BAB III METODE PENELITIAN. penelitian ini dilakukan pembuatan material keramik komposit LSM-YSZ-GDC

dokumen-dokumen yang mirip
BAB III METODE PENELITIAN. penelitian ini dilakukan pembuatan keramik CSZ-NiO untuk elektrolit padat

BAB III METODOLOGI PENELITIAN. Untuk mendapatkan jawaban dari permasalahan penelitian ini maka dipilih

BAB III METODE PENELITIAN. penelitian ini dilakukan pembuatan keramik komposit CSZ-Ni dengan

BAB III METODE PENELITIAN

BAB III METODE PENELITIAN. Metode yang digunakan pada penelitian ini adalah metode eksperimen

BAB III METODOLOGI PENELITIAN. Metode yang digunakan dalam penelitian ini adalah metoda eksperimen.

BAB III METODOLOGI PENELITIAN. Metode penelitian yang digunakan pada penelitian ini adalah

BAB III METODE PENELITIAN. penelitian ini dilakukan pembuatan keramik Ni-CSZ dengan metode kompaksi

BAB III METODOLOGI PENELITIAN. Metode yang digunakan dalam penelitian ini adalah dengan metode eksperimen.

BAB III METODOLOGI PENELITIAN. Penelitian yang dilakukan di Kelompok Bidang Bahan Dasar PTNBR-

BAB III METODE PENELITIAN

2014 PEMBUATAN BILAYER ANODE - ELEKTROLIT CSZ DENGAN METODE ELECTROPHORETIC DEPOSITION

III. METODE PENELITIAN. Penelitian ini dilaksanakan pada September hingga Desember 2015 di

BAB III METODOLOGI PENELITIAN. Metode yang digunakan dalam penelitian ini adalah dengan metode

Bab III Metodologi Penelitian

BAB III METODOLOGI PENELITIAN. Metode penelitian yang dilakukan adalah dengan metode eksperimen murni.

BAB III METODOLOGI PENELITIAN

BAB III METODOLOGI PENELITIAN. Pada penelitian ini menggunakan metode screen printing melalui proses :

BAB III METODE PENELITIAN

III. METODOLOGI PENELITIAN. Penelitian ini dilaksanakan pada bulan Februari 2013 sampai dengan Juni 2013 di

III. PROSEDUR PERCOBAAN. XRD dilakukan di Laboratorium Pusat Survey Geologi, Bandung dan

3 Metodologi Penelitian

BAB III METODE PENELITIAN. Metode penelitian yang dilakukan adalah metode eksperimen yang dilakukan di

III. METODE PENELITIAN. Penelitian ini dilakukan pada bulan Februari hingga Mei 2012 di Laboratorium. Fisika Material, Laboratorium Kimia Bio Massa,

III. METODE PENELITIAN. Penelitian ini dilaksanakan pada bulan Juli sampai dengan Agustus 2015 di

BAB I PENDAHULUAN. Telah disadari bahwa kemajuan ilmu pengetahuan dan teknologi harus

Bab 3 Metodologi Penelitian

BAB IV HASIL DAN PEMBAHASAN. 4.1 Pengaruh Suhu Sinter Terhadap Struktur Kristal

Bab III Metodologi Penelitian

BAB I PENDAHULUAN. Energi merupakan hal yang sangat penting dan dibutuhkan oleh setiap

PENGARUH SUHU SINTER TERHADAP KARAKTERISTIK DIELEKTRIK KERAMIK CALCIA STABILIZIED ZIRCONIA (CSZ) DENGAN PENAMBAHAN 0.5% BORON TRIOXIDE (B 2 O 3 )

BAB III METODOLOGI PENELITIAN. Pada bab ini mengungkapkan metode penelitian secara keseluruhan yang

III. METODE PENELITIAN. Tempat penelitian dilakukan di beberapa tempat yang berbeda yaitu ; preparasi

BAB III METODOLOGI PENELITIAN

III. METODE PENELITIAN

PENGARUH PENAMBAHAN BORON TRIOXIDE (B 2 O 3 ) TERHADAP KARAKTERISTIK DIELEKTRIK KERAMIK CALCIA STABILIZED ZIRCONIA (CSZ)

KARAKTERISTIK LISTRIK KERAMIK FILM Fe 2 O 3 DENGAN VARIASI KETEBALAN YANG DIBUAT DARI MINERAL LOKAL DI ATMOSFIR UDARA DAN ATMOSFIR ALKOHOL

BAB III METODOLOGI PENELITIAN. Lokasi penelitian dilakukan di Laboratorium Fisika Material, Jurusan

BAB I PENDAHULUAN. Indonesia merupakan negara berkembang yang berada dikawasan Asia

BAB III METODOLOGI PENELITIAN. Mulai. Persiapan alat dan bahan. Meshing AAS. Kalsinasi + AAS. Pembuatan spesimen

KARAKTERISASI STRUKTUR MIKRO DAN STRUKTUR KRISTAL FILM TEBAL FETIO 3 DARI BAHAN MINERAL INDONESIA

HASIL DAN PEMBAHASAN. didalamnya dilakukan karakterisasi XRD. 20%, 30%, 40%, dan 50%. Kemudian larutan yang dihasilkan diendapkan

III.METODOLOGI PENELITIAN. 1. Persiapan serat dan pembuatan komposit epoxy berpenguat serat ijuk di

III. METODE PENELITIAN. Penelitian dilaksanakan pada bulan April sampai bulan Agustus Penelitian

BAB III METODOLOGI PENELITIAN. Pada bab ini mengungkapkan metode penelitian secara keseluruhan yang

III. METODE PENELITIAN. Penelitian telah dilaksanakan selama tiga bulan, yaitu pada bulan September 2012

BAB III METODOLOGI PENELITIAN. Metoda yang digunakan dalam penelitian ini adalah metoda eksperimen

BAB III METODOLOGI PENELITIAN

BAB I PENDAHULUAN 1.1. Latar Belakang

PASI NA R SI NO L SI IK LI A KA

BAB III METODE PELAKSANAAN. Metode penelitian yang dilakukan menggunakan eksperimen murni yang

Gambar 10. Skema peralatan pada SEM III. METODE PENELITIAN. Untuk melaksanakan penelitian digunakan 2 jenis bahan yaitu

BAB III METODOLOGI PENELITIAN

BAB III METODE PENELITIAN

Bab IV Hasil dan Pembahasan

BAB I PENDAHULUAN. Pesatnya perkembangan teknologi material semikonduktor keramik,

3 METODOLOGI PENELITIAN

BAB III METODOLOGI PENELITIAN

BAB III METODOLOGI PENELITIAN

2016 PENGARUH SUHU PEMBAKARAN TERHADAP KARAKTERISTIK LISTRIK KERAMIK FILM TEBAL BERBASIS

3 Percobaan. Peralatan yang digunakan untuk sintesis, karakterisasi, dan uji aktivitas katalis beserta spesifikasinya ditampilkan pada Tabel 3.1.

III. METODE PENELITIAN. Penelitian ini telah dilaksanakan pada bulan Februari sampai Juni 2013 di

BAB III METODE PENELITIAN

BAB I PENDAHULUAN. meningkat. Peran listrik dalam kehidupan manusia sangatlah penting karena

BAB III METODOLOGI PENELITIAN. Jenis penelitian ini merupakan penelitian eksperimen. Karena tujuan dari

III.METODOLOGI PENELITIAN. Tempat penelitian ini dilakukan adalah: 1. Persiapan serat dan pembuatan komposit epoxy berpenguat serat ijuk di

BAB I PENDAHULUAN. Ilmu Pengetahuan dan Teknologi (IPTEK) dibutuhkan oleh setiap negara

III. METODOLOGI PENELITIAN. analisis komposisi unsur (EDX) dilakukan di. Laboratorium Pusat Teknologi Bahan Industri Nuklir (PTBIN) Batan Serpong,

METODE SOL-GEL RISDIYANI CHASANAH M

ABSTRAK. Kata kunci: Sel bahan bakar oksida padat, CSZ, CaO, PVA, Slip casting.

PENGARUH KOMPOSISI KAOLIN TERHADAP DENSITAS DAN KEKUATAN BENDING PADA KOMPOSIT FLY ASH- KAOLIN

3 Metodologi Penelitian

Metodologi Penelitian

BAB III METODE PENELITIAN. Preparasi, sintesis material konduktor ionik dan uji kinerja material

Sintesis Nanopartikel ZnO dengan Metode Kopresipitasi

BAB III METODE PENELITIAN

BAB III METODOLOGI PENELITIAN

3 Percobaan. 3.1 Bahan Penelitian. 3.2 Peralatan

III.METODELOGI PENELITIAN. Penelitian ini dilaksanakan selama tiga bulan terhitung pada bulan Februari Mei

Bab III Metodologi. III.1 Alat dan Bahan. III.1.1 Alat-alat

BAB I PENDAHULUAN. Indonesia. Hal ini berarti meningkat pula kebutuhan manusia termasuk dari

DAFTAR ISI KATA PENGANTAR... UCAPAN TERIMA KASIH... ABSTRAK... ABSTRACT... DAFTAR ISI... DAFTAR TABEL... DAFTAR GAMBAR... DAFTAR LAMPIRAN...

I. PENDAHULUAN. Al yang terbentuk dari 2 (dua) komponen utama yakni silika ( SiO ) dan

IV. HASIL DAN PEMBAHASAN. sol-gel, dan mempelajari aktivitas katalitik Fe 3 O 4 untuk reaksi konversi gas

I. PENDAHULUAN. dan kebutuhan bahan baku juga semakin memadai. Kemajuan tersebut memberikan

350 0 C 1 jam C. 10 jam. 20 jam. Pelet YBCO. Uji Konduktivitas IV. HASIL DAN PEMBAHASAN. Ba(NO 3 ) Cu(NO 3 ) 2 Y(NO 3 ) 2

III. METODE PENELITIAN. Penelitian dilaksanakan pada bulan Juni 2013 sampai selesai. Penelitian dilakukan

I. PENDAHULUAN. Seiring kemajuan teknologi dan ilmu pengetahuan. dibutuhkan suatu material yang memiliki kualitas baik seperti kekerasan yang

PEMBUATAN DAN KARAKTERISASI MAGNET PERMANEN BAO.(6-X)FE2O3 DARI BAHAN BAKU LIMBAH FE2O3

BAB IV HASIL DAN PEMBAHASAN. Hasil preparasi bahan baku larutan MgO, larutan NH 4 H 2 PO 4, dan larutan

BAB III METODOLOGI PELAKSANAAN

BAB I PENDAHULUAN. Perkembangan ilmu pengetahuan dan teknologi sangat mempengaruhi peradaban

BAB III METODE PENELITIAN. Penelitian mengenai penggunaan aluminium sebagai sacrificial electrode

BAB III METODOLOGI PENELITIAN

BAB I PENDAHULUAN. Di zaman sekarang, manusia sangat bergantung pada kebutuhan listrik

Gambar 3.1 Diagram alir penelitian

I. PENDAHULUAN. oleh H.K Onnes pada tahun 1911 dengan mendinginkan merkuri (Hg) menggunakan helium cair pada temperatur 4,2 K (Darminto dkk, 1999).

METODE PENELITIAN. Penelitian dilaksanakan terhitung sejak bulan Desember 2014 sampai dengan Mei

III. METODOLOGI PENELITIAN. Penelitian ini dilaksanakan pada bulan Desember 2012 hingga bulan April 2013 di

Transkripsi:

37 BAB III METODE PENELITIAN 3.1 Metode Penelitian Metode yang digunakan pada penelitian ini adalah eksperimen. Pada penelitian ini dilakukan pembuatan material keramik komposit LSM-YSZ-GDC dengan menggunakan metode screen printing. 3.2 Lokasi Penelitian Penelitian mengenai katode SOFC ini akan dilaksanakan di kelompok Fisika Bahan Pusat Teknologi Nuklir Bahan dan Radiometri-Badan Tenaga Nuklir Nasional (PTNBR-BATAN) yang beralamat di Jalan Tamansari, No. 71, Bandung 40132. 3.3 Alat dan Bahan 3.3.1 Peralatan yang digunakan Alat yang digunakan dalam penelitian ini diantaranya adalah: 1. Neraca digital (Metler Tolledo) 2. Sendok 3. Botol plastik 4. Botol Gelas 5. Becker glass 6. Pipet

38 7. Mangkuk keramik 8. ph meter 9. Kertas timbang 10. Tungku carbolite 11. Tungku pembakar 12. Mortar 13. Kawat tembaga 14. Kawat aluminium 15. Kabel 16. Multimeter digital 17. Screen 18. Keramik 19. Mikrometer sekrup 20. Pengggaris 21. Spatula 22. Cutter 23. Gunting 24. Penyapu 3.3.2 Bahan-bahan yang digunakan Bahan-bahan yang digunakan dalam penelitian ini diantaranya adalah: 1. Serbuk LaCl 3.7H 2 O 2. Serbuk SrCl 2.6H 2 O

39 3. Serbuk MnCl 2.2H 2 O 4. Serbuk Asam Sitrat 5. Serbuk YSZ (Yittria Stabilized Zirconia) 6. Serbuk GDC (Gadolinium Doped Ceria) 7. Substrat Alumina 8. Aquades 9. Larutan NH 4 OH 10. Larutan Penyangga 11. Pasta Perak 12. Terpineol 13. Ethanol 14. Aseton 15. Alkohol 3.4 Prosedur Penelitian Serbuk LSM dibuat dengan menggunakan teknik Sol-Gel. Teknik ini bertujuan untuk membuat partikel serbuk yang sangat kecil atau partikel nano. Metode sol gel merupakan reaksi padatan dimana zat-zat precursor di campur dan dipanaskan pada temperatur tinggi. Prosedur ini diulangi beberapa kali sampai terbentuk hasil yang homogen. Tahapan proses pembuatan keramik komposit LSM-YSZ-GDC dapat dilihat pada diagram Gambar. 3.1 dan Gambar. 3.2.

40 3.4.1 Diagram alur pembuatan serbuk LSM LaCl 3.7H 2 O SrCl 3.6H 2 O MnCl 2.2H 2 O Asam sitrat Pelarutan dengan aquades Pengukuran ph Pengontrolan ph dengan NH 4 OH Pemanasan pada suhu 80 0 C Pengeringan pada suhu 200 0 C Pemanasan pada suhu 400 0 C selama 2 jam Kalsinasi pada suhu 1000 0 C selama 4 jam Penggerusan dengan mortar Karakterisasi XRD Serbuk LSM Gambar. 3.1. Alur pembuatan serbuk LSM

41 3.4.2 Diagram alur tahap pembuatan keramik komposit LSM-YSZ-GDC LSM YSZ GDC Campur dan gerus selama 1 jam Penambahan terpineol Pengadukan Pasta LSM-YSZ-GDC Pelapisan pasta pada substrat alumina dengan teknik screen printing Sintering pada suhu 1200 0 C selama 90 menit Karakterisasi Struktur Kristal : XRD Struktur mikro : SEM Sifat listrik : Teknik Four Point Probe Gambar. 3.2. Alur pembuatan keramik komposit LSM-YSZ- GDC

42 3.5 Penjelasan diagram alur pembuatan keramik komposit LSM-YSZ-GDC 3.5.1 Proses pembuatan serbuk LSM (La,Sr)MnO 3 : 3.5.1.1 Pencampuran Serbul LSM akan dibuat dengan menggunakan metode sol-gel. Serbuk dibuat dengan mereaksikan 35% mol LaCl 3.7H 2 O, 15% mol SrCl 2.6H 2 O dan 50% mol MnCl 2.2H 2 O atau 51.8 % berat LaCl 3.7H 2 O, 15.94% berat SrCl 2.6H 2 O, dan 32.26% berat MnCl 2.2H 2 O. Ketiga bahan tersebut kemudian akan dilarutkan dengan aquades dan di aduk sehingga menjadi larutan yang homogen. Asam sitrat kemudian ditambahkan pada larutan tersebut kemudian diaduk hingga homogen. Larutan akan terlihat bening. 3.5.1.2 Pengukuran dengan ph meter Larutan kemudian diukur keasamannya dengan menggunakan ph meter. Sebelum mengukur keasamannya, dilakukan kalibrasi terhadap ph meter dengan larutan penyangga agar hasil yang diperoleh lebih akurat. Larutan penyangga yang digunakan adalah penyangga dengan keasaman 4.01, 7.00 dan 9.21. Setiap pengkalibrasi atau pemakaian ph meter, ph meter harus dinetralkan dengan menggunakan aquades. Setelah kalibrasi, dilakukan pengukuran keasaam terhadap larutan yang telah dibuat. Larutan yang keasamaannya tinggi kemudian ditambah larutan basa yaitu NH 4 OH agar keasamannya turun hingga mencapai ph sebesar 5. Larutan yang dihasilkan berwarna putih.

43 3.5.1.3 Kalsinasi pada suhu 1000 0 C selama 4 jam Larutan yang dihasilkan kemudian dimasukan kedalam tunggku pembakar dan dipanaskan pada suhu 80 0 C. Pemanasan ini bertujuan untuk menguapkan pelarut yaitu air atau aquades dalam larutan. Setelah zat pelarut menguap dilakukan pemananasan kembali yang bertujuan untuk mengeringkan sampel. Temperatur sampel ditingkatkan menjadi 200 0 C. Setelah sampel kering, dilakukan pemanasan tahap kedua yaitu sampel ditingkatkan temperaturnya hingga 400 0 C dan ditahan selama 1 jam. Kemudian temperatur dinaikan hingga 1000 0 C dan ditahan selama 4 jam. Pada proses ini sampel dikatakan mengalami proses kalsinasi. Kalsinasi merupakan proses dimana sistem padatan direduksi melalui reaksi pembakaran menjadi serbuk dimana material oksida terbentuk(v. Narlikar, 2001). Parameter-parameter yang penting dalam kalsinasi adalah temperatur, waktu pemanasan, dan penggilingan lanjutan (V. Narlikar, 2001). Setelah proses kalsinasi, terbentuk serbuk LSM yang berwarna hitam. Kemudian di lakukan karakterisasi XRD pada serbuk untuk memastikan serbuk yang terbentuk adalah serbuk LSM. Dari pola XRD yang dihasilkan terbentuk fase LSM dengan rumus kimia La 0.8 Sr 0.2 MnO 3 dengan struktur monoklinik. 3.5.2 Proses pembuatan keramik komposit LSM-YSZ-GDC 3.5.2.1 Pencampuran Pada tahap ini, dilakukan pencampuran serbuk LSM, 8YSZ, dan GDC. Serbuk YSZ ( dalam kasus iniadalah 8YSZ) dan GDC sudah tersedia di

44 Kelompok Fisika Bahan Pusat Teknologi Nuklir Bahan dan Radiometri Badan Tenaga Nuklir Nasional Bandung. Pada penelitian ini dilakukan variasi terhadap komposisi LSM-YSZ-GDC yaitu 50LSM50YSZ, 50LSM40YSZ10GDC, dan 50LSM30YSZ20GDC. Masing-masing komposisi dicampur dan digerus selama 1 jam dengan menggunakan mortar hingga homogen. 3.5.2.2 Pelapisan pasta LSM-YSZ-GDC pada substrat alumina. Setelah diperoleh serbuk homogen untuk masing-masing komposisi, setiap komposisi di beri organic vehicle sebanyak 30%. Kemudian sampel diaduk sampai terbentuk pasta. Setelah pasta terbentuk dilakukan pelapisan masingmasing pasta pada substrat alumina dengan menggunakan teknik screen printing. Screen printing merupakan salah satu metode terpenting dalam pembuatan film katode. Teknik ini dapat mempengaruhi area aktif elektrokimia, konduktivitas elektronik dan difusi gas (Piao, 2007) Jenis screen yang digunakan adalah ukuran T61 yang memiliki pori sebesar 152.5 mesh atau 96 mikron. Screen printing merupakan teknik yang paling mudah dan banyak digunakan untuk deposisi film tebal. Pada proses ini, pasta dioleskan diatas screen yang berhubungan dengan sustrat, ketika penyapu ditekan dan didorong ke bawah, screen akan menempel dengan substrat. Pada saat itu penyapu akan mendorong pasta menempel pada sustrat melalui pori screen dan menutupi permukaan substrat. Variabel yang mempengaruhi screen printing adalah printer, substrat, screen, penyapu, pasta film, dan parameter proses.

45 3.5.2.3 Sintering Setelah pelapisan pasta berhasil, masing masing film di sinter pada suhu 1200 0 C selama 90 menit. Nilai ini diambil berdasarkan teori bahwa suhu sintering adalah 0.6-0.8 titik lelehnya dan pada penelitian ini diambil 0.8 dari titik leleh LSM yang memiliki titik leleh terendah yaitu 1500 0 C (Borsoum,2002). Ketika temperatur meningkat, zat-zat organik yang terdapat pada film akan menghilang. Proses sintering ini bertujuan untuk merekatkan film dengan substrat dan merekatkan ikatan antar partikel penyusun film. Sintering merupakan proses fusi partikel yang terjadi pada temperatur mendekati titik leleh, menghasilkan formasi agglomerasi (Ghosh/chatterjee, 2008). Setelah sintering berakhir terbentuk keramik film tebal LSM-YSZ-GDC untuk setiap komposisi. Kurva proses sintering dapat dilihat seperti Gambar 3.3, Gambar. 3.3. Kurva proses sintering keramik LSM-YSZ-GDC

46 3.5.2.4 Karakterisasi 3.5.2.4.1 Analisis XRD Analisis XRD dilakukan untuk mengetahui struktrur kristal, orientasi kristal, dan parameter kisi kristal yang terbentuk pada keramik film tebal LSM-YSZ- GDC serta pengaruh penambahan GDC terhadap struktur kristal, orientasi kristal dan parameter kisi kristal LSM-YSZ. Dalam penelitian ini karakterisasi XRD dilakukan pada tanggal 13 April 2012 di Departemen Teknik Pertambangan Institut Teknologi Bandung dengan menggunakan Philips 1835 Difractometer dimana memiliki sumber difraksi CuK α. 3.5.2.4.2 Analisis SEM (Scanning Elekctron Microscope) Analisis SEM dilakukan untuk mengetahui struktur mikro keramik film tebal LSM-YSZ-GDC dan pengaruh penambahan GDC terhadap struktur mikro LSM-YSZ. Dari karaterisasi ini diperoleh informasi mengenai butir masingmasing senyawa dan porositas katode. Dalam penelitian ini coating emas dilakukan di Gedung Fisika Lembaga Ilmu Pengetahuan Indonesia (LIPI) Bandung pada tanggal 16 April 2012 dan SEM dilakukan di Departemen Teknik Mesin Institut Teknologi Bandung pada tanggal 17 April 2012 dimana jenis alat SEM yang digunakan adalah Philips XL-20 dengan EDS DX-40. 3.5.2.4.3 Uji sifat listrik Sebelum uji sifat listrik, dilakukan metalisasi terhadap masing-masing sampel dengan menggunakan pasta perak. Metalisasi dilakukan dengan menggunakan teknik screen printing. Teknik yang digunakan dalam pengukuran listrik adalah teknik Four Point Probe. Four point probe merupakan suatu teknik

47 pengukuran konduktivitas listrik yang lebih akurat dari Two Probe. Penjelasan mengenai teknik ini adalah (Anonim 2012). Gambar. 3.4 Lembaran film (Anonim, 2012). Gambar. 3.5. Konfigurasi pengukuran lembar resistansi dengan four point probe (Anonim, 2012). Gambar. 3.6 Fluks arus dari kontak 1 ke kontak 4 (anonim, 2012).

48 Gambar 3.4 sampai 3.6 merupakan sebuah lapisan tipis dimana arus mengalir dari permukaan satu ke permukaan dua. Untuk memperoleh resistansi lapisan tersebut maka digunakan Hukum Ohm (persamaan. 3.1).(3.1) Dimana V = beda potensial antara permukaan 1 dan permukaan 2 I = arus yang mengalir dari permukaan 1 ke permukaan 2 Atau R dapat diperoleh dari persamaan, R = atau R =. (3.2) Dimana, ρ = resistivitas (Ω.cm) R = Resistansi (Ω) l = panjang sampel (cm) w = lebar sampel (cm) t = tebal sampel (cm) Dalam kasus ini dianggap panjang sampel (l) memiliki nilai yang sama dengan lebar sampel (w), maka diperoleh yang disebut resistansi lapisan, R s = atau dengan kata lain ρ = R s. t Pada teknik ini dibuat empat kontak berupa garis di atas sampel dimana setiap kontak memiliki jarak yang tetap (S). Arus dialirkan dari kontak 1 ke kontak 4 dan potensial diukur pada kontak 2 dan 3 (Gambar. 3.6). Dalam kasus ideal dimana arus mengalir dalam arah horizontal, ketebalan film lebih kecil dari 0.4 kali jarak antar kontak, pengukuran dilakukan pada suhu

49 23 0 C, dan jarak antar kontak (S) benar-benar konstan, persamaan yang berlaku adalah persamaan 3.3 (Anonim, 2009),....(3.3) Secara fisis, ketika arus mengalir dari kontak 1 ke kontak 4, akan terdapat fluks arus listrik atau garis garis gaya listrik dari kontak 1 ke kontak 4 seperti gambar di atas. Dalam perhitungan lembar resistansi terdapat beberapa koreksi yaitu koreksi geometri, koreksi ketebalan, dan koreksi temperatur. Sehingga persamaan untuk menghitung lembar resistansi yang digunakan adalah persamaan 3.4 (Anonim, 2009) R s = koreksi geometri x koreksi ketebalan x koreksi temperatur x V/I (3.4) Dimana koreksi yang digunakan dijelaskan sebagai berikut, Koreksi geometri Dalam koreksi ini, dilakukan pengukuran sheet resistance dengan dual configuration seperti Gambar. 3.7, Gambar. 3.7 Dual configuration untuk koreksi geometri.

50 Koreksi ini dilakukan karena jarak antar kontak (S) pada film tebal dimungkinkan tidak akan konstan. Pada kasus ini, persamaan sheet resistance untuk masing-masing konfigurasi dtunjukan oleh persamaan 3.5 dan 3.5.6 (Anonim, 2009),...(3.5) (3.6) Dimana faktor koreksi geometri diperoleh dari persamaan 3.7 (Anonim, 2009),.. (3.7) Faktor koreksi ketebalan Dalam penelitian ini jarak antar kontak yang digunakan adalah sebesar 1 mm dan tebal film tebal yang dibuat adalah 10 µm atau 0.01 mm sehingga nilai t/s adalah 0.01 dan untuk nilai faktor koreksi ketebalan (TCF) film dengan t/s < 0.4 adalah 1 (Anonim, 2009). Faktor koreksi temperatur Dalam kasus ideal, pengukuran nilai sheet resistance dilakukan pada suhu 23 0 C, namun dalam penelitian ini sheet resistance diukur pada rentang suhu yang tinggi, maka persamaan faktor koreksi temperatur yang digunakan adalah persamaan 3.8, (Anonim 2009), Temp CF = (1 TCR x (T 23))..(3.8) Dimana TCR merupakan koefisien temperatur resistansi yang nilainya bergantungpada temperatur dan diperoleh dari persamaan 3.9 (Anonim, 2009), (3.9)