BAB I PENDAHULUAN 1.1. Latar Belakang

dokumen-dokumen yang mirip
BAB I PENDAHULUAN 1.1 LatarBelakang

BAB I PENDAHULUAN Latar Belakang

BAB I PENDAHULUAN. Pada saat ini dunia elektronika mengalami kemajuan yang sangat pesat, hal ini

BAB I PENDAHULUAN. Perkembangan ilmu pengetahuan dan teknologi sangat mempengaruhi peradaban

BAB I PENDAHULUAN. I.1 Latar Belakang Kebutuhan akan energi semakin berkembang seiring dengan

BAB I PENDAHULUAN. 1.1 Latar Belakang

BAB I PENDAHULUAN 1.1 Latar Belakang Masalah

I. PENDAHULUAN. kimia yang dibantu oleh cahaya dan katalis. Beberapa langkah-langkah fotokatalis

Pengaruh Temperatur dan Waktu Putar Terhadap Sifat Optik Lapisan Tipis ZnO yang Dibuat dengan Metode Sol-Gel Spin Coating

SIDANG TUGAS AKHIR. Jurusan Teknik Material & Metalurgi Fakultas Teknologi Industri Institut Teknologi Sepuluh Nopember

STUDI SINTESIS DAN KARAKTERISTIK FILM TIPIS ZnO DENGAN METODE SOL-GEL SPIN COATING. Oleh

BAB I PENDAHULUAN 1.1. Latar Belakang Nanoteknologi adalah ilmu dan rekayasa dalam menciptakan material, struktur fungsional, maupun piranti alam

2 SINTESIS DAN KARAKTERISASI NANOSTRUKTUR ZnO

BAB I PENDAHULUAN. Perkembangan teknologi yang semakin maju dalam beberapa dekade ini

BAB I PENDAHULUAN. Indonesia merupakan negara berkembang yang berada dikawasan Asia

I. PENDAHULUAN. Lapisan tipis merupakan suatu lapisan dari bahan organik, anorganik, metal,

SINTESIS LAPISAN TIPIS SEMIKONDUKTOR DENGAN BAHAN DASAR TEMBAGA (Cu) MENGGUNAKAN CHEMICAL BATH DEPOSITION

BAB I PENDAHULUAN. luar biasa dalam penerapan nanosains dan nanoteknologi di dunia industri. Hal ini

I. PENDAHULUAN. Lapisan tipis adalah suatu lapisan yang sangat tipis terbuat dari bahan organik,

BAB I PENDAHULUAN 1.1. Latar Belakang

III. METODE PENELITIAN

Analisis Pengaruh Temperatur Annealing Pada Deposisi Lapisan Tipis Zinc Oxide (ZnO) Melalui Proses Spin Coating Rahmawati

BAB I PENDAHULUAN. Listrik merupakan kebutuhan esensial yang sangat dominan kegunaannya

Sintesis Lapisan ZnO dengan metode Sol-gel Spincoating Dan Karakterisasi Sifat Optiknya

PEMBUATAN KONDUKTOR TRANSPARAN THIN FILM SnO2 DENGAN MENGGUNAKAN TEKNIK SPRAY PYROLYSIS

The Effect of Pre-annealing Temperature on Structural Characteristics of ZnO Thin Films Deposited by Sol-Gel Method

BAB I PENDAHULUAN 1.1 Latar Belakang

BAB I PENDAHULUAN. Sel surya merupakan alat yang dapat mengkonversi energi matahari menjadi

BAB III EKSPERIMEN & KARAKTERISASI

BAB I PENDAHULUAN. Oksida konduktif transparan atau transparent conductive oxide (TCO)

BAB I PENDAHULUAN 1.1 Latar Belakang

BAB I PENDAHULUAN. disamping memberikan dampak positif yang dapat. dirasakan dalam melakukan aktifitas sehari hari, juga dapat memberikan beberapa

Sintesis Nanopartikel ZnO dengan Metode Kopresipitasi

PENENTUAN PANJANG GELOMBANG EMISI PADA NANOPARTIKEL CdS DAN ZnS BERDASARKAN VARIASI KONSENTRASI MERCAPTO ETHANOL

BAB I PENDAHULUAN A. Latar Belakang Masalah

Deskripsi METODE UNTUK PENUMBUHAN MATERIAL CARBON NANOTUBES (CNT)

Jurusan Fisika, Fakultas Matematika dan Ilmu Pengetahuan Alam, Universitas Hasanuddin

2 PEMBUATAN DAN KARAKTERISASI NANOPARTIKEL TITANIUM OXIDE (TiO 2 ) MENGGUNAKAN METODE SOL-GEL

Interferometer Fabry Perot : Lapisan optis tipis, holografi.

SINTESIS DAN KARAKTERISASI CORE-SHELL ZnO/TiO2 SEBAGAI MATERIAL FOTOANODA PADA DYE SENSITIZED SOLAR CELL (DSSC) SKRIPSI

BAB I PENDAHULUAN. energi cahaya (foton) menjadi energi listrik tanpa proses yang menyebabkan

BAB I PENDAHULUAN A. Latar Belakang Masalah

BAB II TINJAUAN PUSTAKA

BAB III METODOLOGI PENELITIAN. Metode yang digunakan dalam penelitian ini adalah metoda eksperimen.

BAB I PENDAHULUAN. Bidang elektronik saat ini memegang peranan penting di berbagai sektor

BAB I PENDAHULUAN. 1.1 Latar Belakang

BAB I PENDAHULUAN. modern pada fotokonduktor ultraviolet (UV) membutuhkan material

HASIL DAN PEMBAHASAN. didalamnya dilakukan karakterisasi XRD. 20%, 30%, 40%, dan 50%. Kemudian larutan yang dihasilkan diendapkan

BAB I PENDAHULUAN. 1.1 Latar Belakang

BAB I PENDAHULUAN. 1.1 Latar Belakang

BAB I PENDAHULUAN. Universitas Sumatera Utara

BAB III METODOLOGI PENELITIAN

BAB V HASIL DAN PEMBAHASAN. karakterisasi luas permukaan fotokatalis menggunakan SAA (Surface Area

PENGARUH PERBEDAAN WAKTU TUMBUH TERHADAP STRUKTUR KRISTAL LAPISAN TIPIS ZnO

BAB I PENDAHULUAN. perindustrian minyak, pekerjaan teknisi, dan proses pelepasan cat (Alemany et al,

HASIL DAN PEMBAHASAN. Gambar 11. Rangkaian pengukuran karakterisasi I-V.

I. PENDAHULUAN. Nanoteknologi merupakan teknologi masa depan, tanpa kita sadari dengan

BAB I PENDAHULUAN 1.1 Latar Belakang Masalah

PENGARUH DAYA PLASMA PADA STRUKTUR MIKRO DAN SIFAT OPTIK FILM TIPIS CdTe YANG DITUMBUHKAN DENGAN DC MAGNETRON SPUTTERING

HASIL DAN PEMBAHASAN. Struktur Karbon Hasil Karbonisasi Hidrotermal (HTC)

PENGARUH DOPING NITROGEN (N) TERHADAP SIFAT OPTIK DAN STRUKTUR KRISTAL ZNO Nurnadiyah Syuhada, Paulus Lobo Gareso, Eko Juarlin

4 Hasil dan Pembahasan

Logo SEMINAR TUGAS AKHIR. Henni Eka Wulandari Pembimbing : Drs. Gontjang Prajitno, M.Si

BAB III METODE PENELITIAN. Metode penelitian yang dilakukan adalah metode eksperimen yang dilakukan di

BAB I PENDAHULUAN Latar Belakang Masalah

BAB III METODOLOGI PENELITIAN

BAB III METODE PELAKSANAAN. Metode penelitian yang dilakukan menggunakan eksperimen murni yang

BAB I PENDAHULUAN. Spektrum elektromagnetik yang mampu dideteksi oleh mata manusia

PENGARUH PEMANASAN TERHADAP STRUKTUR DAN SIFAT OPTIK KRISTAL ZnO Hadria Zakaria, Paulus Lobo Gareso, Nurlaela Rauf

BAB III METODOLOGI PENELITIAN. Identifikasi dan Perumusan Masalah

PENUMBUHAN FILM TIPIS SEMIKONDUKTOR

TEMA: ENERGI TERBARUKAN. FABRIKASI SEL SURYA BERBASIS SILIKON DENGAN LAPISAN ANTI REFLEKSI ZnO MENGGUNAKAN TEKNOLOGI THICK FILM

BAB I PENDAHULUAN. Dalam kehidupan modern ini manusia tidak bisa dilepaskan dari peranan dan

Homogenitas Ketebalan, Konduktivitas Listrik dan Band Gap Lapisan Tipis a-si:h tipe-p dan tipe-p Doping Delta yang dideposisi dengan Sistem PECVD

BAB I PENDAHULUAN. nanoparticle (Serpone, 2013), nanowire (Wang, 2003), nanotube (Monthioux, 2011), hingga

Analisis Struktural Seng Oksida (ZNO) Dari Limbah Dross Galvanisasi

BAB I PENDAHULUAN 1.1. Latar Belakang

BAB I PENDAHULUAN. energi listrik. Pemanfaatan energi listrik terus berkembang tidak hanya berfokus

ABSTRAK DAN EXECUTIVE SUMMARY PROGRAM PENELITIAN HIBAH BERSAING

BAB I PENDAHULUAN 1.1 Latar Belakang

Penentuan Energi Celah Pita Optik Film TiO2 Menggunakan Metode Tauc Plot

Bab III Metodologi Penelitian

PEMBUATAN LAPISAN FOTOKATALIS ZINC OXIDE (ZnO) DENGAN TEKNIK SPRAY COATING DAN APLIKASINYA PADA PENGERING JAGUNG

BAB I 1 PENDAHULUAN. kemampuan mengubah bentuk radiasi cahaya menjadi sinyal listrik. Radiasi yang

SINTESIS LAPISAN TiO 2 MENGGUNAKAN PREKURSOR TiCl 4 UNTUK APLIKASI KACA SELF CLEANING DAN ANTI FOGGING

BAB I PENDAHULUAN 1.1 Latar Belakang

EFEK DOPING Ni TERHADAP STRUKTUR DAN SIFAT OPTIK PADA NANOCRYSTALLINE FILM TIPIS ZnO YANG DIPREPARASI DENGAN METODE SOL-GEL SPIN COATING

BAB I PENDAHULUAN. Pesatnya perkembangan teknologi material semikonduktor keramik,

BAB I PENDAHULUAN 1.1 Latar Belakang Permasalahan

BAB V ANALISIS HASIL PERCOBAAN DAN DISKUSI

BAB I PENDAHULUAN. Sebagai negara berkembang yang kaya akan radiasi matahari yang tinggi,

BAB III METODOLOGI PENELITIAN. Untuk mendapatkan jawaban dari permasalahan penelitian ini maka dipilih

4 FABRIKASI DAN KARAKTERISASI SEL SURYA HIBRID ZnO-KLOROFIL

Jurusan Fisika, Fakultas Matematika dan Ilmu Pengetahuan Alam Universitas Hasanuddin 2016

STUDI PENGARUH SUHU SUBSTRAT TERHADAP SIFAT LISTRIK DAN OPTIK BAHAN SEMIKONDUKTOR LAPISAN TIPIS SnSe HASIL PREPARASI TEKNIK VAKUM EVAPORASI

Karakteristik Sifat Optik dan Struktur Kristal Lapisan Tipis bilayer ZnO/TiO2 dengan Metode Spin Coating Nur Aeni 1,*, P.L. Gareso 1, Eko Juarlin 1

KARAKTERISASI SIFAT OPTIK LAPISAN TIPIS ZnO:Al PADA SUBSTRAT GELAS UNTUK JENDELA SEL SURYA

I. PENDAHULUAN. Nanopartikel saat ini menjadi perhatian para peneliti untuk pengembangan dalam

SINTESIS DAN KARAKTERISASI NANOPORI TiO2-SiO2/KITOSAN DENGAN PENAMBAHAN SURFAKTAN DTAB SKRIPSI SARJANA KIMIA. Oleh STEFANI KRISTA BP :

Transkripsi:

1 BAB I PENDAHULUAN 1.1. Latar Belakang Nanopatikel merupakan partikel mikroskopis yang memiliki ukuran dalam skala nanometer yaitu < 100 nm. Nanopartikel menjadi kajian yang sangat menarik, karena ketika suatu materi sudah dalam bentuk nanopartikel, biasanya partikel tersebut memiliki sifat yang berbeda dari sifat materi sebelumnya. Material berukuran nanometer memiliki sejumlah sifat kimia atau fisika yang lebih unggul dari materi ukuran besar atau bulk (Guozhong, 2004). Sifat tersebut dapat diubah-ubah dengan melalui pengontrolan ukuran material, pengaturan komposisi kimiawi, modifikasi permukaan, dan pengontrolan intraksi antar partikel. Nanopartikel mempunyai beberapa bentuk seperti nanosphere, nanorods, nanowires dan nanotube. Hal inilah yang menyebabkan konsep nanopartikel dapat menjadi penghubung dalam mempelajari sifat materi dengan sifat atom penyusunnya. Nanopartikel dapat diaplikasikan pada berbagai bidang, karena memiliki banyak keuntungan dan kelebihan antara lain memberikan nilai tambah suatu bahan material. Inovasi terbaru penggunaan teknologi nanopartikel yaitu menghilangkan kerut wajah, pelindung wajah, deodorant, memperkokoh botol kemasan, mengatasi penyakit kanker, sebagai tinta pengaman, piranti pemancar ultraviolet, solar sel, dan pizoelektrik (Heidari dan Younesi, 2009). Di alam ZnO berbentuk mineral zincite terjadi sebagai bubuk putih umumnya dikenal sebagai seng oksida yang hampir tidak larut dalam air namun larut dalam basa. ZnO berubah warna dari putih ke kuning ketika dipanaskan dan di udara beralih keputih pada pendinginan. Perubahan warna seperti ini terjadi karena perbedaan temperatur yang dikenal sebagai sifat termokromik. Dalam ilmu material khususnya, ZnO adalah salah satu bahan kandidat yang telah menarik perhatian dan merupakan material semikonduktor tipe-n golongan II-VI dengan lebar celah pita energi 3,37 ev dan energi ikat eksitasi sebesar 60 mev dalam suhu kamar (Kasim, 2010 dan Saravanakumar dkk, 2014). ZnO merupakan salah satu jenis metal oksida yang merupakan salah satu bahan dasar pembuatan film

2 tipis yang menempati posisi unik diantara sejumlah bahan lainnya, karena mempunyai sifat optik dan elektrik serta kemudahan dalam proses deposisi, serta ketersedian yang melimpah dan tidak mudah bereaksi secara kimiawi dengan unsur lain. Selain itu, ZnO memiliki sifat emisi yang dekat dengan sinar UV, fotokatalis, konduktivitas dan transparansi yang tinggi. ZnO sebagai bahan dasar film tipis yang banyak diminati karena memiliki beberapa keunggulan dalam aplikasinya, terutama dalam bidang sensor, sel surya, piezoelectric, light emitting diode dan surface acoustic wave (SAW) (Mitra dan Mondal, 2013 dan Nkrumah dkk, 2013). Film tipis adalah suatu lapisan yang sangat tipis dari bahan organik, anorganik, metal, maupun campuran metal-organik yang dapat memiliki sifatsifat konduktor, semikonduktor, maupun isolator. Teknologi film tipis seng oksida (ZnO) akhir-akhir ini telah banyak dikaji dan mengalami perkembangan yang sangat pesat, baik dari cara pembuatan, bahan yang digunakan dan aplikasinya dalam kehidupan masyarakat seperti perangkat pemancar cahaya, sel surya, sensor gas, panel layar datar dll. Aplikasi ini didasarkan karena menariknya karakteristik ZnO seperti lebar celah pita energi, optik langsung transisi dll. Film tipis ZnO dapat disintesis dengan berbagai metode, seperti molecular beam epitaxy (Changzheng, 2009), RF magnetron sputtering (Kumar dkk, 2012), pulsed laser deposition (Zhu, 2010), spray pyrolysis (Nehru dkk, 2012), chemical bath deposition (Ali, 2011), physical vapor deposition (George, 2010), dan sol-gel dip coating (Saravanakumar dkk, 2014) dan spin coating (Khan dkk, 2011). Metode sol-gel spin coating merupakan gabungan metode fisika dan kimia biasa yang digunakan untuk membuat film tipis dari bahan polimer photoresist yang dideposisikan pada permukaan silicon yang berbentuk datar. Setelah larutan (sol-gel) diteteskan diatas substrat, kecepatan putar diatur oleh gaya sentrifugal untuk menghasilkan film tipis yang homogen. Metode sol-gel spin coating merupakan suatu metode yang sangat mudah dan efektif untuk membuat film tipis dengan hanya mengatur parameter waktu dan kecepatan putar serta kekentalan larutan. Sintesis film tipis ZnO dengan metode sol-gel spin coating memiliki beberapa keuntungan antara lain biayanya murah, tidak menggunakan

3 ruang dengan kevakuman yang tinggi, komposisinya homogen, ketebalan lapisan bisa dikontrol dan struktur mikronya cukup baik, sehingga metode ini banyak digunakan dalam pembuatan film tipis (Cheng, 2004). Penelitian tentang film tipis ZnO dengan metode sol-gel spin coating telah banyak dilakukan, antara lain oleh Kumar dan Raji (2011) yang menggunakan bahan zinc acetat dehydrate, 2-metthoxyethanol dan MEA yang masing-masing sebagai precursor, pelarut dan penstabil. Suhu pre-heating 300 0 C, suhu postheating 350 0 C, kecepatan putaran spin coating 3000 rpm dan substrat gelas FTO. Hasil yang diperolehnya bahwa kristal film tipis ZnO berbentuk wurtzite hexagonal, ukuran kristal 43 nm dan lebar celah pita energi 3,44 ev. Menurut Foo dkk (2013) dalam penelitiannya dengan melakukan variasi pelarut. Bahan yang digunakan zinc acetat dihydrate sebagai precursor, methanol, ethanol, isopropyl alcohol dan 2-methoxyethanol sebagai pelarut dan monoethanolamine sebagai penstabil. Hasil yang diperolehnya bahwa semua struktur kristal berbentuk wurtzite hexagonal. Ukuran kristal paling kecil untuk pelarut 2-methoxyethanol dan paling besar untuk pelarut ethanol. Lebar celah pita energi rata-rata 3,27 ev dan nilai transmitansi rata-rata > 90% kecuali untuk pelarut methanol sekitar 80%. Perubahan transmitansi yang cukup tajam untuk semua pada panjang gelombang 350 400 nm yang merupakan daerah panjang gelombang ultraviolet Menurut Farooq dan Kamran (2012) dalam penelitiannya dengan melakukan variasi konsentrasi (0,1, 0,3 dan 0,5 M), bahan yang digunakan zinc acetat dihydrate, isopropanol dan monoethanolamine yang masing-masing sebagai precursor, pelarut dan penstabil. Hasil yang diperolehnya bahwa semua struktur kristal berbentuk wurtzite hexagonal, transmitansi yang diperoleh sekitar (75-92%) pada panjang gelombang 300 800 nm dan peningkatan konsentrasi seiring dengan bertambahnya ukuran kristal. Menurut Ilican dkk (2008) dalam penelitiannya dengan melakukan variasi kecepatan putaran spin coating (3000, 4000 dan 5000 rpm) dan bahan yang digunakan zinc acetat dehydrate, 2- methoxethanol dan monoethanolamine (MEA) yang masing-masing sebagai precursor, pelarut dan penstabil. Hasil yang diperolehnya bahwa semua struktur kristal berbentuk wurtzite hexagonal dan bertambahnya kecepatan putaran seiring

4 dengan bertambahnya ukuran full width half maximum (FWHM), sehingga menurunnya ukuran kristal, serta meningkatnya lebar celah pita energi dan nilai absorbansi. Transmitansi paling tinggi > 92% dalam daerah cahaya tampak dan perubahan transmitansi yang cukup tajam pada panjang gelombang 350 s/d 400 nm yang merupakan panjang gelombang ultraviolet. Menurut Kao dkk (2010) dalam penelitiannya melakukan variasi suhu pre-heating (100 dan 300 o C), bahan yang digunakan zinc acetat, 2-methoxyethanol dan monoethanolamine yang masing-masing sebagai precursor, pelarut dan penstabil. Hasil yang diperolehnya bahwa semua struktur kristal berbentuk wurtzite hexagonal. Peningkatan suhu pemanasan (pre-heating) seiring dengan bertambahnya ukuran kristal dan nilai transmitansi. Menurut Sengupta dkk (2011) dalam penelitiannya dengan melakukan variasi suhu annealing atau post-heating (400, 550 dan 700 o C), bahan yang digunakan zinc acetat, isopropyl alcohol, diethanolamine yang masingmasing sebagai precursor, pelarut dan penstabil. Hasil yang diperolehnya bahwa semua struktur kristal berbentuk wurtzite hexagonal. Peningkatan suhu pemanasan atau suhu annealing seiring dengan menurunnya ukuran FWHM, meningkatnya ukuran kristal, menurunnya nilai transmitansi dan lebar celah pita energi. Transmitansi dan absorbansi yang cukup tajam pada panjang gelombang 350 400 nm yang merupakan daerah panjang gelombang ultraviolet Shakti dan Gupta (2010), dalam penelitiannya dengan melakukan variasi suhu post-heating atau annealing (400, 500 dan 600 o C), bahan yang digunakan zinc acetat dihydrat, isopropanol dan diethanolamine yang masing-masing sebagai precursor, pelarut dan penstabil. Hasil yang diperolehnya bahwa semua struktur kristal berbentuk wurtzite hexagonal. Peningkatan suhu annealing seiring dengan peningkatan ukuran kristal. Lebar celah pita energi yang paling kecil untuk suhu 500 o C sebesar 3,212 ev. Transmitansi > 90% pada daerah cahaya tampak untuk suhu annealing 400 dan 600 o C, dan untuk suhu annealing 500 o C nilai transmitansi sekitar 70%. Ketebalan film tipis paling kecil untuk suhu 600 o C dan paling besar untuk suhu 500 o C. Menurut Bahadur dkk (2007) yang penelitiannya menggunakan bahan dasar berbeda yaitu zinc acetat dan zinc nitrate, yang bertujuan untuk mengetahui pengaruh precursor terhadap ukuran

5 kristal film tipis ZnO. Hasil yang diperolehnya menunjukkan bahwa ada pengaruh precursor terhadap ukuran kristal film tipis ZnO dan ukuran kristal yang paling kecil 20 nm untuk bahan dasar (precursor) zinc nitrate. Berdasarkan hal tersebut diatas, peneliti tertarik untuk melakukan penelitian tentang sintesis dan karakteristik film tipis ZnO yang nantinya akan digunakan sebagai sel surya dll. Hal ini disebabkan karakteristik film tipis ZnO dipengaruhi berbagai faktor antara lain yaitu precursor, konsentrasi larutan, zat pelarut, zat penstabil, suhu pre-heating, suhu post-heating, lamanya pemanasan, kecepatan putaran spin coating dan bahan substrat. Untuk sintesis film tipis ZnO, peneliti mendepositkan material pada substrat kaca dengan metode sol-gel spin coating. Proses pencampuran dalam pembuatan sol-gel menggunakan teknik refluks untuk mengontrol laju reaksi serta mengisolasi proses sintesis dari kelembaban udara luar. Untuk mendapatkan film tipis ZnO yang mempunyai karakteristik yang optimum, peneliti melakukan berbagai variasi yaitu konsentrasi larutan, kecepatan putaran spin coating, suhu pre-heating dan suhu post-heating. 1.2. Perumusan Masalah Berdasarkan latar belakang diatas, maka perumusan masalah dalam penelitian ini adalah : 1. Bagaimana sintesis film tipis ZnO dengan metode sol-gel spin coating 2. Bagaimana struktur kristal dan karaktersitik film tipis ZnO berdasarkan variasi konsentrasi larutan. 3. Bagaimana struktur kristal dan karakteristik film tipis ZnO berdasarkan variasi kecepatan spin coating 4. Bagaimana struktur kristal dan karaktersitik film tipis ZnO berdasarkan variasi pre-heating. 5. Bagaimana struktur kristal dan karaktersitik film tipis ZnO berdasarkan variasi post-heating.

6 1.3. Pembatasan Masalah Mengingat luasnya permasalahan dalam penelitian ini, maka penelitian ini dibatasi: 1. Pelarut yang digunakan pada penelitian ini adalah isopropanol 2. Konsentrasi larutan yang dilakukan pada penelitian ini hanya untuk konsentrasi 0,6; 0,7 dan 0,8 M 3. Kecepatan putaran spin coating yang dilakukan pada penelitian ini hanya untuk kecepatan putaran spin coating 3000, 4000 dan 5000 rpm. 4. Pemanasan yang dilakukan pada penelitian ini hanya untuk suhu pre-heating 250, 300 dan 350 o C 5. Annealing atau post-heating yang dilakukan pada penelitian ini hanya untuk suhu 500, 550 dan 600 o C 6. Karakterisasi film tipis ZnO hanya untuk sifat optik, pengujian dengan Uji XRD untuk menentukan struktur dan ukuran kristal ZnO, uji SEM dan AFM untuk mengetahui morfologi dan kekasaran permukaan film tipis, dan uji UV-Vis untuk karakteristik film tipis ZnO 1.4. Tujuan Penelitian Adapun tujuan penelitian ini adalah : 1. Untuk mengetahui sintesis film tipis ZnO dengan metode sol-gel spin coating 2. Untuk mengetahui struktur kristal dan karaktersitik film tipis ZnO berdasarkan variasi konsentrasi larutan. 3. Untuk mengetahui struktur kristal dan karaktersitik film tipis ZnO berdasarkan variasi kecepatan putaran spin coating. 4. Untuk mengetahui struktur kristal dan karaktersitik film tipis ZnO berdasarkan variasi pre-heating. 5. Untuk mengetahui struktur kristal dan karaktersitik film tipis ZnO berdasarkan variasi post-heating.

7 1.5. Manfaat Penelitian Perkembangan teknologi, khususnya deposisi film tipis telah menjadi subjek studi intensif yang menarik sekarang ini, banyak metode yang telah dikembangkan dan ditingkatkan. Teknik deposisi film tipis semakin banyak dikembangkan dan digunakan dalam industri, yang selanjutnya memberikan kekuatan besar untuk mendorong pengembangan lebih lanjut dan perbaikan teknik deposisi. Dengan keberhasilan merekayasa pembuatan film tipis ZnO akan memberi peluang aplikasi teknologi dan ilmiah. Hasil penelitian ini diharapkan dapat bermanfaat untuk bahan membuat suatu material yang digunakan antara lain sebagai material sel surya.