) a c 4 3,2560 5,2939 0,0210 0, ,2542 5,2911 0,0204 0, ,2621 5,3038 0,0229 0, ,2077 5,1094 0,0059-0,0146 Nilai konstanta kisi pada masing-masing sampel lebih besar dibandingkan dengan nilai konstanta kisi dari referensi. Hasil ini menunjukkan bahwa terjadi regangan kisi pada semua sampel lapisan tipis GaN:Mn hasil deposisi. Nilai konstanta kisi semua sampel yang diperoleh bersesuaian dengan nilai konstanta kisi GaN dengan struktur wurtzite, sehingga dapat dikatakan bahwa lapisan tipis GaN:Mn yang terbentuk memiliki struktur wurtzite [11]. Hasil uji citra SEM morfologi permukaan dan citra 3D lapisan tipis GaN:Mn yang dideposisi di atas substrat Si (111) dengan berbagai fraksi mol Mn/Ga diperlihatkan pada gambar 3.
4 MT : Heri Sutanto dkk. (a) (b) (c) (d) Gambar 3. Citra SEM morfologi permukaan dan citra 3D morfologi lapisan tipis GaN:Mn dengan berbagai fraksi mol Mn/Ga (a) 4%, (b) 6%, (c) 8%, dan (d) 10%. Gambar 3 (a), (c), dan (d) memperlihatkan lapisan tipis GaN:Mn dengan fraksi mol Mn/Ga sebesar 4%, 8%, dan 10% yang memiliki permukaan dengan keseragaman bulir rendah. Pada sampel 4% terlihat adanya permukaan substrat yang tidak tertutup lapisan serta lapisan tersusun dari sekumpulan butiran yang bentuknya berupa batang kecil karena pertumbuhan bulir yang belum sempurna seperti yang ditunjukkan oleh lingkaran merah. Sampel 8% menunjukkan adanya aglomerasi di atas permukaan, dan sampel 10% memperlihatkan adanya retakan dan terbentuk pulau-pulau pada permukaan lapisan seperti yang ditunjukkan oleh lingkaran merah. Lapisan tipis GaN:Mn dengan fraksi mol Mn/Ga sebesar 6% memiliki permukaan yang paling homogen dibandingkan dengan lapisan tipis GaN:Mn dengan fraksi mol Mn/Ga yang lain. Sampel 4% memiliki ukuran bulir (grain size) terbesar yaitu 197,4 nm, sedangkan ukuran bulir terkecil yaitu pada sampel 8% dengan ukuran 167,9 nm. Tingkat kekasaran terkecil terjadi pada sampel 8% dan terbesar pada sampel 6%. Sampel 6% memiliki tingkat kekasaran yang besar namun memiliki keseragaman bulir yang paling baik diantara yang lainnya. Kehadiran unsur pengotor seperti karbon pada substrat akan memperlambat laju koalisi dan terjadi migrasi batas bulir, apabila pengotor hadir dan menutupi sebagian dari permukaan bebas bulir kristal maka akan menghasilkan suatu permukaan lapisan tipis yang morfologinya tersusun atas kubah-kubah (Sutanto, 2008). IV. KESIMPULAN Lapisan tipis GaN:Mn telah berhasil dideposisikan di atas substrat Si (111) menggunakan metode CSD teknik spin coating dengan variasi fraksi mol Mn/Ga sebesar 4%, 6%, 8%, dan 10%. Lapisan tipis hasil deposisi secara umum bersifat kekosongan nitrogen dan terdapat impuritas karbon. Persen atomik Mn dari lapisan tipis GaN:Mn hasil deposisi meningkat dengan kenaikan fraksi molar Mn/Ga larutan. Seluruh lapisan tipis GaN:Mn memiliki struktur wurtzite dan belum stokiometrik. Konstanta kisi a pada rentang 3,2077 Å 3,2621 Å dan kisi c pada rentang 5,1094 Å 5,3038 Å bervariasi terhadap persentase atomik Mn. Tingkat kekasaran permukaan lapisan tipis GaN:Mn sebesar 15,3 29,90 nm. Ukuran dan distribusi bulir yang homogen terbentuk pada lapisan tipis dengan fraksi mol Mn/Ga 6%. UCAPAN TERIMA KASIH Penulis mengucapkan terimakasih kepada Pemerintah Republik Indonesia atas dukungan dana pada Program Penelitian Insentif Riset Dasar-KNRT Tahun Penulis juga mengucapkan terima kasih kepada Ir. Wikanda atas bantuan analisis SEM-EDX, Dra. Mujamilah, M.Si atas bantuan analisis VSM, Yopi Hendrawan, ST atas analisis XRD, Isrina, S.Si, Nursidi, S.Si atas bantuan dalam sintesis dan pihak-pihak yang membantu dalam pelaksanaan penelitian ini. DAFTAR PUSTAKA [1] Zorpette, G. (2001), The Quest of Spin Transistor, IEEE Spectrum, USA. [2] Awschalom, D.D., Loss, D., dan Samarth, N. (Eds.) (2002): Semiconductor Spintronics and Quantum Computation, Springer-Verlag Berlin, Germany. [3] Chiolerio, Alessandro, 2009, Spintronic Devices, Polithechnic of Turin. [4] Ohno, H, 1998, Making Nonmagnetic Semiconductors Ferromagnetic, Science: [5] Reed, M.L., Reed, M. J., Luen, M.O., Berkman, E.A., Arkun, F.E., Bedair, S.M., Zavada, J.M., danel-masry, N.A., 2005, Magnetic properties of Mn doped GaN and p-i-n junctions, Department of Electrical and
5 MT-49 Computer Engineering, North Carolina State University Raleigh. [6] Liu, C., Yun, F., Morkoc, H., 2005, Ferromagnetism of ZnO and GaN: A Review, Department of Electrical Engineering and Physics Department, Virginia Commonwealth University. [7] Mulyanti, Budi, 2007, Studi Penumbuhan GaN-Mn Di Atas Substrat Silikon dengan Metode Plasma Assisted Metal Organic Chemical Vapor Deposition, Fisika Material Elektronik ProgramStudi Fisika ITB, Bandung. [8] Kikkawa, S., Ohtaki, S., Takeda, T., Yoshiasa, A., Sakurai, T., Miyamoto, Y., 2006, Manganese Doped Gallium Oxynitride Prepare by Nitridation of Citrate Precursor, Osaka University: Japan. [9] Reed, M.L., 2003, Growth and characterization of Room Temperature Ferromagnetic Mn:GaN ang Mn:InGaN for Spintronic Applications, Disertasi Doktor, North Carolina State University, 37-40, 148. [10] Sutanto, Heri, 2008, Penumbuhan Struktur Hetero AlxGa1-xN/GaN di Atas Substrat Substrat Si (111) dengan Metode Plasma Assisted Metalorganic Chemical Vapor Deposition (PA-MOCVD) dan Karakteristiknya, Disertasi Doktor, Institut Teknologi Bandung. [11] Gil, Bernard., 1998, Group III Nitride Semiconductor Compounds, Clarendon Press, OXFORD: New York. [12] Suryanarayana, C., Norton, M. G., 1998, X-Ray Diffraction: A Practical Approach, Plenum Press: New York and London.
BAB III METODE PENELITIAN. Metode penelitian yang dilakukan adalah metode eksperimen yang dilakukan di
BAB III METODE PENELITIAN Metode penelitian yang dilakukan adalah metode eksperimen yang dilakukan di lab. Fisika Material, Jurusan Pendidikan Fisika, Fakultas Matematika dan Ilmu Pengetahuan Alam, Universitas
Lebih terperinciBAB III METODOLOGI PENELITIAN. Lokasi penelitian dilakukan di Laboratorium Fisika Material, Jurusan
BAB III METODOLOGI PENELITIAN A. Lokasi dan Waktu Penelitian Lokasi penelitian dilakukan di Laboratorium Fisika Material, Jurusan Pendidikan Fisika, Fakultas Matematika dan Ilmu Pengetahuan Alam, Universitas
Lebih terperinciPENGARUH LAJU MOLAR Mn LARUTAN TERHADAP MIKROSTRUKTUR FILM LAPISAN GaN: Mn YANG DIDEPOSISI DI ATAS SUBSTRAT Si MENGGUNAKAN METODE CSD
PENGARUH LAJU MOLAR Mn LARUTAN TERHADAP MIKROSTRUKTUR FILM LAPISAN GaN: Mn YANG DIDEPOSISI DI ATAS SUBSTRAT Si MENGGUNAKAN METODE CSD Heri Sutanto 1), Eko Hidayanto 1), Iis Nurhasanah 1), Nursidi Yunanto
Lebih terperinciPengaruh Laju Molar Mn Larutan Terhadap Mikrostruktur Lapisan Tipis GaN:Mn yang Dideposisi di atas Substrat Si Menggunakan Metode Sol-Gel
Berkala Fisika ISSN : 1410-9662 Vol. 14, No. 2, April 2011, hal 63-70 Pengaruh Laju Molar Mn Larutan Terhadap Mikrostruktur Lapisan Tipis GaN:Mn yang Dideposisi di atas Substrat Si Menggunakan Metode Sol-Gel
Lebih terperinciRINGKASAN HIBAH BERSAING
Bidang Teknologi RINGKASAN HIBAH BERSAING PENUMBUHAN MATERIAL DMS GaN:Mn DAN STRUKTUR GaN/GaN:Mn DI ATAS SUBSTRAT SILIKON DENGAN METODE PA-MOCVD UNTUK APLIKASI DIVAIS MTJ Peneliti: Dr. Budi Mulyanti, MSi
Lebih terperinciBAB I PENDAHULUAN. Perkembangan ilmu pengetahuan dan teknologi sangat mempengaruhi peradaban
BAB I PENDAHULUAN A. Latar Belakang Perkembangan ilmu pengetahuan dan teknologi sangat mempengaruhi peradaban manusia di abad ini. Sehingga diperlukan suatu kemampuan menguasai teknologi tinggi agar bisa
Lebih terperinciBAB III EKSPERIMEN & KARAKTERISASI
BAB III EKSPERIMEN & KARAKTERISASI Pada bab ini dibahas penumbuhan AlGaN tanpa doping menggunakan reaktor PA- MOCVD. Lapisan AlGaN ditumbuhkan dengan variasi laju alir gas reaktan, hasil penumbuhan dikarakterisasi
Lebih terperinciBAB I PENDAHULUAN. Pada saat ini dunia elektronika mengalami kemajuan yang sangat pesat, hal ini
BAB I PENDAHULUAN 1.1 Latar Belakang Pada saat ini dunia elektronika mengalami kemajuan yang sangat pesat, hal ini terlihat dari banyaknya komponen semikonduktor yang digunakan disetiap kegiatan manusia.
Lebih terperinciARTIKEL ILMIAH HIBAH BERSAING
ARTIKEL ILMIAH HIBAH BERSAING Bidang Teknologi PENUMBUHAN MATERIAL DMS GaN:Mn DAN STRUKTUR GaN/GaN:Mn DI ATAS SUBSTRAT SILIKON DENGAN METODE PA-MOCVD UNTUK APLIKASI DIVAIS MTJ Peneliti: Dr. Budi Mulyanti,
Lebih terperinciBAB I PENDAHULUAN. Perkembangan teknologi yang semakin maju dalam beberapa dekade ini
BAB I PENDAHULUAN 1.1 Latar Belakang Perkembangan teknologi yang semakin maju dalam beberapa dekade ini mengalami peralihan dari teknologi mikro (microtechnology) ke generasi yang lebih kecil yang dikenal
Lebih terperinciMikrostruktur Semikonduktor GaN di Atas Substrat Silikon Dengan Metode Sol-Gel
Berkala Fisika ISSN : 1410-9662 Vol 13, No. 2, April 2010 hal 55-60 Mikrostruktur Semikonduktor GaN di Atas Substrat Silikon Dengan Metode Sol-Gel Heri Sutanto 1), Iis Nurhasanah 1), Istadi 2), Maryanto
Lebih terperinciPENUMBUHAN LAPISAN TIPIS SEMIKONDUKTOR GaN DI ATAS SUBSTRAT SILIKON DENGAN METODE SOL-GEL
PENUMBUHAN LAPISAN TIPIS SEMIKONDUKTOR GaN DI ATAS SUBSTRAT SILIKON DENGAN METODE SOL-GEL Heri Sutanto, Iis Nurhasanah, Indras Marhaendrajaya, Ahmad Taufani, Luluk L. Badriyah, dan Wahyu Ambikawati Laboratorium
Lebih terperinciDeskripsi METODE UNTUK PENUMBUHAN MATERIAL CARBON NANOTUBES (CNT)
1 Deskripsi METODE UNTUK PENUMBUHAN MATERIAL CARBON NANOTUBES (CNT) Bidang Teknik Invensi Invensi ini berhubungan dengan metode untuk penumbuhan material carbon nanotubes (CNT) di atas substrat silikon
Lebih terperinciIII. METODOLOGI PENELITIAN. analisis komposisi unsur (EDX) dilakukan di. Laboratorium Pusat Teknologi Bahan Industri Nuklir (PTBIN) Batan Serpong,
III. METODOLOGI PENELITIAN A. Tempat dan Waktu Penelitian Penelitian ini dilakukan di Laboratorium Biomassa, Lembaga Penelitian Universitas Lampung. permukaan (SEM), dan Analisis difraksi sinar-x (XRD),
Lebih terperinciEfek Konsentrasi Doping Mangan (Mn) Terhadap Ukuran Butir dan Struktur Kristal Partikel Nano Zn (1-x) Mn x (x=0; 0,02; 0,03)
Efek Konsentrasi Doping Mangan (Mn) Terhadap Ukuran Butir dan Struktur Kristal Partikel Nano Zn (1-x) Mn x (x=0; 0,02; 0,03) Heru Harsono 1,2 *, I.N.G.Wardana 2, A.A.Sonief 2, Darminto 3 1 Jurusan Fisika,
Lebih terperinciBAB I PENDAHULUAN. Indonesia merupakan negara berkembang yang berada dikawasan Asia
BAB I PENDAHULUAN A. Latar Belakang Masalah Indonesia merupakan negara berkembang yang berada dikawasan Asia Tenggara. Sebagai negara berkembang, Indonesia melakukan swasembada diberbagai bidang, termasuk
Lebih terperinciOleh Budi Mulyanti NIM : Tim Pembimbing Dr. Sukirno Prof. Dr. M. Barmawi Dr. Pepen Arifin Dr. Maman Budiman
PENUMBUHAN FILM TIPIS SEMIKONDUKTOR FERROMAGNETIK GaN:Mn MENGGUNAKAN METODE PLASMA ASSISTED METALORGANIC CHEMICAL VAPOR DEPOSITION (PA- MOCVD) DAN KARAKTERISASINYA Oleh Budi Mulyanti NIM : 30201015 Tim
Lebih terperinciBab IV. Hasil dan Pembahasan
Bab IV. Hasil dan Pembahasan Bab ini memaparkan hasil sintesis, karakterisasi konduktivitas listrik dan struktur kirstal dari senyawa perovskit La 1-x Sr x FeO 3-δ (LSFO) dengan x = 0,2 ; 0,4 ; 0,5 ; 0,6
Lebih terperinciBAB III METODOLOGI PENELITIAN
BAB III METODOLOGI PENELITIAN A. Metode Penelitian Metode penelitian yang dilakukan adalah metode eksperimen secara kualitatif dan kuantitatif. Metode penelitian ini menjelaskan proses degradasi fotokatalis
Lebih terperinciIII. METODOLOGI PENELITIAN. Penelitian ini dilaksanakan pada bulan Februari 2013 sampai dengan Juni 2013 di
III. METODOLOGI PENELITIAN A. Waktu dan Tempat Penelitian Penelitian ini dilaksanakan pada bulan Februari 2013 sampai dengan Juni 2013 di Laboratorium Fisika Material FMIPA Unila, Laboratorium Kimia Instrumentasi
Lebih terperinciPENGARUH SUHU FURNACE DAN RASIO KONSENTRASI PREKURSOR TERHADAP KARAKTERISTIK NANOKOMPOSIT ZnO-SILIKA
PENGARUH SUHU FURNACE DAN RASIO KONSENTRASI PREKURSOR TERHADAP KARAKTERISTIK NANOKOMPOSIT ZnO-SILIKA Pembimbing:» Prof. Dr. Ir. Sugeng Winardi, M.Eng» Dr. Widiyastuti, ST. MT Penyusun:» Wahyu Puspitaningtyas
Lebih terperinciBAB I PENDAHULUAN 1.1 LatarBelakang
1 BAB I PENDAHULUAN 1.1 LatarBelakang Proses pembangunan disegala bidang selain membawa kemajuan terhadap kehidupan manusia, tetapi juga akan membawa dampak negative bagi lingkungan hidup. Industrialisasi
Lebih terperinciBAB III METODOLOGI PENELITIAN. Metode yang digunakan dalam penelitian ini adalah metoda eksperimen.
BAB III METODOLOGI PENELITIAN A. Metode Penelitian Metode yang digunakan dalam penelitian ini adalah metoda eksperimen. Penelitian dilakukan dengan beberapa tahapan yang digambarkan dalam diagram alir
Lebih terperinciPENUMBUHAN FILM TIPIS SEMIKONDUKTOR
PENUMBUHAN FILM TIPIS SEMIKONDUKTOR Penumbuhan film tipis semikonduktor di atas substrat dapat dilakukan secara epitaksi. Dalam bahasa yunani epi berarti di atas dan taksial berarti menyusun dengan kata
Lebih terperinciMolekul, Vol. 5, No. 1, Mei 2010 : KARAKTERISTIK FILM TIPIS TiO 2 DOPING NIOBIUM
KARAKTERISTIK FILM TIPIS TiO 2 DOPING NIOBIUM Bilalodin dan Mukhtar Effendi Program Studi Fisika, Jurusan MIPA Fakultas Sains dan Teknik UNSOED Email: bilalodin.unsoed@gmail.com ABSTRACT Niobium (Nb) doped
Lebih terperinciBAB I PENDAHULUAN 1.1 Latar Belakang
BAB I PENDAHULUAN 1.1 Latar Belakang Dalam dasa warsa terakhir ini, telah dikembangkan suatu divais yang bekerja dengan cara memanfaatkan spin elektron untuk mengontrol pergerakan pembawa muatan, yaitu
Lebih terperinciPASI NA R SI NO L SI IK LI A KA
NANOSILIKA PASIR Anggriz Bani Rizka (1110 100 014) Dosen Pembimbing : Dr.rer.nat Triwikantoro M.Si JURUSAN FISIKA FAKULTAS MATEMATIKA DAN ILMU PENGETAHUAN ALAM INSTITUT TEKNOLOGI SEPULUH NOPEMBER SURABAYA
Lebih terperinciBab III Metodologi Penelitian
Bab III Metodologi Penelitian Penelitian ini dilaksanakan di Laboratorium Penelitian Kimia Analitik, Program Studi Kimia FMIPA ITB sejak September 2007 sampai Juni 2008. III.1 Alat dan Bahan Peralatan
Lebih terperinciBAB I PENDAHULUAN Latar Belakang
BAB I PENDAHULUAN 1.1. Latar Belakang Ketersediaan sumber energi merupakan masalah yang harus segera diselesaikan oleh masing-masing negara termasuk Indonesia. Untuk itu perlu dikembangkan suatu teknologi
Lebih terperinciPenumbuhan Film Tipis Semikonduktor Ferromagnetik GaN:Mn Menggunakan Metode Plasma Assisted Metal Organic Chemical Vapor Deposition (PA-MOCVD)
Penumbuhan Film Tipis Semikonduktor Ferromagnetik GaN:Mn Menggunakan Metode Plasma Assisted Metal Organic Chemical Vapor Deposition (PA-MOCVD) Oleh Budi Mulyanti 30201015 Tim Pembimbing Dr. Sukirno Prof.
Lebih terperinciBab III Metodologi Penelitian
Bab III Metodologi Penelitian III. 1. Tahap Penelitian Penelitian ini terbagai dalam empat tahapan kerja, yaitu: a. Tahapan kerja pertama adalah persiapan bahan dasar pembuatan LSFO dan LSCFO yang terdiri
Lebih terperinciHASIL DAN PEMBAHASAN. didalamnya dilakukan karakterisasi XRD. 20%, 30%, 40%, dan 50%. Kemudian larutan yang dihasilkan diendapkan
6 didalamnya dilakukan karakterisasi XRD. 3.3.3 Sintesis Kalsium Fosfat Sintesis kalsium fosfat dalam penelitian ini menggunakan metode sol gel. Senyawa kalsium fosfat diperoleh dengan mencampurkan serbuk
Lebih terperinciBAB I PENDAHULUAN 1.1 Latar Belakang
BAB I PENDAHULUAN 1.1 Latar Belakang Dalam dasa warsa terakhir ini, telah dikembangkan suatu divais yang bekerja dengan cara memanfaatkan spin elektron untuk mengontrol pergerakan pembawa muatan, yaitu
Lebih terperinciI. PENDAHULUAN. kimia yang dibantu oleh cahaya dan katalis. Beberapa langkah-langkah fotokatalis
I. PENDAHULUAN A. Latar Belakang Telah berkembang suatu mekanisme fotokatalis yang menerapkan pemanfaatan radiasi ultraviolet dan bahan semikonduktor sebagai fotokatalis, umumnya menggunakan bahan TiO2
Lebih terperinciMETODOLOGI PENELITIAN
BAB III METODOLOGI PENELITIAN Penelitian tentang film tipis nanopartikel Au ini menggunakan metode evaporasi yang dilakukan secara eksperimen. Penelitian ini dilakukan untuk mengetahui pengaruh temperatur
Lebih terperinciPengaruh Temperatur dan Waktu Putar Terhadap Sifat Optik Lapisan Tipis ZnO yang Dibuat dengan Metode Sol-Gel Spin Coating
ISSN 2302-8491 Jurnal Fisika Unand Vol. 6, No. 2, April 2017 Pengaruh Temperatur dan Waktu Putar Terhadap Sifat Optik Lapisan Tipis ZnO yang Dibuat dengan Metode Sol-Gel Spin Coating Fitriani *, Sri Handani
Lebih terperinciIV. HASIL DAN PEMBAHASAN. sol-gel, dan mempelajari aktivitas katalitik Fe 3 O 4 untuk reaksi konversi gas
IV. HASIL DAN PEMBAHASAN A. Pengantar Penelitian ini pada intinya dilakukan dengan dua tujuan utama, yakni mempelajari pembuatan katalis Fe 3 O 4 dari substrat Fe 2 O 3 dengan metode solgel, dan mempelajari
Lebih terperinciMetodologi Penelitian
Bab III Metodologi Penelitian III. 1 Diagram Alir Penelitian Penelitian ini telah dilakukan dalam tiga bagian. Bagian pertama adalah penelitian laboratorium yaitu mensintesis zeolit K-F dari kaolin dan
Lebih terperinciBAB I PENDAHULUAN 1.1. Latar Belakang
BAB I PENDAHULUAN 1.1. Latar Belakang Perkembangan nanoteknologi terus dilakukan oleh para peneliti dari dunia akademik maupun dari dunia industri. Para peneliti seolah berlomba untuk mewujudkan karya
Lebih terperinciBAB III METODOLOGI PENELITIAN
BAB III METODOLOGI PENELITIAN 3.1. Waktu dan Tempat Penelitian ini dilakukan di Laboratorium Fisika Material Departemen Fisika Institut Pertanian Bogor dimulai bulan Mei 2010 sampai Bulan Mei 2011 3.2.
Lebih terperinciPREPARASI DAN KARAKTERISASI PADUAN SEMIKONDUKTOR Sn(Se 0,6 Te 0,4 ) DENGAN METODE BRIDGMAN MELALUI VARIASI WAKTU PEMANASAN
Preparasi dan Karakterisasi.(Iin Astarinugrahini) 298 PREPARASI DAN KARAKTERISASI PADUAN SEMIKONDUKTOR Sn(Se 0,6 Te 0,4 ) DENGAN METODE BRIDGMAN MELALUI VARIASI WAKTU PEMANASAN PREPARATION AND CHARACTERIZATION
Lebih terperinciBAB III METODOLOGI PENELITIAN. Penelitian yang dilakukan di Kelompok Bidang Bahan Dasar PTNBR-
BAB III METODOLOGI PENELITIAN Penelitian yang dilakukan di Kelompok Bidang Bahan Dasar PTNBR- BATAN Bandung meliputi beberapa tahap yaitu tahap preparasi serbuk, tahap sintesis dan tahap analisis. Meakanisme
Lebih terperinciBerkala Fisika ISSN : Vol 4, No. 2, April 2001, hal 40-44
PENGARUH VARIASI TEMPERATUR PENUMBUHAN TERHADAP KARAKTERISTIK SIFAT LISTRIK FILM TIPIS GaN DI ATAS Si (111) DENGAN METODE PA-MOCVD Heri Sutanto Laboratorium Fisika Zat Padat, Jurusan Fisika, FMIPA Universitas
Lebih terperinciPEMBUATAN SENSOR GAS HIDROGEN BERBASIS FILM TIPIS GaN DENGAN TEKNIK SOL GEL SPIN COATING UNTUK KOMPONEN PADA SISTEM PENDETEKSI KEBOCORAN GAS
ISSN: 1693-1246 Januari 2013 http://journal.unnes.ac.id/nju/index.php/jpfi PEMBUATAN SENSOR GAS HIDROGEN BERBASIS FILM TIPIS GaN DENGAN TEKNIK SOL GEL SPIN COATING UNTUK KOMPONEN PADA SISTEM PENDETEKSI
Lebih terperinciABSTRAK DAN EXECUTIVE SUMMARY PROGRAM PENELITIAN HIBAH BERSAING
ABSTRAK DAN EXECUTIVE SUMMARY PROGRAM PENELITIAN HIBAH BERSAING Rancang Bangun Sensor Gas CO Berbasis Zinc Oxide Nanokristal Tahun ke-1 dari rencana 2 tahun Oleh: Dr. Edy Supriyanto, S.Si., M.Si(Ketua
Lebih terperinciSIDANG TUGAS AKHIR. Jurusan Teknik Material & Metalurgi Fakultas Teknologi Industri Institut Teknologi Sepuluh Nopember
SIDANG TUGAS AKHIR Arisela Distyawan NRP 2709100084 Dosen Pembimbing Diah Susanti, S.T., M.T., Ph.D Jurusan Teknik Material & Metalurgi Fakultas Teknologi Industri Institut Teknologi Sepuluh Nopember Sintesa
Lebih terperinciBAB III METODE PENELITIAN. Pelaksanaan penelitian ini pada dasarnya meliputi tiga tahapan proses
BAB III METODE PENELITIAN Pelaksanaan penelitian ini pada dasarnya meliputi tiga tahapan proses diawali dengan tahap persiapan, tahap penumbuhan, dan tahap karakterisasi. Pada bab ini dibahas tentang metode
Lebih terperinciBAB III METODOLOGI PENELITIAN
BAB III METODOLOGI PENELITIAN 3.1 Tahapan Penelitian Tahapan penelitian yang dilakukan dalam tugas akhir ini dapat digambarkan dalam diagram alir di bawah ini: Mulai Studi Literatur Persiapan Sampel Pembuatan
Lebih terperinciKARAKTERISTIK LISTRIK KERAMIK FILM Fe 2 O 3 DENGAN VARIASI KETEBALAN YANG DIBUAT DARI MINERAL LOKAL DI ATMOSFIR UDARA DAN ATMOSFIR ALKOHOL
KARAKTERISTIK LISTRIK KERAMIK FILM Fe 2 O 3 DENGAN VARIASI KETEBALAN YANG DIBUAT DARI MINERAL LOKAL DI ATMOSFIR UDARA DAN ATMOSFIR ALKOHOL Endi Suhendi 1, Hera Novia 1, Dani Gustaman Syarif 2 1) Jurusan
Lebih terperinciBAB III METODE PELAKSANAAN. Metode penelitian yang dilakukan menggunakan eksperimen murni yang
25 BAB III METODE PELAKSANAAN Metode penelitian yang dilakukan menggunakan eksperimen murni yang dilakukan di laboratorium. Metode yang digunakan untuk penumbuhan film tipis LiTaO 3 adalah metode spin-coating.
Lebih terperinciSTRUKTUR DAN KOMPOSISI KIMIA LAPIS TIPIS BAHAN SEMIKONDUKTOR Sn(Se 0,2 S 0.8 ) HASIL PREPARASI TEKNIK VAKUM EVAPORASI UNTUK APLIKASI SEL SURYA
J. Sains Dasar 2015 4 (2) 198-203 STRUKTUR DAN KOMPOSISI KIMIA LAPIS TIPIS BAHAN SEMIKONDUKTOR Sn(Se 0,2 S 0.8 ) HASIL PREPARASI TEKNIK VAKUM EVAPORASI UNTUK APLIKASI SEL SURYA THE STRUCTURE AND CHEMICAL
Lebih terperinciMETODOLOGI PENELITIAN
37 METODOLOGI PENELITIAN Tempat dan Waktu Penelitian Penelitian ini dilakukan di Laboratorium Material Departemen Fisika IPB dari Bulan November 2010 sampai dengan bulan Mei 2011. Bahan dan Alat Alat yang
Lebih terperinciBAB III METODE PENELITIAN. Penelitian ini dilaksanakan pada bulan Juli 2005 sampai Juni 2006, bertempat di
BAB III METODE PENELITIAN 3.1 Tempat dan Waktu Penelitian Penelitian ini dilaksanakan pada bulan Juli 2005 sampai Juni 2006, bertempat di Laboratorium Departemen Fisika, FMIPA, Universitas Indonesia, Depok
Lebih terperinciBAB III METODOLOGI PENELITIAN. Mulai. Persiapan alat dan bahan. Meshing AAS. Kalsinasi + AAS. Pembuatan spesimen
BAB III METODOLOGI PENELITIAN 3.1 Diagram Alir Penelitian berikut: Pada penelitian ini langkah-langkah pengujian mengacu pada diagram alir Mulai Persiapan alat dan bahan Meshing 100 + AAS Kalsinasi + AAS
Lebih terperinciBAB I 1 PENDAHULUAN. kemampuan mengubah bentuk radiasi cahaya menjadi sinyal listrik. Radiasi yang
BAB I 1 PENDAHULUAN 1.1 LATAR BELAKANG MASALAH Fotodiode merupakan sebuah peranti semikonduktor yang memiliki kemampuan mengubah bentuk radiasi cahaya menjadi sinyal listrik. Radiasi yang dapat diterima
Lebih terperinciBAB I PENDAHULUAN 1.1. Latar Belakang
BAB I PENDAHULUAN 1.1. Latar Belakang Nanomaterial memiliki sifat unik yang sangat cocok untuk diaplikasikan dalam bidang industri. Sebuah material dapat dikatakan sebagai nanomaterial jika salah satu
Lebih terperinciBAB III METODOLOGI PENELITIAN. Untuk mendapatkan jawaban dari permasalahan penelitian ini maka dipilih
20 BAB III METODOLOGI PENELITIAN 3.1 Metode Penelitian Untuk mendapatkan jawaban dari permasalahan penelitian ini maka dipilih metode eksperimen. 3.2 Lokasi Penelitian Penelitian ini dilaksanakan di Laboratorium
Lebih terperinciPENGARUH DAYA PLASMA PADA STRUKTUR MIKRO DAN SIFAT OPTIK FILM TIPIS CdTe YANG DITUMBUHKAN DENGAN DC MAGNETRON SPUTTERING
134 Prosiding Pertemuan Ilmiah XXIV HFI Jateng & DIY, Semarang 10 April 2010 hal. 134-138 PENGARUH DAYA PLASMA PADA STRUKTUR MIKRO DAN SIFAT OPTIK FILM TIPIS CdTe YANG DITUMBUHKAN DENGAN DC MAGNETRON SPUTTERING
Lebih terperinci2 SINTESIS DAN KARAKTERISASI NANOSTRUKTUR ZnO
2 SINTESIS DAN KARAKTERISASI NANOSTRUKTUR ZnO 3 Pendahuluan ZnO merupakan bahan semikonduktor tipe-n yang memiliki lebar pita energi 3,37 ev pada suhu ruang dan 3,34 ev pada temperatur rendah dengan nilai
Lebih terperinciBAB III METODOLOGI PENELITIAN. perlakuan panas atau annealing pada lapisan sehingga terbentuk butiran-butiran
BAB III METODOLOGI PENELITIAN 3.1 Metode penelitian Metode penelitian yang digunakan pada penelitian ini adalah eksperimen dengan membuat lapisan tipis Au di atas substrat Si wafer, kemudian memberikan
Lebih terperinciPenumbuhan Lapisan Tipis Material Sensor Giant Magnetoresistance Berstruktur Sandwich dengan Metode Sputtering
Penumbuhan Lapisan Tipis Material Sensor Giant Magnetoresistance Berstruktur Sandwich dengan Metode Sputtering 1,2 Ramli, 1 Mitra Djamal, 1 Freddy Haryanto & 1 Khairurrijal 1 Jurusan Fisika, Institut Teknologi
Lebih terperinciSTUDI EFEK FOTOVOLTAIK DAN PIROELEKTRIK Ba 0,75 Sr 0,25 TIO 3 (BST) YANG DIDADAH GALIUM (BGST) DI ATAS SUBSTRAT SI (100) TIPE-P ERDIANSYAH PRATAMA
STUDI EFEK FOTOVOLTAIK DAN PIROELEKTRIK Ba 0,75 Sr 0,25 TIO 3 (BST) YANG DIDADAH GALIUM (BGST) DI ATAS SUBSTRAT SI (100) TIPE-P ERDIANSYAH PRATAMA DEPARTEMEN FISIKA FAKULTAS MATEMATIKA DAN ILMU PENGETAHUAN
Lebih terperinciBAB I PENDAHULUAN. Telah disadari bahwa kemajuan ilmu pengetahuan dan teknologi harus
1 BAB I PENDAHULUAN 1.1 Latar Belakang Masalah Telah disadari bahwa kemajuan ilmu pengetahuan dan teknologi harus dibayar oleh umat manusia berupa pencemaran udara. Dewasa ini masalah lingkungan kerap
Lebih terperinciPENGARUH KETEBALAN LAPISAN PENYANGGA TERHADAP KUALITAS FILM TIPIS GaN
J. Sains Tek., Desember 2006, Vol. 12, No. 3, Hal.: 149-153 ISSN 0853-733X PENGARUH KETEBALAN LAPISAN PENYANGGA TERHADAP KUALITAS FILM TIPIS GaN Erzam S. Hasan 1, A. Subagio 2, Sugianto 3, M. Budiman 4,
Lebih terperinciIII. METODE PENELITIAN. Penelitian telah dilaksanakan selama tiga bulan, yaitu pada bulan September 2012
26 III. METODE PENELITIAN A. Waktu dan Tempat Penelitian Penelitian telah dilaksanakan selama tiga bulan, yaitu pada bulan September 2012 sampai Desember 2012 di Laboratorium Fisika Material, Laboratorium
Lebih terperinciBAB III METODE PENELITIAN
BAB III METODE PENELITIAN Metode penelitian yang digunakan yaitu eksperimen. Pembuatan serbuk CSZ menggunakan cara sol gel. Pembuatan pelet dilakukan dengan cara kompaksi dan penyinteran dari serbuk calcia-stabilized
Lebih terperinciPENGARUH SUHU SUBSTRAT TERHADAP KUALITAS KRISTAL LAPISAN TIPIS Sn(Se 0,4 Te 0,6 ) HASIL PREPARASI DENGAN TEKNIK EVAPORASI VAKUM
Pengaruh Suhu Substrat...(Vina Hentri Tunita N.)288 PENGARUH SUHU SUBSTRAT TERHADAP KUALITAS KRISTAL LAPISAN TIPIS Sn(Se 0,4 Te 0,6 ) HASIL PREPARASI DENGAN TEKNIK EVAPORASI VAKUM THE EFFECT OF SUBSTRATE
Lebih terperinciSTRUKTUR DAN KOMPOSISI KIMIA LAPISAN TIPIS Sn(So,4Te0,6) HASIL PREPARASI DENGAN TEKNIK EVAPORASI VAKUM
Struktur dan Komposisi... (Eka Wulandari) 1 STRUKTUR DAN KOMPOSISI KIMIA LAPISAN TIPIS Sn(So,4Te0,6) HASIL PREPARASI DENGAN TEKNIK EVAPORASI VAKUM STRUCTURE AND CHEMICAL COMPOSITION OF Sn(S0,4Te0,6) THIN
Lebih terperinciMETODELOGI PENELITIAN. Penelitian ini akan dilakukan di Laboratorium Kimia Anorganik-Fisik Universitas
III. METODELOGI PENELITIAN A. Waktu dan Tempat Penelitian Penelitian ini akan dilakukan di Laboratorium Kimia Anorganik-Fisik Universitas Lampung. Analisis XRD di Universitas Islam Negeri Jakarta Syarif
Lebih terperinci4 Hasil dan Pembahasan
4 Hasil dan Pembahasan 4.1 Sintesis Padatan TiO 2 Amorf Proses sintesis padatan TiO 2 amorf ini dimulai dengan melarutkan titanium isopropoksida (TTIP) ke dalam pelarut etanol. Pelarut etanol yang digunakan
Lebih terperinciBAB IV PERHITUNGAN & ANALSIS HASIL KARAKTERISASI XRD, EDS DAN PENGUKURAN I-V MSM
BAB IV PERHITUNGAN & ANALSIS HASIL KARAKTERISASI XRD, EDS DAN PENGUKURAN I-V MSM Pada bab sebelumnya telah diperlihatkan hasil karakterisasi struktur kristal, morfologi permukaan, dan komposisi lapisan.
Lebih terperinciBab III Metodologi Penelitian
28 Bab III Metodologi Penelitian III.1 Tahap Penelitian Penelitian ini terbagi dalam empat tahapan kerja, yaitu : Tahapan kerja pertama adalah persiapan bahan dasar pembuatan film tipis ZnO yang terdiri
Lebih terperinciSintesis Nanopartikel ZnO dengan Metode Kopresipitasi
Sintesis Nanopartikel ZnO dengan Metode Kopresipitasi NURUL ROSYIDAH Jurusan Fisika Fakultas Matematika dan Ilmu Pengetahuan Alam Institut Teknologi Sepuluh Nopember Pendahuluan Kesimpulan Tinjauan Pustaka
Lebih terperinciOleh : Nofi Marlini / J2D ABSTRACT
MIKROSTRUKTUR LAPISAN TIPIS SEMIKONDUKTOR GALIUM NITRIDA YANG DITUMBUHKAN MENGGUNAKAN METODE CHEMICAL SOLUTION DEPOSITION DENGAN VARIASI LAJU SPIN COATER Oleh : Nofi Marlini / J2D 004 187 2009 ABSTRACT
Lebih terperinciSINTESIS DAN KARAKTERISASI SIFAT MAGNETIK BARIUM M-HEKSAFERRIT DENGAN DOPING ION Zn PADA VARIASI TEMPERATUR RENDAH
SINTESIS DAN KARAKTERISASI SIFAT MAGNETIK BARIUM M-HEKSAFERRIT DENGAN DOPING ION Zn PADA VARIASI TEMPERATUR RENDAH ARIZA NOLY KOSASIH 1108 100 025 PEMBIMBING : Dr. M. ZAINURI M,Si LATAR BELAKANG Barium
Lebih terperinciIII. METODELOGI PENELITIAN. Penelitian ini telah dilakukan di Laboratorium Biomassa Terpadu Universitas
29 III. METODELOGI PENELITIAN A. Waktu dan Tempat Penelitian Penelitian ini telah dilakukan di Laboratorium Biomassa Terpadu Universitas Lampung. Analisis difraksi sinar-x dan analisis morfologi permukaan
Lebih terperinciKARAKTERISTIK MORFOLOGI DAN OPTIK FILM TIPIS TiO 2 :Co YANG DITUMBUHKAN DENGAN METODE MOCVD DI ATAS SUBSTRAT SILIKON
PKMI-3-5-1 KARAKTERISTIK MORFOLOGI DAN OPTIK FILM TIPIS TiO 2 :Co YANG DITUMBUHKAN DENGAN METODE MOCVD DI ATAS SUBSTRAT SILIKON Iing Mustain Jurusan pendidikan Fisika, Universitas Pendidikan Indonesia,
Lebih terperinciNama dan Gelar Lengkap : Dr. Budi Mulyanti, M.Si. Tempat/Tanggal Lahir : Pemalang, 09 Januari 1963
CURRICULUM VITEA/BIODATA BIODATA LENGKAP Nama dan Gelar Lengkap : Dr. Budi Mulyanti, M.Si. Tempat/Tanggal Lahir : Pemalang, 09 Januari 1963 Jenis Kelamin : Perempuan NIP : 196301091994022001 Pangkat/Jabatan/Gol.
Lebih terperinciBAB IV HASIL DAN PEMBAHASAN. 4.1 Pengaruh waktu annealing terhadap diameter dan jarak antar butir
BAB IV HASIL DAN PEMBAHASAN 4.1 Pengaruh waktu annealing terhadap diameter dan jarak antar butir katalis Au Perubahan morfologi katalis telah dilihat melalui pengujian SEM, gambar 4.1 memperlihatkan hasil
Lebih terperinciBAB I PENDAHULUAN. 1.1 Latar Belakang
BAB I PENDAHULUAN 1.1 Latar Belakang Perkembangan nanoteknologi terus dilakukan oleh para peneliti dari dunia akademik maupun dari dunia industri. Para peneliti seolah berlomba untuk mewujudkan karya baru
Lebih terperinciBAB IV HASIL DAN PEMBAHASAN
BAB IV HASIL DAN PEMBAHASAN 4.1 Perlakuan Awal dan Karakteristik Abu Batubara Abu batubara yang digunakan untuk penelitian ini terdiri dari 2 jenis, yaitu abu batubara hasil pembakaran di boiler tungku
Lebih terperinciIII. METODOLOGI PENELITIAN. Penelitian ini dilakukan pada bulan Mei-Juli 2013 di Laboratorium Kimia
27 III. METODOLOGI PENELITIAN A. Waktu dan Tempat Penelitian Penelitian ini dilakukan pada bulan Mei-Juli 2013 di Laboratorium Kimia Anorganik Fakultas Matematika dan Ilmu Pengetahuan Alam Universitas
Lebih terperinciEFEK FOTOVOLTAIK DA PIROELEKTRIK Ba 0,25 Sr 0,7 75TiO 3 (BST) YA G DIDADAH IOBIUM (B ST) ME GGU AKA CHEMICAL SOLUTIO DEPOSITIO. Agung Seno Hertanto
EFEK FOTOVOLTAIK DA PIROELEKTRIK Ba 0,25 Sr 0,7 75TiO 3 (BST) YA G DIDADAH IOBIUM (B ST) ME GGU AKA METODE CHEMICAL SOLUTIO DEPOSITIO Agung Seno Hertanto DEPARTEME FISIKA FAKULTAS MATEMATIKA DA ILMU PE
Lebih terperinciMetodologi Penelitian
Bab III Metodologi Penelitian III.1. Tahapan Penelitian Penelitian ini dibagi menjadi 3 tahapan. Pertama adalah pembuatan elektroda pasta karbon termodifikasi diikuti dengan karakterisasi elektroda yang
Lebih terperinciBAB II TINJAUAN PUSTAKA. (C), serta unsur-unsur lain, seperti : Mn, Si, Ni, Cr, V dan lain sebagainya yang
BAB II TINJAUAN PUSTAKA 2.1 Baja Baja merupakan paduan yang terdiri dari unsur utama besi (Fe) dan karbon (C), serta unsur-unsur lain, seperti : Mn, Si, Ni, Cr, V dan lain sebagainya yang tersusun dalam
Lebih terperinciBAB IV DATA DAN PEMBAHASAN
BAB IV DATA DAN PEMBAHASAN 4.1 SINTESIS SBA-15 Salah satu tujuan penelitian ini adalah untuk mendapatkan material mesopori silika SBA-15 melalui proses sol gel dan surfactant-templating. Tahapan-tahapan
Lebih terperinciBAB I PENDAHULUAN. disamping memberikan dampak positif yang dapat. dirasakan dalam melakukan aktifitas sehari hari, juga dapat memberikan beberapa
1 BAB I PENDAHULUAN 1.1. Latar Belakang Pada saat ini pembangunan mengalami pertumbuhan yang sangat pesat, seperti pembangunan fisik kota, industri dan transportasi. Pada pertumbuhan pembangunan tersebut
Lebih terperinciHASIL DAN PEMBAHASAN. dengan menggunakan kamera yang dihubungkan dengan komputer.
10 dengan menggunakan kamera yang dihubungkan dengan komputer. HASIL DAN PEMBAHASAN Hasil sintesis paduan CoCrMo Pada proses preparasi telah dihasilkan empat sampel serbuk paduan CoCrMo dengan komposisi
Lebih terperinciI. PENDAHULUAN. kinerjanya adalah pemrosesan, modifikasi struktur dan sifat-sifat material.
1 I. PENDAHULUAN A. Latar Belakang Dalam sintesis material, beberapa hal yang sangat berpengaruh dalam menentukan kinerjanya adalah pemrosesan, modifikasi struktur dan sifat-sifat material. Perbaikan kinerja
Lebih terperinciUJI KETAHANAN KOROSI TEMPERATUR TINGGI (550OC) DARI LOGAM ZIRKONIUM DAN INGOT PADUAN
PKMI-3-2-1 UJI KETAHANAN KOROSI TEMPERATUR TINGGI (550 O C) DARI LOGAM ZIRKONIUM DAN INGOT PADUAN Zr-Mo-Fe-Cr SEBAGAI KANDIDAT KELONGSONG (CLADDING) BAHAN BAKAR NUKLIR Beni Hermawan, Incik Budi Permana,
Lebih terperinciPENGARUH WAKTU ALUR PEMANASANTERHADAP KUALITAS KRISTAL Sn(S 0,4 Te 0,6 ) HASIL PREPARASI DENGAN TEKNIK BRIDGMAN
286 Kristal Sn(S.4Te.6)... (Erda Harum Saputri) PENGARUH WAKTU ALUR PEMANASANTERHADAP KUALITAS KRISTAL Sn(S,4 Te,6 ) HASIL PREPARASI DENGAN TEKNIK BRIDGMAN THE EFFECT OF FLOW HEATING TIME FOR CRYSTAL QUALITY
Lebih terperinciBAB II TINJAUAN PUSTAKA
BAB II TINJAUAN PUSTAKA Katalis merupakan suatu zat yang sangat diperlukan dalam kehidupan. Katalis yang digunakan merupakan katalis heterogen. Katalis heterogen merupakan katalis yang dapat digunakan
Lebih terperinciSintesis Nanopartikel MnO 2 dengan Metode Elektrolisa Larutan KMnO 4
Sintesis Nanopartikel MnO 2 dengan Metode Elektrolisa Larutan KMnO 4 Disusun oleh : Ni mah Sakiynah 2309100025 Achmad Ralibi Tigor 2309100055 Dosen Pembimbing : Prof. Dr. Ir. Heru Setyawan, M.Eng Dr. Ir
Lebih terperinciSINTESIS DAN KARAKTERISASI CORE-SHELL ZnO/TiO2 SEBAGAI MATERIAL FOTOANODA PADA DYE SENSITIZED SOLAR CELL (DSSC) SKRIPSI
SINTESIS DAN KARAKTERISASI CORE-SHELL ZnO/TiO2 SEBAGAI MATERIAL FOTOANODA PADA DYE SENSITIZED SOLAR CELL (DSSC) SKRIPSI Oleh Yuda Anggi Pradista NIM 101810301025 JURUSAN KIMIA FAKULTAS MATEMATIKA DAN ILMU
Lebih terperinciHariadi Aziz E.K
IMMOBILISASI LOGAM BERAT Cd PADA SINTESIS GEOPOLIMER DARI ABU LAYANG PT. SEMEN GRESIK Oleh: Hariadi Aziz E.K. 1406 100 043 Pembimbing: Ir. Endang Purwanti S,M.T. Lukman Atmaja, Ph.D. MIND MAP LATAR BELAKANG
Lebih terperinciStruktur kristal dan Morfologi film tipis GaN yang ditumbuhkan dengan metoda Hot-Wire Pulsed Laser Deposition
Struktur kristal dan Morfologi film tipis GaN yang ditumbuhkan dengan metoda Hot-Wire Pulsed Laser Deposition Dadi Rusdiana Departemen Fisika, FPMIPA UPI, Jl. Dr.Setiabudi 229 Bandung, Indonesia 40154
Lebih terperinciI. PENDAHULUAN. oleh H.K Onnes pada tahun 1911 dengan mendinginkan merkuri (Hg) menggunakan helium cair pada temperatur 4,2 K (Darminto dkk, 1999).
1 I. PENDAHULUAN A. Latar Belakang Superkonduktor merupakan material yang dapat mengalirkan arus listrik tanpa adanya hambatan atau resistansi (ρ = 0), sehingga dapat menghantarkan arus listrik tanpa kehilangan
Lebih terperinciBAB III METODE PENELITIAN
BAB III METODE PENELITIAN 3.1 Deskripsi Penelitian Penelitian ini dilakukan dari bulan Maret sampai Agustus 2013 di Laboratorium Riset dan Kimia Instrumen Jurusan Pendidikan Kimia Universitas Pendidikan
Lebih terperinciBAB IV ANALISA DATA & PEMBAHASAN
BAB IV ANALISA DATA & PEMBAHASAN Variasi kecepatan stiring 800 rpm, variasi temperatur sintering 700, 800, 900 C Variasi temperatur 700 C = struktur kristal tetragonal, fase nya anatase, no PDF 01-086-1156,
Lebih terperinci