RANCANG BANGUN SPARK GAP SAKLAR SUMBER ELEKTRON BERBASIS PLASMA DAN METODE PENENTUAN BESAR ARUS BERKAS PULSANYA

Transkripsi

1 118 ISSN Agus Purwadi, dkk. RANCANG BANGUN SPARK GAP SAKLAR SUMBER ELEKTRON BERBASIS PLASMA DAN METODE PENENTUAN BESAR ARUS BERKAS PULSANYA Agus Purwadi, Widdi Usada Pusat Teknologi Akselerator dan Proses Bahan BATAN, Jl. Babarsari POB 611 Ykbb, Telp. (274) , Yogyakarta 55281, ptapb@batan.co.id ABSTRAK RANCANG BANGUN SPARK GAP SAKLAR SUMBER ELEKTRON BERBASIS PLASMA DAN METODE PENENTUAN BESAR ARUS BERKAS PULSANYA. Telah dirancang bangun spark gap sebagai saklar pada sistem sumber elektron berbasis plasma. Pada teknologi tegangan tinggi, untuk menghubungkan sumber tegangan tinggi dengan suatu sistem biasa digunakan ignitron atau spark gap. Saklar dengan jenis tersebut diharapkan dapat mempunyai waktu tanggap yang cepat dan dapat dioperasikan secara berulang dengan tidak membebani sistem Jarak antar elektroda pada sistem spark gap dapat divariasi hingga sejauh 6 mm. Dalam celah lucutan diantara kedua elektroda diletakkan sebatang logam sejajar dengan permukaan elektroda, yang berfungsi sebagai pemicu. Jarak masing-masing permukaan elektroda terhadap batang pemicu akan menentukan besar sumber tegangan yang dapat digunakan. Untuk lucutan spark yang berada pada udara terbuka, break down terjadi bila medan listrik yang terbentuk di antara permukaan logam dan batang logam 3 kv/mm. Besar arus pulsa hasil lucutan dapat ditentukan dengan metoda integrasi menggunakan integrator pasif pada alat koil Rogowski. Keywords : plasma, spark gap, lucutan elektrik, koil Rogowski. ABSTRACT DESIGN AND CONSTRUCTION SPARK GAP AS SWITCH OF THE ELECTRON SOURCE BASED PLASMA AND DETERMINATION METHOD OF ITS PULSE BEAM CURRENT. It has been designed and constructed the spark gap as switch for the electron source based plasma system. On the high voltage technology for connecting high voltage source with the system is usually used ignitron or spark gap. This kind of switch hoped be able to have the fast rise time and be able to operate repetitively which without disturbing the operating system. The distance between of the both electrodes on the spark gap system can be varied until 6 mm. In the discharge region between the both of electrode is laid metal stick paralell with electrode surface as a trigger. The distance of each electrode surface with thec trigger stick will determine the useable value of voltage source. For the spark discharge on the open air break down occured when the electric field formed between electrode surface and trigger stick is 3 kv/mm. Pulse current value of discharge yield could be determined by using integration method by using passive integrator on the Rogowski. Keywords : plasma, spark gap, electric discharge, Rogowski coil. PENDAHULUAN P enggunaan spark gap sebagai saklar untuk menghubungkan sumber tegangan tinggi berarus tinggi dengan suatu sistem, disamping akan lebih ekenomis juga secara teknis akan mempunyai nilai tambah diantaranya waktu tanggap yang cepat serta saklar bisa dioperasikan secara berulang (repetitive) dengan besar frekuensi sesuai dengan kebutuhan [!]. Hasil rancang bangun spark gap disini akan difungsikan sebagai saklar tegangan tinggi dalam sistem peralatan tabung sumber elektron berbasis plasma, sebagai alat untuk perlakuan permukaan suatu bahan. Spark gap dapat dibuat dengan menggunakan dua buah permukaan logam sejajar (anoda dan katoda) dengan jarak tertentu. Pada jarak/celah di antara anoda dan katoda diletakkan sebatang logam/kuningan yang sejajar anoda dan katoda yang berfungsi sebagai pemicu. Spark gap diletakkan pada udara terbuka (tekanan 1 atmosfir) yang mana dadal listrik (break-down) di udara pada kondisi tekanan dan suhu standar terjadi pada saat besar medan listrik (E) sama dan atau lebih besar dari 3 Prosiding PPI - PDIPTN 21 Yogyakarta, 2 Juli 21

2 Agus Purwadi, dkk. ISSN kv/mm [2]. Salah satu elektroda (anoda) spark gap, dihubungkan dengan tegangan tinggi, sedang pada bagian katoda dihubungkan dengan tanah (grounded). Jarak antara anoda ke pemicu dan pemicu ke katoda diatur/dibuat dalam perbandingan tertentu. Pengaturan jarak tersebut demi keamanan dalam pengoperasian spark gap, yakni pada saat tegangan tinggi terpasang pada anoda maka medan listrik pada kedua celah tersebut besarnya harus memenuhi kriteria E lebih kecil dari 3 kv/mm, supaya kondisi saklar tetap membuka. Kerja spark gap akan bergantung pada besar E yang terdapat diantara anoda dengan batang logam yang berfungsi sebagai pemicu. Besar arus elektron pulsa hasil lucutan yang terjadi pada suatu sistem dapat ditentukan dengan metode integrasi menggunakan integrator pasif pada alat koil Rogowski. Tujuan utama dari penelitian ini adalah dapat dihubungkannya suatu energi dari sumber tegangan tinggi berarus tinggi dengan sistem Sumber Elektron Berbasis Plasma (SEBP) dengan induk-tansi serta jitter yang minimum. Sasaran untuk pencapaian tujuan tersebut perlu direalisasikan seperangkat alat spark gap (prototip) terkendali, yang rancangbangun dan metoda penentuan berkas arus pulsanya disajikan dalam makalah ini. METODA DAN TATA KERJA Rumusan umum tegangan dadal (breakdown) yakni saat terjadinya E pertama kali pada tabung lucutan dapat dirumuskan sebagai [3] : V a ( p d) = dadal ln ( p d) + b (1) dengan tegangan listrik V dalam volt, tekanan gas p dalam atmosfer, dan jarak d dalam meter. Pada umumnya untuk proses lucutan, besar tetapan a adalah 365 volt/(cm.torr) dan tetapan b sekitar 1,18, sehingga dapat disusun besarnya tegangan dadal untuk berbagai variasi jarak dan tekanan gas. Bila tegangan dadal terlampaui, maka gas yang tadinya bersifat isolator (arus I <1-6 A) akan berubah menjadi plasma yang bersifat konduktor dengan arus I sebesar 1-4 < I <1-2 A. Karena menjadi konduktor, maka aliran arus terjadi atau saklar dalam keadaan tertutup (on position). Spark gap yang berfungsi sebagai saklar dibuat dengan menggunakan dua buah permukaan logam sejajar (elektoda1 dan elektroda 2) dengan jarak tertentu. Masing-masing elektroda dibuat dari bahan kuningan. Pada celah di antara elektroda 1 (anoda) dan elektroda 2 (katoda) diletakkan sebatang logam yang berfungsi sebagai pemicu, seperti ditunjukkan pada Gambar 1. Gambar 1. Sistem spark gap dalam kondisi aman pada jarak 6 mm, pada tegangan operasi 15 kv di udara. Pada Gambar 1 ditunjukkan bahwa pemicu pada jarak 3,6 mm dari elektroda 1 dan 2,4 mm dari elektroda 2, pada tegangan tinggi terpasang 15 kv. Posisi tersebut dalam keadaan aman, karena spark gap yang berada pada tekanan atmosfir (udara terbuka) break-down terjadi pada saat medan listrik 3 kv/mm. Jarak antara anoda ke pemicu (celah 1) dan jarak pemicu ke katoda (celah 2) diatur/dibuat dalam perbandingan tertentu. Pengaturan jarak tersebut demi keamanan dalam pengoperasian spark gap, yakni pada saat tegangan tinggi terpasang pada anoda maka medan listrik pada celah 1 dan celah 2, besarnya harus memenuhi kriteria E < 3 kv/mm, supaya tak terjadi break down (saklar tetap terbuka). Pada Gambar 1 besar medan listrik E untuk celah 1 (antara elektroda 1 dan pemicu) dan untuk celah 2 (antara pemicu dan elektroda 2) masih lebih kecil dari 3 kv/mm, sehingga aman tidak ada break down listrik. Selanjutnya kalau batang pemicu dipicu dengan tegangan sebesar minus (-) 12 kv maka akan terjadi dinamika (proses perubahan) tegangan pada sistem spark gap tersebut seperti ditunjukkan pada Gambar 2. Ditunjukkan pada Gambar 2 bahwa dengan tegangan pemicu -12 kv maka medan listrik di celah 1 (E C1 ) menjadi 5,83 kv yang telah melebihi dari 3 kv/mm, sehingga terjadi breakdown di celah 1 (C1). Breakdown di C1 disertai naiknya tegangan pada batang pemicu mendekati 15 kv dan segera diikuti breakdown pada celah 2 (C2) sesaat setelah batang pemicu mencapai tegangan 7,2 kv. Terjadi proses hantaran arus listrik pada sparkgap atau saklar dalam kondisi tertutup. Prosiding PPI - PDIPTN 21 Yogyakarta, 2 Juli 21

3 12 ISSN Agus Purwadi, dkk. Gambar 2. Dinamika tegangan pada celah spark sejauh 6 mm dengan tegangan pemicu sebesar -12 kv. Penggunaan sistem saklar seperti ini yang merupakan penghubung antara tegangan tinggi dengan sistem, secara teknis akan mempunyai waktu tanggap yang lebih cepat serta pengoperasiannya dapat dibuat berulang (repetitive) dengan selisih waktu singkat serta umur spark yang panjang. Dalam penggunaannya sistem spark gap (SG) akan mendukung pengoperasian sistem peralatan SEBP dengan sistem rangkaian elektrik seperti ditunjukkan pada Gambar 3. Gambar 3. Rangkaian Sistem Lucutan SEBP. Pada tahap awal, tabung SEBP telah selesai dirancang dengan gambar tabung lucutan tipe dioda seperti ditunjukkan pada Gambar 4. Rancangan tabung lucutan plasma tipe dioda untuk sumber elektron di sini sifatnya masih dasar sehingga perancangan tabung lucutan belum untuk tujuan aplikasi tetapi sebagai penelitian awal (diagnostik) untuk penentuan parameter-parameter plasmanya (besar kerapatan, suhu dan arus lucutan) yang nantinya berkaitan dengan konstruksi sumber elektron untuk tujuan perlakuan pada permukaan bahan. Tabung lucutan disini dirancang dengan mempertimbangkan atas lucutan yang terjadi dalam tabung itu sendiri. Kondisi lucutan setelah terjadi break down (kondisi terjadinya loncatan elektrik antara anoda-katoda yakni saat impedansi anodakatoda menjadi sangat kecil) harus diketahui apakah dalam bentuk lucutan Townsend, lucutan pijar atau lucutan arc sehingga plasma yang dihasilkan akan optimum yakni sesuai dengan parameter plasma yang diharapkan. Dalam penggunaannya, dari ketiga jenis lucutan elektrik tersebut di atas maka sebagai sumber elektron hanyalah kondisi lucutan pijar yang dipilih karena partikel plasma mayoritas terdapat di dalamnya yang tepatnya pada daerah kolom positip. Pada kondisi lucutan pijar, plasma yang akan digunakan sebagai sumber elektron harus berada dalam tabung lucutan bertekanan rendah yakni antara 1-3 torr sampai dengan 1 torr, karena suhu Prosiding PPI - PDIPTN 21 Yogyakarta, 2 Juli 21

4 Agus Purwadi, dkk. ISSN rerata plasma dalam kisaran 2 ev (elektron Volt) sampai dengan 12 ev telah mampu untuk proses berlangsungnya ionisasi dan desosiasi molekulmolekul gas isian pada tabung lucutan [4]. Gambar 5. Koil Rogowski. Pada Gambar 5 ditunjukkan bahwa koil Rogowski mempunyai resistansi koil r c, induktansi koil L c dan aliran arus induksi i dan dibagian ujungnya dipasang resistan r yang berinduktansi sangat rendah. Besar arus lucut (bentuk pulsa) yang terjadi pada sistem dapat diukur menggunakan koil Rogowski dan alat bantu osiloskop. Arus akan tertampil pada osiloskop dalam bentuk sinus teredam, dengan besar arus lucut yang dapat dirumuskan sebagai 2 π a R C I( t) = V ( t) (2) µ A n Gambar 4. Rancangan tabung lucutan sumber elektron plasma dengan komponen-komponennya: 1. Dinding tabung/gelas, 2.Tutup tabung/teflon, 3.Anoda/grid, 4. Katoda, 5. Terminal anoda/ katoda, 6. Lobang pemvakuman dan atau pengisian gas, 7. Batang penguat tutup tabung/ss silinder pejal, 8. O-ring ujung dinding tabung, 9. Berkas elektron, 1. O-ring pada terminal anoda/ katoda/lobang va-kum, 11. Alat ukur koil Rogowski dan probe Langmuir. Pada Gambar 4 ditunjukkan adanya fasilitas alat ukur parameter plasma diantaranya adalah koil Rogowski sebagai alat penentuan berkas arus elektron pulsa. Koil Rogowski merupakan solenoid dengan jumlah lilitan tertentu yang dibengkokkan sehingga menjadi bentuk torus, sedang arus berkas I yang akan diukur adalah yang mengalir melalui bagian dalam torusnya, seperti ditunjukkan pada Gambar 5 [5]. dengan I(t) = besar arus pulsa, a = jejari mayor torus, R = resistansi integrator, C = kapasitan integrator, V (t) = tegangan keluaran, µ.= tetapan permeabilitas = 1, Hm -1, A = luas tampang lintang minor torus, n = jumlah lilitan torus. HASIL DAN PEMBAHASAN Spark gap untuk tabung SEBP akan dirangkaikan dengan kapasitor (yang telah tersedia) dengan besar kapasitan 6 µf dan tegangan 1 kv. Seperti ditayangkan pada rumus (1) di atas sebenarnya bila telah diketahui jarak antar elektroda (d) dan tekanan gas (p) dalam tabung SEBP maka dapat diperkirakan besar tegangan dadalnya. Selanjutnya setelah diketahui tegangan dadalnya maka tegangan dadal tersebut dapat digunakan sebagai masukan untuk besar tegangan pemicu (pin kendali) spark gap dan tegangan kapasitor C yang harus disediakan. Dalam praktek dapat digunakan pula SEBP pulsa secara lucutan diri self discharge dengan mengatur jarak spark gap tertentu, namun perlu diketahui lucutan diri beresiko adanya ketidak pastian jarak antar pulsa yang disebabkan oleh Prosiding PPI - PDIPTN 21 Yogyakarta, 2 Juli 21

5 122 ISSN Agus Purwadi, dkk. adanya jitter (selisih waktu antara t maks dengan t min, dimana t adalah waktu tunda yakni selisih waktu antara saat pemicu dihidupkan dengan saat awal terjadinya break-down) pada tabung lucutam. Idealnya besaran t akan selalu sama, namun dalam kenyataan proses break-down merupakan proses statistik sehingga t tidak selalu sama. Oleh karenanya untuk memperkecil/mengurangi jitter tersebut diperlukan pembuatan spark gap yang terkendali, yakni dengan memberikan satu pin pemicu (elektroda) yang diletakkan di antara kedua elektroda spark gap-nya. Pada umumnya dalam tekanan udara luar, tegangan dadal pada jarak 1 mm adalah sekitar 3 kv, maka jarak antar elektroda pada spark gap dibuat cukup lebar. Demi keamanan dalam pengoperasian tegangan tinggi juga misal jarak tersebut diambil sejauh 5 mm, sehingga akan diperlukan besar tegangan untuk mendadalkannya sebesar 5 mm 3 kv/mm = 15 kv. Karena besar tegangan kapasitor yang akan digunakan/tersedia hanya 1 kv, maka diperlukan lagi 5 kv. Disinilah peran dari elektroda ketiga yakni pin pemicu yang dipasang di antara kedua elektroda spark gap. Kekurangan tegangan 5 kv tersebut dapat dipenuhi bila ada/dipasok tegangan negatif dari luar sebesar 5 kv pada pin pemicu tersebut. Untuk penentuan jumlah pulsa yang diharapkan juga dapat diatur, mengingat jumlah pulsa setiap detiknya ditentukan oleh kecepatan pengisian kapasitor C yang diimbangi oleh unit kendali. Pada umumnya kapasitor sudah dianggap penuh bila telah melampaui sekian kali tetapan waktu pengisian τ, τ = RC (dimana R adalah tahanan pembatas arus dan C adalah kapasitansi kapasitor). Misalkan τ nya adalah sebeasr,5 detik, kapasitor sudah dianggap penuh bila telah diisi muatan selama t = 5τ =,25 detik, maka dapat diset/ditetapkan untuk setiap detiknya ada sejumlah 4 buah pulsa, dengan cacatan bahwa lebar pulsanya jauh lebih kecil dari pada waktu pengisian dan memang pada umumnya lebar pulsanya hanya dalam orde mikro bahkan dalam orde nano sampai piko detik. Spark gap disini dikonstruksi dalam satu sungkup tertutup untuk meredam suara keras letupan yang terjadi saat operasi, mengingat arus yang mengalir pada spark gap adalah akan sangat besar yakni dalam orde ratusan ka (akan diukur dengan menggunakan alat koil Rogowski buatan sendiri). Hasil pengukuran arus bisa ditampilkan pada osiloskop, yang diharapkan pulsa akan dalam bentuk fungsi sinus yang teredam. Oleh karenanya alat ukur koil Rogowski dalam percobaan ini akan mutlak diperlukan karena disamping bisa mengetahui harga besaran arus pulsa, juga dari harga periode osilasi T yang diperoleh dapat digunakan untuk menentukan besar induktansi tabung SEBP (mengingat harga kapasitan kapasitor yang digunakan telah diketahui), akhirnya besar induktansi spark gap juga dapat ditentukan (mengingat besar induktansi dari kabel koaxial penghubung dapat diukur/dihitung). Hasil rancangan sistem spark gap adalah seperti ditunjukkan pada Gambar 6. Ditunjukkan pada Gambar 6 bahwa nomor 1 adalah rumah atau sungkup spark gap yang terbuat dari silinder pralon dan ujung-ujungnya ditutup dengan flexyglass. Nomor 2 adalah batang pemicu yang terbuat dari bahan kuningan. Nomor 3 adalah baut yang menghubungkan bahan pralon dengan flexyglass, sehingga sewaktu-waktu elektroda dalam tabung sudah kotor dapat dikeluarkan untuk dibersihkan kembali. Nomor 4 adalah tutup samping yang terbuat dari bahan flexyglass. Nomor 5 adalah bantalan dari bahan kuningan tempat diletakkannya elektroda bertangkai ulir agar jarak antar elektroda pada spark gap dapat diatur. Nomor 6 adalah elektroda yang masing-masing untuk dihubungkan ke sumber tegangan tinggi dan ke sistem sumber elektron berbasis plasma. Hasil rancangan detail untuk masing-masing komponen dari sistem spark gap pada Gambar 6 adalah terperinci seperti ditunjukkan pada Gambar 7, Gambar 8 dan Gambar 9. Sedang hasil konstruksi sistem spark gap adalah seperti ditunjukkan pada Gambar 1. Untuk penentuan arus pulsa hasil lucutan dapat digunakan alat bantu koil Rogowski (yang dapat dibuat sendiri) dengan menggunakan rumus seperti yang ditunjukkan pada persamaan (2) di atas. Kalau jejari mayor torus adalah a dan arus lucut yang akan diukur adalah I(t), maka menurut hukum Ampere persamaan medan magnet terinduksi B(t) oleh arus I(t) pada sumbu tampang lintang minor torus dapat dituliskan sebagai [6] : µ I( t) B ( t) = (3) 2π a Jika luas tampang lintang minor torus adalah A maka besar fluks magnet Φ(t) yang tersebar pada tampang lintang minor torus adalah : µ A Φ ( t) = I( t) (4) 2π a Sehingga tegangan terinduksi yang lewat terminal koil adalah: µ An di V( t) = (5) 2π a dt dengan n adalah jumlah lilitan koil. Dapat terlihat bahwa tegangan terinduksi sebanding terhadap Prosiding PPI - PDIPTN 21 Yogyakarta, 2 Juli 21

6 Agus Purwadi, dkk. ISSN kecepatan perubahan arus dan bukan arusnya itu sendiri. Agar diperoleh I(t), tegangan keluaran koil harus diintegralkan dan secara percobaan hal ini dapat dilakukan dengan menggunakan integrator pasif. Dalam praktek, keluaran koil dapat diintegralkan dengan integrator RC pasif sederhana seperti ditunjukkan oleh rangkaian ekivalen pada Gambar 11. Gambar 6. Rancangan prototip spark gap untuk tabung SEBP. Prosiding PPI - PDIPTN 21 Yogyakarta, 2 Juli 21

7 124 ISSN Agus Purwadi, dkk. Gambar 7. Rancangan selungkup pada prototip spark gap. Prosiding PPI - PDIPTN 21 Yogyakarta, 2 Juli 21

8 Agus Purwadi, dkk. ISSN Gambar 8. Rancangan bantalan dan elektroda pada prototip spark gap. Prosiding PPI - PDIPTN 21 Yogyakarta, 2 Juli 21

9 126 ISSN Agus Purwadi, dkk. Gambar 9. Rancangan tutup tabung pada prototip spark gap. Prosiding PPI - PDIPTN 21 Yogyakarta, 2 Juli 21

10 Agus Purwadi, dkk. ISSN plasma, maka akhirnya diperoleh persamaan sederhana : V ( t) = i R (8) Tegangan keluaran koil terintegrasi diperoleh lewat kapasitor C dan diberikan oleh persamaan: 1 t 1 t V ( t) = i dt = V ( t dt C RC ) (9) dengan i sudah disubstitusi dari persamaan (8). Selanjutnya dengan mensubstitusikan V(t) dari persamaan (5) akan diperoleh persamaan : µ An I( t) V ( t) = (1) 2π a R C Gambar 1. Konstruksi prototip spark gap untuk sistem SEBP Atau dapat dituliskan sebagai : 2 π a R C I( t) = V ( t) (11) µ A n Masing-masing tetapan besaran fisis pada persamaan (11) di atas : a = jejari mayor torus, R = resistan integrator, C = kapasitan integrator, µ.= tetapan permeabilitas = 1, Hm -1 dan A = luas tampang lintang minor torus serta n = jumlah lilitan torus adalah harganya sudah tertentu dan dapat diukur, sehingga harga arus I(t) yang merupakan arus lucutan (pulsa) juga akan dapat diukur/ditentukan untuk masing-masing harga t(waktu) tertentu. Gambar 11. Rangkaian ekivalen koil dan integrator RC. Koil Rogowski diwakili oleh induktan L C dan sebuah resistor R C yang persamaan rangkaiannya dapat dituliskan sebagai: di 1 t V ( t) = LC ( ) + i ( R + RC ) + i dt (6) dt C Dengan i adalah arus induksi yang mengalir di rangkaian koil dan t adalah lama waktu kejadian plasmanya. Kita gunakan kondisi R >> R C dan R >> L C ω dimana ω frequensi tertinggi dalam bentuk gelombang, sehingga persamaan (6) boleh dituliskan sebagai : 1 t 1 t V ( t) = i R + i dt = R i + i dt (7) C RC Kalau harga RC dipilih sedemikian sehingga harganya jauh lebih besar dari pada waktu kejadian KESIMPULAN 1. Telah terkonstruksi satu unit alat spark gap untuk mendukung operasional alat SEBP. 2. Alat spark gap dapat dibongkar-pasang untuk perawatan agar umur alat lebih lama. 3. Arus elektron pulsa dapat ditentukan menggunakan alat koil Rogowski buatan sendiri, dengan ukuran geometri dapat disesuaikan dengan kebutuhan. UCAPAN TERIMA KASIH Dengan selesainya rancang bangun prototip spark gap dan metoda penentuan arus berkas elektron pulsa, penulis mengucapkan banyak terima kasih kepada Drs. Aminus Salam, Ir. Setyo Atmojo dan Ir. Bambang Lusmianto serta rekan-rekan semua di kelompok TAFN dan Bengkel Mekanik BEM atas segala bentuk bantuannya; diskusi, pikiran dan tenaganya. Prosiding PPI - PDIPTN 21 Yogyakarta, 2 Juli 21

11 128 ISSN Agus Purwadi, dkk. DAFTAR PUSTAKA 1. J. HENDRIKS G.J.H. BRUSSARD, Picosecond High Voltage Switching of A Pressurized Spark Gap, Eindhoven University of Technology, Department of Applied Physics, Center for Plasma Physics and Radiation Technology, PO Box 513, 56 MB Eindhoven, The Netherlands, YU D. KOROLEV, G.A. MESYATS, Physics of Pulsed Breakdown in Gases, Ekaterinburg, Ural Division of the Russian Academy of Science, WIDDI USADA, dkk., Perhitungan Parameter Plasma Pada Perancangan Piranti Nitridasi Plasma 2 kw, Seminar Nasional Teknologi dan Aplikasi Akselerator XII, PTAPB-BATAN, Yogyakarta, 19 Oktober OJHA, MS., Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition of Thin Film, Physics of Thin Film, Vol. 12, p.328, Academic Press, New York, HUDDLESTONE, RH. and LEONARD, SN., Plasma Diagnostic Techniques, p , Academic Press, New York, ROBERT RESNICK, DAVID HALLIDAY, Physics, Department of Physics, Rensselaer Polytechnic Institute, Troy, New York 12181, Januari TANYA JAWAB Bambang Siswanto Spark gap sebagai saklar disini untuk tegangan tinggi atau arus tinggi? Selain diukur dengan alat koil Rogowski apakah ada alat lain? Agus Purwadi Untuk tegangan tinggi dan arus besar. Setahu saya sementara ini untuk tegangan tinggi baru digunakan alat ukur pembagi tegangan (voltage devider) dan untuk arus tinggi dengan koil Rogowski. Irianto Apa kelebihan penggunaan sumber elektron berbasis plasma dibanding sumber elektron menggunakan kawat/elemen panas? Agus Purwadi Kelebihannya umur hidup (life time) lebih lama, daya kosumsi lebih rendah dan efisiensinya lebih tinggi. Prosiding PPI - PDIPTN 21 Yogyakarta, 2 Juli 21