Diterima Juni 2004, disetujui untuk dipublikasikan September 2004
|
|
- Suhendra Rachman
- 7 tahun lalu
- Tontonan:
Transkripsi
1 Jurnal Matematika dan Sains Vol. 9 No. 3, September 2004, hal Penumbuhan Film Tipis Ti 1-x Co x O 2 Dengan Metode MOCVD Horasdia Saragih 1,3), Mersi Kurniati 2), Akhiruddin Maddu 2), Pepen Arifin 3) dan Moehamad Barmawi 3) 1) Jurusan Fisika, Universitas Pattimura, Ambon, Indonesia 2) Jurusan Fisika, Institut Pertanian Bogor, Bogor, Indonesia 3) Laboratorium Fisika Material Elektronik, Institut Teknologi Bandung, Bandung, Indonesia horas@dosen.fisika.net Diterima Juni 2004, disetujui untuk dipublikasikan September 2004 Abstrak Film tipis Ti 1-x Co x O 2 telah berhasil ditumbuhkan di atas subtrat silikon (Si) dengan menggunakan metode metalorganic chemical vapor deposition (MOCVD). Film tipis Ti 1-x Co x O 2 dengan harga x = 0 tumbuh dengan orientasi tunggal yang membentuk bidang kristal (213) anatase pada temperatur deposisi 450 o C dengan laju aliran gas Ar dan oksigen masing-masing 100 sccm dan 60 sccm. Film tipis yang tumbuh tersusun dari butiran-butiran yang berbentuk kolumnar dengan ukuran rata-rata dalam orde nanometer. Kehadiran atom Co pada film tipis Ti 1- xco x O 2 mempengaruhi struktur kristal film serta mempertinggi laju penumbuhan butiran. Konsentrasi kandungan atom Co yang semakin besar menghasilkan ukuran butiran yang semakin besar pula. Akan tetapi, secara keseluruhan, ukuran butiran relatif homogen sehingga morfologi permukaan setiap film relatif sangat halus. Penumbuhan Ti 1-x Co x O 2 pada temperature 450 o C dengan laju aliran gas Ar = 70 sccm, sebagai gas pembawa prekursor Co, menghasilkan struktur kristal seperti struktur kristal semula dimana saat prekursor Co belum dialirkan ke ruang penumbuhan, yaitu dengan membentuk bidang kristal (213) anatase dengan suatu bidang tambahan (301) anatase yang tidak dominan. Film tipis yang ditumbuhkan memiliki tebal rata-rata sekitar 0,9 µm. Film memiliki ketebalan yang homogen di atas subtrat seluas 3x3 cm 2. Kata kunci : Feromagnetik semikonduktor, Ti 1-x Co x O 2, MOCVD. Abstract The Ti 1-x Co x O 2 thin films have been successfully deposited on Silicon (Si) substrates by metalorganic chemical vapor deposition (MOCVD). The Ti 1-x Co x O 2 thin films with x = 0 is grown at deposition temperature of 450 o C with argon and oxygen flow rate of 100 sccm and 60 sccm, respectively. The deposited film has a single orientation of (213)-anatase. The films consist of nanometer size of columnar grains. The growth rate was increased with increasing Co content and therefore the grains become larger. Generally, the crystal structure of films was affected by Co atom concentrations, however at temperature deposition of 450 o C and argon flow rate of 70 sccm, the film has the initial structure of (213)-anatase and co-exist with (301)-anatase which is not dominant. The film thickness is about of 0,9 µm for an area of 3x3 cm 2. Keywords : 1. Pendahuluan Penelitian terhadap material feromagnetik semikonduktor akhir-akhir ini mendapat banyak perhatian. Hal ini didorong oleh potensi aplikasinya yang sangat luas 1). Feromagnetik semikonduktor digunakan sebagai komponen penyusun dalam pembuatan devais spin-electronik (spintronik) 2). Bahan semikonduktor III-V yang didoping dengan elemen magnetik Mn seperti Ga 1-x Mn x As telah berhasil dibuat dengan temperatur operasi 110K 3). Usaha untuk memperbaiki kinerja material ini terus dilakukan. Akhir-akhir ini peningkatan temperatur operasi menjadi fokus perhatian. Oleh karenanya pencarian terhadap jenis material feromagnetik semikonduktor baru terus dilakukan 4). Untuk tujuan tersebut semikonduktor oksida, yang berperan sebagai material induk, menjadi pilihan yang diharapkan, dan salah satu di antaranya adalah TiO 2 5). 263 Untuk menerapkan material feromagnetik semikonduktor oksida sebagai komponen divais spintronik, yang diwujudkan dalam bentuk film tipis, berbagai teknik penumbuhan harus dilibatkan dan dipelajari. Dicari suatu metode penumbuhan yang terbaik dan yang dapat menghasilkan karakteristik film yang terbaik pula. Sejak Matsumoto, 6) menemukan sifat feromagnetisme pada temperatur ruang dari material film tipis TiO 2 yang didoping dengan elemen magnetik Co, Ti 1-x Co x O 2, yang ditumbuhkan di atas subtrat Si dengan metode laser ablasi, penelitian terhadap material ini sangat intensif dilakukan. Berbagai teknik penumbuhan digunakan, seperti metode molecular beam epitaxy (MBE) 7) dan metode pulsed laser deposition (PLD) 8) Beberapa issu penting menyertai jalannya penelitian pada bidang ini, misalnya: bagaimana mengontrol konsentrasi dopan (elemen magnetik) lebih mudah dan akurat, bagaimana memperbaiki
2 264 JMS Vol. 9 No. 3, September 2004 sifat feromagnetisme material dan bagaimana mengklarifikasi sifat feromagnetisme itu sendiri 8). Metode penumbuhan metal organic chemical vapor deposition (MOCVD) adalah salah satu metode penumbuhan yang memiliki beberapa keunggulan dalam bidang teknologi pembuatan film tipis 9). Pengontrolan terhadap aliran bahan yang diuapkan, sebagai bahan prekursor yang selanjutnya akan tumbuh membentuk film tipis, dapat dilakukan dengan mudah dan akurat sehingga stoikiometri film dengan baik dapat dikendalikan. Film yang terbentuk memiliki homogenitas yang tinggi. Temperatur penumbuhan yang digunakan relatif rendah dan dapat menumbuhkan film dengan ukuran yang luas dengan tingkat homogenitas yang tinggi 10). Untuk menjawab issue seperti yang disebutkan di atas, telah dilakukan penelitian terhadap proses penumbuhan film tipis Ti 1-x Co x O 2 dengan menggunakan metode MOCVD. Film tipis ditumbuhkan di atas subtrat Si. Dalam tulisan ini akan dilaporkan proses penumbuhan film tipis Ti 1- xco x O 2 dengan metode MOCVD dan karakteristik film yang dihasilkan. 2. Eksperimen Film tipis Ti 1-x Co x O 2 ditumbuhkan di atas subtrat Si(100) tipe-p dengan menggunakan suatu sistem reaktor MOCVD. Sebelum digunakan, subtrat Si(100) tipe-p dicuci dengan menggunakan aseton selama 5 menit, kemudian dengan methanol selama 5 menit dan diakhiri dengan 10% HF dicampur dengan air (de-ionized water) selama 2 menit. Selanjutnya disemprot dengan gas N 2 dengan tingkat kemurnian 99,999%. Subtrat kemudian ditempel dengan suatu pasta perak yang konduktif terhadap panas di permukaan plat pemanas di dalam ruang penumbuhan. Prekursor metalorganik yang digunakan adalah titanium (IV) isopropoxide [Ti{OCH(CH 3 ) 2 } 4 ] 99,99% yang adalah cair pada temperatur ruang dengan titik leleh 20 o C (Sigma Aldrich Chemical Co., Inc.) dan tris (2,2,6,6-tetramethyl-3, 5- heptanedionato) cobalt (III), 99%, Co(TMHD) 3 (Strem Chemical, Inc.) serta gas oksigen sebagai sumber O. Co(TMHD) 3 adalah berbentuk serbuk. Bahan ini dilarutkan kedalam pelarut tetrahydrofuran (THF, C 4 H 8 O) dengan konsentrasi 0,2 mol per liter. Hasil larutan, dan juga bahan cair Ti{OCH(CH 3 ) 2 } 4, kemudian dimasukkan kedalam masing-masing bubbler yang telah terhubung dengan suatu sistem perpipaan ke ruang penumbuhan. Untuk menguapkan masing-masing bahan, bubbler kemudian dipanaskan dengan suatu plat pemanas sesuai dengan titik uap bahan. Uap masing-masing bahan dialirkan ke ruang penumbuhan dengan menggunakan gas argon (Ar) sebagai gas pembawa. Tekanan uap di dalam bubbler dikendalikan melalui suatu katub pengendali. Bersamaan dengan proses pemanasan bubbler, ruang penumbuhan divakumkan sampai ke tekanan 1x10-2 Torr dan subtrat yang terletak di dalamnya dipanaskan. Pada saat penumbuhan dilakukan, gas O 2 dialirkan ke dalam ruang penumbuhan. Film tipis Ti 1-x Co x O 2 yang tumbuh selanjutnya dikarakterisasi. Untuk mengetahui persentasi masing-masing atom penyusun film dilakukan uji komposisi dengan menggunakan metode energy dispersive spectroscopy (EDS) (Jeol JSM 6360LA). Ketebalan, morfologi permukaan dan mode penumbuhan film dianalisa dari hasil potret scanning electron microscope (SEM) (Jeol JSM 6360LA). Serta struktur kristal film ditentukan dari hasil uji X-ray diffraction (XRD) dengan menggunakan radiasi Cu K α (λ=1,54056å) (Philips PW3710). Film tipis Ti 1-x Co x O 2, dengan harga x = 0, ditumbuhkan di atas subtrat Si(100) selama 120 menit. Berbagai parameter penumbuhan digunakan, seperti variasi temperatur subtrat, variasi aliran gas Ar ke bubbler Ti{OCH(CH 3 ) 2 } 4, variasi laju aliran gas O 2 dan variasi tekanan total penumbuhan. Parameter penumbuhan optimal didapatkan sebagai berikut: temperatur bubbler (T b(ti) ) 50 o C, temperatur subtrat (T s ) 450 o C, tekanan bubbler (P b(ti) ) 260 Torr, laju aliran gas Ar (Ti) 100 sccm, laju aliran gas O 2 60 sccm dan tekanan total penumbuhan (P Tot ) 2 Torr. Mengacu pada parameter optimal di atas, selanjutnya dilakukan penumbuhan untuk menghasilkan film tipis yang lain dengan menggunakan prekursor tambahan Co(TMHD). Untuk mengubah nilai x pada stoikiometri Ti 1- xco x O 2, laju aliran gas pembawa (Ar) yang dialirkan ke bubbler prekursor Co(TMHD) divariasikan besarnya yaitu (a) 30 sccm, (b) 50 sccm dan (c) 70 sccm dengan tekanan uap P b(co) yang sama, yaitu 5 lb/inc 2 dan temperatur bubbler T b(co) dijaga pada nilai 100 o C. 3. Hasil dan Diskusi Film tipis TiO 2 hasil penumbuhan dengan menggunakan parameter seperti yang diterangkan di atas diuji stoikiometrinya dengan EDS. Dari hasil yang didapatkan, menunjukkan bahwa perbandingan persentase atom penyusun film adalah Ti:O = 1:2 dengan tebal sekitar 0,9 µm. Morfologi permukaan film yang dihasilkan ditunjukkan pada gambar 1. Terlihat bahwa bentuk permukaan butiran penyusun film hampir rata-rata memanjang di atas permukaan subtrat. Koalisi antar butiran sangat baik. Ukuran butiran berada pada orde nanometer. Ukuran butiran telah mendekati homogen, dan penumbuhan butiran yang abnormal tidak terjadi. Kondisi ini menghasilkan film yang permukaannya sangat halus (smooth). Disamping itu, ketebalan film telah merata pada lebar sekitar 3x3 cm 2.
3 JMS Vol. 9 No. 3, September subtrat yang diberikan. Penggunaan tekanan total yang lebih rendah dan yang lebih tinggi menghasilkan puncak pase anatase yang beragam (polycrystalline) dan penggunaan temperatur penumbuhan yang lebih tinggi dan yang lebih rendah dari 450 o C masing-masing menghasilkan pase anatase disertai pase rutile dan mendekati amorphous. Gambar 3 memperlihatkan pola XRD film TiO 2 /Si(100) yang ditumbuhkan pada temperatur 550 o C. Gambar 1. Potret SEM permukaan film tipis TiO 2 /Si(100): T b(ti) = 50 o C, T s = 450 o C, P b(ti) = 260 Torr, laju aliran gas Ar (Ti) = 100 sccm, laju aliran gas O 2 = 60 sccm. Gambar 3. Pola XRD film tipis TiO 2 /Si(100): T b(ti) = 50 o C, T s = 550 o C, P b(ti) = 260 Torr, laju aliran gas Ar (Ti) = 100 sccm, laju aliran gas O 2 = 60 sccm. Gambar 2. Pola XRD film tipis TiO 2 /Si(100) yang permukaannya diperlihatkan pada gambar 1. Hasil pola XRD film tipis TiO 2 /Si(100) ditunjukkan pada gambar 2. Puncak difraksi terjadi pada sudut 2θ=62,52 o. Mengacu dari referensi, puncak intensitas difraksi pada sudut ini dihasilkan oleh bidang difraksi (213) anatase. Puncak difraksi yang terjadi adalah tunggal yang menunjukkan bahwa butiran-butiran penyusun film mayoritas memiliki domain struktur kristal homogen dengan bidang tunggal (213) anatase. Pembentukan bidang ini memiliki peluang yang terbesar untuk kondisi penumbuhan yang digunakan yang berkaitan dengan tekanan total penumbuhan dan besarnya temperatur Dari keseluruhan film tipis TiO 2 yang dihasilkan tidak satupun yang tumbuh dalam arah sumbu-c. Hal ini disebabkan oleh besarnya ketidaksesuaian parameter kisi antara TiO 2 dengan Si(100) yang mencapai 30%. Namun, dari hasil yang ditunjukkan pada gambar 2, butiran penyusun film tumbuh dengan membentuk bidang tunggal, yaitu (213) anatase. Hal ini sangat diharapkan karena film memiliki homogenitas struktur kristal yang baik. Ukuran butiran yang relatif sangat kecil, seperti yang ditunjukkan pada gambar 1, menyebabkan intensitas difraksi bidang (213) sangat lemah dibandingkan terhadap difraksi oleh bidang (400) subtrat Si yang terjadi pada sudut 2θ=69,89 o. Atom-atom yang terdapat pada batas antar butir (grain boundary) yang tersusun relatif lebih acak, menghasilkan latar belakang intensitas difraksi tidak nol. Film tipis TiO 2 yang disertai hadirnya elemen Co, Ti 1-x Co x O 2, selanjutnya dikarakterisasi. Komposisi persen atom penyusunnya diuji dengan EDS. Didapatkan variasi nilai x pada film untuk setiap besar aliran gas Ar yang mengalir ke dalam bubbler Co(TMHD). Nilai x masing-masing adalah (a) 0,02, (b) 0,09 dan (c) 0,13. Hubungan antara nilai x dengan besarnya laju aliran gas Ar ditunjukkan pada gambar 4. Terlihat adanya hubungan positif antara menaiknya laju aliran gas Ar dengan penambahan fraksi atom Co di dalam film. 265
4 266 JMS Vol. 9 No. 3, September 2004 ukurannya mencapai 150 nm untuk x >0,08. Jumlah dan ukuran kluster akan semakin banyak dan besar pada saat x bertambah. Dari gambar 5a, b dan c terlihat bahwa kehadiran faksi atom Co yang lebih besar menyebabkan ukuran diameter permukaan butiran menjadi lebih besar. Gambar 4. Hubungan laju aliran gas Ar yang mengalir ke bubbler Co(TMHD) terhadap perubahan nilai x pada stoikiometri Ti 1-x Co x O 2 Pada gambar 5 diperlihatkan morfologi permukaan film tipis Ti 1-x Co x O 2. Bentuk butiran yang terdeposisi menyerupai suatu bentuk kubah dan distribusi ukurannya relatif hampir sama untuk masing-masing film. Pembentukan butiran yang permukaannya menyerupai kubah ini disebabkan oleh adanya perbedaan panjang parameter kisi antara film dan subtrat yang pada gilirannya menghasilkan tegangan pada bidang antar-muka (interface) filmsubtrat yang menyebabkan terjadinya dinamika pada energi permukaan (surface energy) dan energi batas butir (grain boundary energy) pada saat penumbuhan. Diameter rata-rata permukaan butiran berada pada orde nanometer, namun besar ukurannya berbeda untuk setiap film. Dari hasil yang ditunjukkan pada gambar 5 terlihat bahwa ukuran diameter permukaan butiran dipengaruhi oleh jumlah faksi atom Co yang terkandung di dalamnya. Ada 3 kemungkinan yang menyebabkan hal ini terjadi, yaitu: pertama, atom Co akan mengganti atom Ti dalam stoikiometri Ti 1-x Co x O 2 dan menghasilkan perubahan panjang parameter kisi sehingga menyebabkan berubahnya volume sel satuan; kedua, kehadiran atom Co, apakah menggantikan posisi Ti atau masuk secara liar (interstitial), memperbesar kekuatan ikatan kohesi dari atom-atom yang telah terdeposisi dengan atom-atom prekursor yang menghujani permukaan butiran sehingga mempertinggi laju penumbuhan butiran. Ketiga, sebagaimana dilaporkan oleh Matsumoto 6), atom Co dapat juga membentuk kluster-kluster Co yang Gambar 5. Potret SEM permukaan film tipis Ti 1- xco x O 2 /Si(100): T b(ti) = 50 o C, T b(co) = 100 o C, T s = 450 o C, P b(ti) = 260 Torr, P b(co) = 260 Torr, laju aliran gas O 2 = 60 sccm, laju aliran gas Ar (Ti) = 100 sccm dan laju aliran gas Ar (Co) : (a) 30 sccm, (b) 50 sccm dan (c) 70 sccm. Film Ti 1-x Co x O 2 tersusun dalam bentuk butiran, sebagaimana ditunjukkan pada gambar 5a, b dan c. Hal ini menyatakan bahwa kekuatan ikatan antar atom-atom penyusun film tidaklah merata. Pada film terbentuk jalur (grooving) batas antar butiran yang ikatan atomnya relatif lebih lemah dibanding ikatan antar atom di dalam butiran. Terjadinya pembentukan penumbuhan film dalam bentuk butiran disebabkan oleh terbatasnya daerah difusi permukaan dari atom-atom atau molekul-molekul prekursor yang menghujani permukaan subtrat dan permukaan butiran pada saat penumbuhan. Arah penumbuhan butiran, setelah berkoalisi antar sesamanya, sejajar dengan arah normal permukaan subtrat sehingga di akhir penumbuhan, butiranbutiran memiliki bentuk kolom-kolom. Hal ini terlihat dari potret penampang lintang film sebagaimana ditunjukkan pada gambar 6. Juga jelas terlihat bahwa ada pola pemisahan antar butiran yang khas pada penampang. Pemisahan ini terjadi pada jalur-jalur yang ikatan antar atomnya lebih lemah yang terdapat pada batas antar butiran.
5 JMS Vol. 9 No. 3, September Gambar 6. Potret SEM penampang film tipis Ti 1-x Co x O 2 /Si(100): T b(ti) = 50 o C, T b(co) = 100 o C, T s = 450 o C, P b(ti) = 260 Torr, P b(co) = 260 Torr, laju aliran gas O 2 = 60 sccm, laju aliran gas Ar (Ti) = 100 sccm dan laju aliran gas Ar (Co) : (a) 30 sccm, (b) 50 sccm dan (c) 70 sccm. Bentuk butiran yang sedikit berbeda ditemukan pada gambar 6c, butiran lebih menyerupai kerucut yang terbalik. Pola kerucut ini menyatakan bahwa telah terjadi dinamika pada batas antar butir pada film tipis Ti 1-x Co x O 2 selama proses penumbuhan. Batas butiran di beberapa tempat bergerak mengembang yang menyebabkan diameter permukaan butiran menjadi lebih besar seiring dengan waktu penumbuhan. Kondisi ini menyebabkan terjadinya kompetisi antar butiran untuk memperbesar diameter permukaannya yang pada gilirannya mengorbankan penumbuhan butiranbutiran yang ada di sekitarnya. Peristiwa ini disebabkan oleh adanya pembentukan kluster prekursor sebelum mencapai permukaan film atau subtrat 6). Dalam hal ini, dengan naiknya laju aliran gas Ar yang membawa uap precursor Co(TMHD) ke ruang deposisi memberikan kontribusi pembentukan kluster prekursor yang lebih banyak. Kehadiran fraksi atom Co pada film tipis Ti 1-x Co x O 2 memberikan perubahan pada struktur kristal (gambar 7). Pembentukan bidang-bidang kristal baru terjadi pada butiran, seperti bidang anatase (112), (211) dan (301). Kehadiran bidang anatase (301) ditemukan pada ketiga jenis film. Hal ini menyatakan bahwa bidang anatase (301) memiliki kestabilan yang tinggi pada film. Untuk besar aliran gas Ar = 70 sccm, kehadiran bidang anatase (213) kembali terbentuk dan dominan sebagaimana terbentuk pada kondisi awal saat sebelum melibatkan material Co(TMHD) (gambar 2). Kandungan atom Co sebanyak x = 0,13 dapat mengembalikan struktur kristal butiran ke struktur semula dengan suatu tambahan bidang anatase (301) yang tidak dominan (gambar 7c). Hasil ini memberikan informasi yang sangat berharga terhadap pengaruh konsentrasi kandungan Co dalam hubungannya dengan perubahan struktur kristal film. Intensitas difraksi latar belakang yang ditunjukkan oleh gambar 7c menunjukkan secara tidak langsung bahwa hubungan antar butiran menjadi lebih baik, hal ini dapat dikonfirmasi dari morfolgi permukaan yang ditunjukkan pada gambar 5c dimana koalisi antar butiran penyusun film telah dengan baik terbentuk. Hubungan antar butiran menjadi lebih kuat sebagaimana dikonfirmasi oleh jalur potong penampang film yang ditunjukkan pada gambar 6c. 267
6 268 JMS Vol. 9 No. 3, September 2004 Gambar 7. Pola XRD film tipis Ti 1-x Co x O 2 /Si(100): T b(ti) = 50 o C, T b(co) = 100 o C, T s = 450 o C, P b(ti) = 260 Torr, P b(co) = 260 Torr, laju aliran gas O 2 = 60 sccm, laju aliran gas Ar (Ti) = 100 sccm dan laju aliran gas Ar (Co) : (a) 30 sccm, (b) 50 sccm dan (c) 70 sccm. 4. Kesimpulan Film tipis TiO 2 dan Ti 1-x Co x O 2 telah berhasil dengan baik ditumbuhkan di atas subtrat Si(100) dengan menggunakan metode MOCVD. Parameter penumbuhan yang optimal adalah: temperatur bubbler (T b(ti) ) 50 o C, temperatur subtrat (T s ) 450 o C, tekanan bubbler (P b(ti) ) 260 Torr, laju aliran gas O 2 60 sccm dan tekanan total penumbuhan (P Tot ) 3x10-2 Torr. Pola penumbuhan butiran penyusun film adalah kolumnar dengan rata-rata jari-jarinya dalam orde nanometer. Kehadiran atom Co sebagai fraksi atom penyusun butiran menaikkan laju penumbuhan, mengubah struktur kristal dan memperbaiki hubungan antar butiran. Tebal film yang terdeposisi rata-rata mencapai 0,9 µm dengan waktu deposisi 120 menit. Film tipis yang terdeposisi memiliki morfologi dan ketebalan yang sangat homogen untuk ukuran subtrat 3x3 cm 2. Daftar Pustaka 1. Dietl, T., & Ohno, H., MRS Bulletin, 28, 714, (2003). 2. Chambers, S.A., & Yoo, Y.K., MRS Bulletin, 28, 706, (2003). 3. Pearton, S.J., Abernathy, C.R., Norton, D.P., Hebard, A.F., Park, Y.D., Boatner, L.A. & Budai, J.D., Mater. Sci. Eng., R40, 137, (2003). 4. Pearton, S.J., Abernathy, C.R., Overberg, M.E., Thaler, G.T., Norton, D.P., Theodoropoulou, N., Hebard, A.F., Park, Y.D., Ren, F., Kim, J., & Boatner, L.A., J. Appl. Phys. Lett., 93, 1, (2003). 5. Hong, N.H., Sakai, J., Prellier, W., & Hassini, A., Appl. Phys. Lett., 79, 3129, (2003). 6. Matsumoto, Y., Murakami, M., Shono, T., Hasegawa, T., Fukumura, T., Kawasaki, N., Ahmet, P., Chikyow, T., Koshihara, S., & Koinuma, H., Science 291, 854, (2001). 7. Chember, S.A., Thevuthasan, S., Farrow, R.F., Marks, R.F., Thiele, J.U., Folks, L., Samant, M.G., Kellock, A.J., Ruzycki, N., Ederer, D.L., & Diebond, U., Appl. Phys. Lett., 79, 3467, (2001). 8. Hong, N.H., Sakai, J., Prellier, W., & Hassini, A., Appl. Phys. Lett., 83, 3129, (2003). 9. Jones, A.C., & Brien, P. O, CVD of Compound Semiconductors : Precursors Synthesis, Development and Applications, VCH Verlagsgesellschaft mbh, Germany, Lu, Z., Truman, J.K., Johansson, M.E., Zhang, D., Shih, C.F., & Liang, G.C., Appl. Phys. Lett. 67, 712 (1995).
Anisotropi Magnetik Film Tipis TiO 2 :Co yang Ditumbuhkan dengan Teknik MOCVD
Jurnal Matematika dan Sains Vol. 10 No. 4, Desember 2005, hal 107-111 Anisotropi Magnetik Film Tipis TiO 2 :Co yang Ditumbuhkan dengan Teknik MOCVD Abstrak Horasdia Saragih 1,2), Pepen Arifin 1) dan Mohamad
Lebih terperinciStudi Pengaruh Konsentrasi Co pada Struktur Kristal dan Respon Photoluminescence Film Tipis Ti 1-x Co x O 2 yang Ditumbuhkan dengan Teknik MOCVD
PROC. ITB Sains & Tek. Vol. 37 A, No. 2, 2005, 101-114 101 Studi Pengaruh Konsentrasi Co pada Struktur Kristal dan Respon Photoluminescence Film Tipis Ti 1-x Co x O 2 yang Ditumbuhkan dengan Teknik MOCVD
Lebih terperinciStudi Pengaruh Temperatur Penumbuhan terhadap Struktur Kristal dan Morfologi Film Tipis TiO 2 :Eu yang Ditumbuhkan dengan Metode MOCVD
Studi Pengaruh Temperatur Penumbuhan terhadap Struktur Kristal dan Morfologi Film Tipis TiO 2 :Eu yang Ditumbuhkan dengan Metode MOCVD Edy Supriyanto 1,2), Goib Wiranto 3), Heri Sutanto 1,4), Agus Subagio
Lebih terperinciPengaruh Temperatur Penumbuhan terhadap Struktur Kristal dan Morfologi Film Tipis TiO 2 :Eu yang Ditumbuhkan dengan Metode MOCVD
Pengaruh Temperatur Penumbuhan terhadap Struktur Kristal dan Morfologi Film Tipis TiO 2 :Eu yang Ditumbuhkan dengan Metode MOCVD Edy Supriyanto 1,2), Goib Wiranto 3), Heri Sutanto 1,4), Agus Subagio 1,4),
Lebih terperinciKARAKTERISTIK MORFOLOGI DAN OPTIK FILM TIPIS TiO 2 :Co YANG DITUMBUHKAN DENGAN METODE MOCVD DI ATAS SUBSTRAT SILIKON
PKMI-3-5-1 KARAKTERISTIK MORFOLOGI DAN OPTIK FILM TIPIS TiO 2 :Co YANG DITUMBUHKAN DENGAN METODE MOCVD DI ATAS SUBSTRAT SILIKON Iing Mustain Jurusan pendidikan Fisika, Universitas Pendidikan Indonesia,
Lebih terperinciPENGARUH PENGOTOR Co PADA STRUKTUR DAN KONDUKTIVITAS FILM TIPIS TiO 2
ISSN 1412 3762 http://jurnal.upi.edu/electrans ELECTRANS, VOL.12, NO.1, MARET 2013, 9-14 PENGARUH PENGOTOR Co PADA STRUKTUR DAN KONDUKTIVITAS FILM TIPIS TiO 2 Aip Saripudin, Tjetje Gunawan, Yuda Muladi
Lebih terperinciPROC. ITB Sains & Tek. Vol. 38 A, No. 2, 2006,
PROC. ITB Sains & Tek. Vol. 38 A, No. 2, 2006, 117-131 117 Studi Penumbuhan Film Tipis Ti 1-x Co x O 2 dengan Teknik MOCVD Menggunakan Prekursor Titanium (IV) Isopropoxide dan Tris (2,2,6,6-tetramethyl-3,
Lebih terperinciEfek Doping Co Pada Konstanta Kisi Film Tipis polikristal TiO 2 yang Dideposisikan dengan Teknik MOCVD
Efek Doping Co Pada Konstanta Kisi Film Tipis polikristal TiO 2 yang Dideposisikan dengan Teknik MOCVD Aip Saripudin* Program Studi Teknik Elektro FPTK, Universitas Pendidikan Indonesia Email: asaripudin1604@gmail.com
Lebih terperinciMagnetoresistansi Divais Spintronika TiO 2 :Co/Si/TiO 2 :Co
Magnetoresistansi Divais Spintronika TiO 2 :Co/Si/TiO 2 :Co Edy Supriyanto, Horasdia Saragih, Maman Budiman, Pepen Arifin, Sukirno dan M. Barmawi Kelompok Keahlian Fisika Material Elektronik Fakultas Matematika
Lebih terperinciBAB I PENDAHULUAN. Perkembangan ilmu pengetahuan dan teknologi sangat mempengaruhi peradaban
BAB I PENDAHULUAN A. Latar Belakang Perkembangan ilmu pengetahuan dan teknologi sangat mempengaruhi peradaban manusia di abad ini. Sehingga diperlukan suatu kemampuan menguasai teknologi tinggi agar bisa
Lebih terperinciMagnetoresistansi Divais Spintronika TiO 2 :Co/Si/TiO 2 :Co
Magnetoresistansi Divais Spintronika TiO 2 :Co/Si/TiO 2 :Co Edy Supriyanto 1,2), Agus Subagio 1,3), Hery Sutanto 1,3), Horasdia Saragih 1), Maman Budiman 1), Pepen Arifin 1), Sukirno 1) dan Moehamad Barmawi
Lebih terperinciBAB I PENDAHULUAN. Pada saat ini dunia elektronika mengalami kemajuan yang sangat pesat, hal ini
BAB I PENDAHULUAN 1.1 Latar Belakang Pada saat ini dunia elektronika mengalami kemajuan yang sangat pesat, hal ini terlihat dari banyaknya komponen semikonduktor yang digunakan disetiap kegiatan manusia.
Lebih terperinciStruktur kristal dan Morfologi film tipis GaN yang ditumbuhkan dengan metoda Hot-Wire Pulsed Laser Deposition
Struktur kristal dan Morfologi film tipis GaN yang ditumbuhkan dengan metoda Hot-Wire Pulsed Laser Deposition Dadi Rusdiana Departemen Fisika, FPMIPA UPI, Jl. Dr.Setiabudi 229 Bandung, Indonesia 40154
Lebih terperinciBAB III EKSPERIMEN & KARAKTERISASI
BAB III EKSPERIMEN & KARAKTERISASI Pada bab ini dibahas penumbuhan AlGaN tanpa doping menggunakan reaktor PA- MOCVD. Lapisan AlGaN ditumbuhkan dengan variasi laju alir gas reaktan, hasil penumbuhan dikarakterisasi
Lebih terperinciABSTRAK DAN EXECUTIVE SUMMARY PROGRAM PENELITIAN HIBAH BERSAING
ABSTRAK DAN EXECUTIVE SUMMARY PROGRAM PENELITIAN HIBAH BERSAING Rancang Bangun Sensor Gas CO Berbasis Zinc Oxide Nanokristal Tahun ke-1 dari rencana 2 tahun Oleh: Dr. Edy Supriyanto, S.Si., M.Si(Ketua
Lebih terperinciSTRUKTUR DAN KOMPOSISI KIMIA LAPIS TIPIS BAHAN SEMIKONDUKTOR Sn(Se 0,2 S 0.8 ) HASIL PREPARASI TEKNIK VAKUM EVAPORASI UNTUK APLIKASI SEL SURYA
J. Sains Dasar 2015 4 (2) 198-203 STRUKTUR DAN KOMPOSISI KIMIA LAPIS TIPIS BAHAN SEMIKONDUKTOR Sn(Se 0,2 S 0.8 ) HASIL PREPARASI TEKNIK VAKUM EVAPORASI UNTUK APLIKASI SEL SURYA THE STRUCTURE AND CHEMICAL
Lebih terperinciMolekul, Vol. 5, No. 1, Mei 2010 : KARAKTERISTIK FILM TIPIS TiO 2 DOPING NIOBIUM
KARAKTERISTIK FILM TIPIS TiO 2 DOPING NIOBIUM Bilalodin dan Mukhtar Effendi Program Studi Fisika, Jurusan MIPA Fakultas Sains dan Teknik UNSOED Email: bilalodin.unsoed@gmail.com ABSTRACT Niobium (Nb) doped
Lebih terperinciBAB I PENDAHULUAN. Perkembangan teknologi yang semakin maju dalam beberapa dekade ini
BAB I PENDAHULUAN 1.1 Latar Belakang Perkembangan teknologi yang semakin maju dalam beberapa dekade ini mengalami peralihan dari teknologi mikro (microtechnology) ke generasi yang lebih kecil yang dikenal
Lebih terperinciPENUMBUHAN FILM TIPIS SEMIKONDUKTOR
PENUMBUHAN FILM TIPIS SEMIKONDUKTOR Penumbuhan film tipis semikonduktor di atas substrat dapat dilakukan secara epitaksi. Dalam bahasa yunani epi berarti di atas dan taksial berarti menyusun dengan kata
Lebih terperinciDeskripsi METODE UNTUK PENUMBUHAN MATERIAL CARBON NANOTUBES (CNT)
1 Deskripsi METODE UNTUK PENUMBUHAN MATERIAL CARBON NANOTUBES (CNT) Bidang Teknik Invensi Invensi ini berhubungan dengan metode untuk penumbuhan material carbon nanotubes (CNT) di atas substrat silikon
Lebih terperinciBAB III METODE PENELITIAN. Metode penelitian yang dilakukan adalah metode eksperimen yang dilakukan di
BAB III METODE PENELITIAN Metode penelitian yang dilakukan adalah metode eksperimen yang dilakukan di lab. Fisika Material, Jurusan Pendidikan Fisika, Fakultas Matematika dan Ilmu Pengetahuan Alam, Universitas
Lebih terperinciBAB III METODE PENELITIAN. Pelaksanaan penelitian ini pada dasarnya meliputi tiga tahapan proses
BAB III METODE PENELITIAN Pelaksanaan penelitian ini pada dasarnya meliputi tiga tahapan proses diawali dengan tahap persiapan, tahap penumbuhan, dan tahap karakterisasi. Pada bab ini dibahas tentang metode
Lebih terperinciBab III Metodologi Penelitian
Bab III Metodologi Penelitian Penelitian ini dilaksanakan di Laboratorium Penelitian Kimia Analitik, Program Studi Kimia FMIPA ITB sejak September 2007 sampai Juni 2008. III.1 Alat dan Bahan Peralatan
Lebih terperinciBAB I PENDAHULUAN. Indonesia merupakan negara berkembang yang berada dikawasan Asia
BAB I PENDAHULUAN A. Latar Belakang Masalah Indonesia merupakan negara berkembang yang berada dikawasan Asia Tenggara. Sebagai negara berkembang, Indonesia melakukan swasembada diberbagai bidang, termasuk
Lebih terperinciBAB I PENDAHULUAN 1.1 LatarBelakang
1 BAB I PENDAHULUAN 1.1 LatarBelakang Proses pembangunan disegala bidang selain membawa kemajuan terhadap kehidupan manusia, tetapi juga akan membawa dampak negative bagi lingkungan hidup. Industrialisasi
Lebih terperinci1. JUDUL PENELITIAN RANCANG BANGUN ALAT SPINCOATING
1. JUDUL PENELITIAN RANCANG BANGUN ALAT SPINCOATING SEDERHANA UNTUK PENUMBUHAN LAPISAN TIPIS SEMIKONDUKTOR (Studi eksplorasi untuk pengembangan laboratorium fisika material ) 1 2. LATAR BELAKANG MASALAH
Lebih terperinciBAB I PENDAHULUAN. disamping memberikan dampak positif yang dapat. dirasakan dalam melakukan aktifitas sehari hari, juga dapat memberikan beberapa
1 BAB I PENDAHULUAN 1.1. Latar Belakang Pada saat ini pembangunan mengalami pertumbuhan yang sangat pesat, seperti pembangunan fisik kota, industri dan transportasi. Pada pertumbuhan pembangunan tersebut
Lebih terperinciPengaruh ketebalan lapisan penyangga pada struktur kristal film GaN yang ditumbuhkan dengan Pulsed Laser Deposition Dadi Rusdiana
Pengaruh ketebalan lapisan penyangga pada struktur kristal film GaN yang ditumbuhkan dengan Pulsed Laser Deposition Dadi Rusdiana Department fisika FPMIPA UPI, Jl. DR.Setia Budi 229 Bandung E-mail: dadi_rusdiana@upi.edu
Lebih terperinciMETODOLOGI PENELITIAN
BAB III METODOLOGI PENELITIAN Penelitian tentang film tipis nanopartikel Au ini menggunakan metode evaporasi yang dilakukan secara eksperimen. Penelitian ini dilakukan untuk mengetahui pengaruh temperatur
Lebih terperinciPENGARUH DAYA PLASMA PADA STRUKTUR MIKRO DAN SIFAT OPTIK FILM TIPIS CdTe YANG DITUMBUHKAN DENGAN DC MAGNETRON SPUTTERING
134 Prosiding Pertemuan Ilmiah XXIV HFI Jateng & DIY, Semarang 10 April 2010 hal. 134-138 PENGARUH DAYA PLASMA PADA STRUKTUR MIKRO DAN SIFAT OPTIK FILM TIPIS CdTe YANG DITUMBUHKAN DENGAN DC MAGNETRON SPUTTERING
Lebih terperinciBab III Metodologi Penelitian
28 Bab III Metodologi Penelitian III.1 Tahap Penelitian Penelitian ini terbagi dalam empat tahapan kerja, yaitu : Tahapan kerja pertama adalah persiapan bahan dasar pembuatan film tipis ZnO yang terdiri
Lebih terperinciHASIL DAN PEMBAHASAN
HASIL DAN PEMBAHASAN BaTiO 3 merupakan senyawa oksida keramik yang dapat disintesis dari senyawaan titanium (IV) dan barium (II). Proses sintesis ini dipengaruhi oleh beberapa faktor seperti suhu, tekanan,
Lebih terperinciIII. METODOLOGI PENELITIAN. Penelitian ini dilaksanakan pada bulan Februari 2013 sampai dengan Juni 2013 di
III. METODOLOGI PENELITIAN A. Waktu dan Tempat Penelitian Penelitian ini dilaksanakan pada bulan Februari 2013 sampai dengan Juni 2013 di Laboratorium Fisika Material FMIPA Unila, Laboratorium Kimia Instrumentasi
Lebih terperinciHASIL DAN PEMBAHASAN. dengan menggunakan kamera yang dihubungkan dengan komputer.
10 dengan menggunakan kamera yang dihubungkan dengan komputer. HASIL DAN PEMBAHASAN Hasil sintesis paduan CoCrMo Pada proses preparasi telah dihasilkan empat sampel serbuk paduan CoCrMo dengan komposisi
Lebih terperinciBAB III METODOLOGI PENELITIAN. Lokasi penelitian dilakukan di Laboratorium Fisika Material, Jurusan
BAB III METODOLOGI PENELITIAN A. Lokasi dan Waktu Penelitian Lokasi penelitian dilakukan di Laboratorium Fisika Material, Jurusan Pendidikan Fisika, Fakultas Matematika dan Ilmu Pengetahuan Alam, Universitas
Lebih terperinciEfek Magnetisasi Spontan dan Karakteristik Transport Listrik Film Tipis TiO 2 :Co yang ditumbuhkan dengan Metode MOCVD
Jurnal Matematika dan Sains Vl. 10 N. 1, Maret 2005, hal 21-25 Abstrak Efek Magnetisasi Spntan dan Karakteristik Transprt Listrik Film Tipis TiO 2 :C yang ditumbuhkan dengan Metde MOCVD Hrasdia Saragih
Lebih terperinciBerkala Fisika ISSN : Vol 4, No. 2, April 2001, hal 40-44
PENGARUH VARIASI TEMPERATUR PENUMBUHAN TERHADAP KARAKTERISTIK SIFAT LISTRIK FILM TIPIS GaN DI ATAS Si (111) DENGAN METODE PA-MOCVD Heri Sutanto Laboratorium Fisika Zat Padat, Jurusan Fisika, FMIPA Universitas
Lebih terperinciBab IV Hasil dan Pembahasan
Bab IV Hasil dan Pembahasan IV.1 Karakterisasi Awal Serbuk ZrSiO 4 dan ZrO 2 Serbuk ZrSiO 4 dan ZrO 2 sebagai bahan utama membran merupakan hasil pengolahan mineral pasir zirkon. Kedua serbuk tersebut
Lebih terperinciBab III Metodologi Penelitian
Bab III Metodologi Penelitian III. 1. Tahap Penelitian Penelitian ini terbagai dalam empat tahapan kerja, yaitu: a. Tahapan kerja pertama adalah persiapan bahan dasar pembuatan LSFO dan LSCFO yang terdiri
Lebih terperinciBAB III METODE PENELITIAN. penelitian ini dilakukan pembuatan keramik Ni-CSZ dengan metode kompaksi
19 BAB III METODE PENELITIAN 3.1 Metode Penelitian Metode yang dilakukan pada penelitian ini adalah eksperimen. Pada penelitian ini dilakukan pembuatan keramik Ni-CSZ dengan metode kompaksi serbuk. 3.2
Lebih terperinci4 Hasil dan Pembahasan
4 Hasil dan Pembahasan 4.1 Sintesis Padatan TiO 2 Amorf Proses sintesis padatan TiO 2 amorf ini dimulai dengan melarutkan titanium isopropoksida (TTIP) ke dalam pelarut etanol. Pelarut etanol yang digunakan
Lebih terperinciEfek Annealing Pada Penumbuhan Film Tipis Ferroelektrik PbZr 0,625 Ti 0,375 O 3 (PZT)
Kontribusi Fisika Indonesia Vol. 12 No.4, Oktober 2001 Efek Annealing Pada Penumbuhan Film Tipis Ferroelektrik PbZr 0,625 Ti 0,375 O 3 (PZT) Ngurah Ayu Ketut Umiati 1,2, Irzaman 1,3, Maman Budiman 1 dan
Lebih terperinciBAB III METODE PENELITIAN. Penelitian ini dilaksanakan pada bulan Juli 2005 sampai Juni 2006, bertempat di
BAB III METODE PENELITIAN 3.1 Tempat dan Waktu Penelitian Penelitian ini dilaksanakan pada bulan Juli 2005 sampai Juni 2006, bertempat di Laboratorium Departemen Fisika, FMIPA, Universitas Indonesia, Depok
Lebih terperinciI. PENDAHULUAN. kimia yang dibantu oleh cahaya dan katalis. Beberapa langkah-langkah fotokatalis
I. PENDAHULUAN A. Latar Belakang Telah berkembang suatu mekanisme fotokatalis yang menerapkan pemanfaatan radiasi ultraviolet dan bahan semikonduktor sebagai fotokatalis, umumnya menggunakan bahan TiO2
Lebih terperinciBAB III METODOLOGI PENELITIAN. Metode penelitian yang digunakan pada penelitian ini adalah
BAB III METODOLOGI PENELITIAN 3.1 Metode penelitian Metode penelitian yang digunakan pada penelitian ini adalah eksperimental dan pembuatan keramik film tebal CuFe 2 O 4 dilakukan dengan metode srcreen
Lebih terperinciBab IV. Hasil dan Pembahasan
Bab IV. Hasil dan Pembahasan Bab ini memaparkan hasil sintesis, karakterisasi konduktivitas listrik dan struktur kirstal dari senyawa perovskit La 1-x Sr x FeO 3-δ (LSFO) dengan x = 0,2 ; 0,4 ; 0,5 ; 0,6
Lebih terperinciBAB I PENDAHULUAN. Pesatnya perkembangan teknologi material semikonduktor keramik,
1 BAB I PENDAHULUAN 1.1. Latar Belakang. Pesatnya perkembangan teknologi material semikonduktor keramik, menghasilkan berbagai penemuan baru khususnya dalam bidang elektronika. Salah satu teknologi yang
Lebih terperinciPREPARASI DAN KARAKTERISASI PADUAN SEMIKONDUKTOR Sn(Se 0,6 Te 0,4 ) DENGAN METODE BRIDGMAN MELALUI VARIASI WAKTU PEMANASAN
Preparasi dan Karakterisasi.(Iin Astarinugrahini) 298 PREPARASI DAN KARAKTERISASI PADUAN SEMIKONDUKTOR Sn(Se 0,6 Te 0,4 ) DENGAN METODE BRIDGMAN MELALUI VARIASI WAKTU PEMANASAN PREPARATION AND CHARACTERIZATION
Lebih terperinciPenumbuhan Lapisan Tipis µc-si:h Tipe-P dengan Metode HW-PECVD untuk Aplikasi Sel Surya
Penumbuhan Lapisan Tipis µc-si:h Tipe-P dengan Metode HW-PECVD untuk Aplikasi Sel Surya Jasruddin, Abdul Haris, dan Helmi Departemen Fisika, Fakultas Matematika dan Ilmu Pengetahuan Alam, Universitas Negeri
Lebih terperinciMEKANISME PENUMBUHAN LAPISAN TIPIS ALLOY TERNARY GaAs 1-x Sb x DARI SUMBER-SUMBER METALORGANIK TMGa, TDMAAs DAN TDMASb PADA REAKTOR MOCVD ABSTRAK
MEKANISME PENUMBUAN LAPISAN TIPIS ALLOY TERNARY As 1-x Sb x DARI SUMBER-SUMBER METALORGANIK TM, TDMAAs DAN TDMASb PADA REAKTOR MOCVD A. Suhandi 1,2), P. Arifin 2), M. Budiman 2), dan M. Barmawi 2) 1) Jurusan
Lebih terperinciGambar 3.1 Diagram alir penelitian
BAB 3 METODE PENELITIAN 3.1 Bahan dan Peralatan Penelitian Bahan-bahan utama yang digunakan dalam penelitian ini antara lain bubuk magnesium oksida dari Merck, bubuk hidromagnesit hasil sintesis penelitian
Lebih terperinciHASIL DAN PEMBAHASAN. didalamnya dilakukan karakterisasi XRD. 20%, 30%, 40%, dan 50%. Kemudian larutan yang dihasilkan diendapkan
6 didalamnya dilakukan karakterisasi XRD. 3.3.3 Sintesis Kalsium Fosfat Sintesis kalsium fosfat dalam penelitian ini menggunakan metode sol gel. Senyawa kalsium fosfat diperoleh dengan mencampurkan serbuk
Lebih terperinciBAB 4 DATA DAN ANALISIS
BAB 4 DATA DAN ANALISIS 4.1. Kondisi Sampel TiO 2 Sampel TiO 2 disintesa dengan memvariasikan jenis pelarut, block copolymer, temperatur kalsinasi, dan kelembaban relatif saat proses aging. Kondisi sintesisnya
Lebih terperinciSintesis Nanopartikel ZnO dengan Metode Kopresipitasi
Sintesis Nanopartikel ZnO dengan Metode Kopresipitasi NURUL ROSYIDAH Jurusan Fisika Fakultas Matematika dan Ilmu Pengetahuan Alam Institut Teknologi Sepuluh Nopember Pendahuluan Kesimpulan Tinjauan Pustaka
Lebih terperinciBAB III METODE PENELITIAN
37 BAB III METODE PENELITIAN Metode yang digunakan dalam pembuatan lapisan film tebal CuFe O 4 yaitu dengan menggunakan screen printing (penyablonan). Teknik screen printing merupakan salah satu metode
Lebih terperinciRINGKASAN HIBAH BERSAING
Bidang Teknologi RINGKASAN HIBAH BERSAING PENUMBUHAN MATERIAL DMS GaN:Mn DAN STRUKTUR GaN/GaN:Mn DI ATAS SUBSTRAT SILIKON DENGAN METODE PA-MOCVD UNTUK APLIKASI DIVAIS MTJ Peneliti: Dr. Budi Mulyanti, MSi
Lebih terperinciPEMBUATAN KONDUKTOR TRANSPARAN THIN FILM SnO2 DENGAN MENGGUNAKAN TEKNIK SPRAY PYROLYSIS
PEMBUATAN KONDUKTOR TRANSPARAN THIN FILM SnO2 DENGAN MENGGUNAKAN TEKNIK SPRAY PYROLYSIS Syuhada, Dwi Bayuwati, Sulaiman Pusat Penelitian Fisika-LIPI, Kawasan Puspiptek Serpong Tangerang 15314 e-mail: hadda212@yahoo.com
Lebih terperinciBab IV Hasil dan Pembahasan
Bab IV Hasil dan Pembahasan IV.1 Serbuk Awal Membran Keramik Material utama dalam penelitian ini adalah serbuk zirkonium silikat (ZrSiO 4 ) yang sudah ditapis dengan ayakan 400 mesh sehingga diharapkan
Lebih terperinciSintesis Komposit TiO 2 /Karbon Aktif Berbasis Bambu Betung (Dendrocalamus asper) dengan Menggunakan Metode Solid State Reaction
Sintesis Komposit TiO 2 /Karbon Aktif Berbasis Bambu Betung (Dendrocalamus asper) dengan Menggunakan Metode Solid State Reaction Yuliani Arsita *, Astuti Jurusan Fisika Universitas Andalas * yulianiarsita@yahoo.co.id
Lebih terperinciPEMBUATAN DAN KARAKTERISASI MEMBRAN KERAMIK ZrSiO 4 -V 2 O 5 TESIS. ERFAN PRIYAMBODO NIM : Program Studi Kimia
PEMBUATAN DAN KARAKTERISASI MEMBRAN KERAMIK ZrSiO 4 -V 2 O 5 TESIS Karya tulis sebagai salah satu syarat untuk memperoleh gelar Magister dari Institut Teknologi Bandung Oleh ERFAN PRIYAMBODO NIM : 20506006
Lebih terperinciBAB III METODOLOGI PENELITIAN
BAB III METODOLOGI PENELITIAN 3.1. Waktu dan Tempat Penelitian ini dilakukan di Laboratorium Fisika Material Departemen Fisika Institut Pertanian Bogor dimulai bulan Mei 2010 sampai Bulan Mei 2011 3.2.
Lebih terperinciSIDANG TUGAS AKHIR. Jurusan Teknik Material & Metalurgi Fakultas Teknologi Industri Institut Teknologi Sepuluh Nopember
SIDANG TUGAS AKHIR Arisela Distyawan NRP 2709100084 Dosen Pembimbing Diah Susanti, S.T., M.T., Ph.D Jurusan Teknik Material & Metalurgi Fakultas Teknologi Industri Institut Teknologi Sepuluh Nopember Sintesa
Lebih terperinciSTRUKTUR DAN KOMPOSISI KIMIA LAPISAN TIPIS Sn(So,4Te0,6) HASIL PREPARASI DENGAN TEKNIK EVAPORASI VAKUM
Struktur dan Komposisi... (Eka Wulandari) 1 STRUKTUR DAN KOMPOSISI KIMIA LAPISAN TIPIS Sn(So,4Te0,6) HASIL PREPARASI DENGAN TEKNIK EVAPORASI VAKUM STRUCTURE AND CHEMICAL COMPOSITION OF Sn(S0,4Te0,6) THIN
Lebih terperinciBAB 1 PENDAHULUAN Latar Belakang
BAB 1 PENDAHULUAN 1.1. Latar Belakang Memasuki abad 21, persediaan minyak dan gas bumi semakin menipis. Sementara kebutuhan akan energi semakin meningkat, terutama dirasakan pada negara industri. Kebuthan
Lebih terperinciPENUMBUHAN LAPISAN TIPIS BARIUM FERRUM TITANAT (BFT) DENGAN METODE SOL GEL
PENUMBUHAN LAPISAN TIPIS BARIUM FERRUM TITANAT (BFT) DENGAN METODE SOL GEL Disusun oleh : TIRA IKHWANI M0209053 SKRIPSI FAKULTAS MATEMATIKA DAN ILMU PENGETAHUAN ALAM UNIVERSITAS SEBELAS MARET SURAKARTA
Lebih terperinciPenumbuhan Lapisan Tipis Material Sensor Giant Magnetoresistance Berstruktur Sandwich dengan Metode Sputtering
Penumbuhan Lapisan Tipis Material Sensor Giant Magnetoresistance Berstruktur Sandwich dengan Metode Sputtering 1,2 Ramli, 1 Mitra Djamal, 1 Freddy Haryanto & 1 Khairurrijal 1 Jurusan Fisika, Institut Teknologi
Lebih terperinciSTUDI TENTANG PENGARUH JARAK (SPACER) TERHADAP KUALITAS KRISTAL LAPISAN TIPIS Sn ) HASIL PREPARASI TEKNIK EVAPORASI VAKUM
Studi tentang Pengaruh...(Wida Afosma)385 STUDI TENTANG PENGARUH JARAK (SPACER) TERHADAP KUALITAS KRISTAL LAPISAN TIPIS Sn ) HASIL PREPARASI TEKNIK EVAPORASI VAKUM STUDY ABOUT THE EFFECT OF SPACER TO CRYSTAL
Lebih terperinciBAB IV HASIL PENELITIAN DAN ANALISIS
BAB IV HASIL PENELITIAN DAN ANALISIS Reaksi kimia yang terjadi selama perubahan dari larutan prekursor menjadi gel memiliki pengaruh yang berarti terhadap struktur dan homogenitas kimia dari gel. Permasalahan
Lebih terperinciPengaruh Temperatur dan Waktu Putar Terhadap Sifat Optik Lapisan Tipis ZnO yang Dibuat dengan Metode Sol-Gel Spin Coating
ISSN 2302-8491 Jurnal Fisika Unand Vol. 6, No. 2, April 2017 Pengaruh Temperatur dan Waktu Putar Terhadap Sifat Optik Lapisan Tipis ZnO yang Dibuat dengan Metode Sol-Gel Spin Coating Fitriani *, Sri Handani
Lebih terperinciPENGARUH KONDISI PENUMBUHAN PADA SIFAT FISIS FILM TIPIS GA 2 O 3 DENGAN DOPING ZNO
PENGARUH KONDISI PENUMBUHAN PADA SIFAT FISIS FILM TIPIS GA 2 O 3 DENGAN DOPING ZNO Sulhadi, Putut Marwoto, dan Sugianto Fakultas Matematika Ilmu Pengetahuan Alam Universitas Negeri Semarang Abstrak. Telah
Lebih terperinciBAB I PENDAHULUAN 1.1 Latar Belakang
BAB I PENDAHULUAN 1.1 Latar Belakang Pengembangan material yang memiliki ketahanan terhadap temperatur tinggi merupakan salah satu topik menarik yang terus dikaji oleh peneliti. Contoh aplikasi penggunaan
Lebih terperinciBab III Metoda Penelitian
28 Bab III Metoda Penelitian III.1 Lokasi Penelitian Sintesis senyawa target dilakukan di Laboratorium Kimia Anorganik dan Laboratorium Kimia Fisik-Material Departemen Kimia, Pengukuran fotoluminesens
Lebih terperinciBAB III METODOLOGI PENELITIAN. perlakuan panas atau annealing pada lapisan sehingga terbentuk butiran-butiran
BAB III METODOLOGI PENELITIAN 3.1 Metode penelitian Metode penelitian yang digunakan pada penelitian ini adalah eksperimen dengan membuat lapisan tipis Au di atas substrat Si wafer, kemudian memberikan
Lebih terperinciBAB IV RANCANGAN PENELITIAN SPRAY DRYING DAN SPRAY PYROLYSIS. Rancangan penelitian ini dibagi menjadi tiga tahapan utama :
BAB IV RANCANGAN PENELITIAN SPRAY DRYING DAN SPRAY PYROLYSIS Rancangan penelitian ini dibagi menjadi tiga tahapan utama : a. Uji kerja pemanas, pada penelitiaan ini akan dilihat kemampuan pemanas dan konsistensi
Lebih terperinciPENUMBUHAN LAPISAN TIPIS SEMIKONDUKTOR GaN DI ATAS SUBSTRAT SILIKON DENGAN METODE SOL-GEL
PENUMBUHAN LAPISAN TIPIS SEMIKONDUKTOR GaN DI ATAS SUBSTRAT SILIKON DENGAN METODE SOL-GEL Heri Sutanto, Iis Nurhasanah, Indras Marhaendrajaya, Ahmad Taufani, Luluk L. Badriyah, dan Wahyu Ambikawati Laboratorium
Lebih terperinciPENGARUH KONDISI ANNEALING TERHADAP PARAMETER KISI KRISTAL BAHAN SUPERKONDUKTOR OPTIMUM DOPED DOPING ELEKTRON Eu 2-x Ce x CuO 4+α-δ
Proseding Seminar Nasional Fisika dan Aplikasinya Sabtu, 21 November 2015 Bale Sawala Kampus Universitas Padjadjaran, Jatinangor PENGARUH KONDISI ANNEALING TERHADAP PARAMETER KISI KRISTAL BAHAN SUPERKONDUKTOR
Lebih terperinciIII. METODOLOGI PENELITIAN. analisis komposisi unsur (EDX) dilakukan di. Laboratorium Pusat Teknologi Bahan Industri Nuklir (PTBIN) Batan Serpong,
III. METODOLOGI PENELITIAN A. Tempat dan Waktu Penelitian Penelitian ini dilakukan di Laboratorium Biomassa, Lembaga Penelitian Universitas Lampung. permukaan (SEM), dan Analisis difraksi sinar-x (XRD),
Lebih terperinciBAB I PENDAHULUAN 1.1. Latar Belakang
1 BAB I PENDAHULUAN 1.1. Latar Belakang Nanopatikel merupakan partikel mikroskopis yang memiliki ukuran dalam skala nanometer yaitu < 100 nm. Nanopartikel menjadi kajian yang sangat menarik, karena ketika
Lebih terperinciBAB III METODE PENELITIAN
29 BAB III METODE PENELITIAN A. Metode Penelitian Pada penelitian ini metode yang digunakan peneliti adalah metode eksperimen. Material yang digunakan berupa pasta TiO 2 produksi Solaronix, bubuk Dyesol
Lebih terperinciPEMBUATAN SENSOR GAS HIDROGEN BERBASIS FILM TIPIS GaN DENGAN TEKNIK SOL GEL SPIN COATING UNTUK KOMPONEN PADA SISTEM PENDETEKSI KEBOCORAN GAS
ISSN: 1693-1246 Januari 2013 http://journal.unnes.ac.id/nju/index.php/jpfi PEMBUATAN SENSOR GAS HIDROGEN BERBASIS FILM TIPIS GaN DENGAN TEKNIK SOL GEL SPIN COATING UNTUK KOMPONEN PADA SISTEM PENDETEKSI
Lebih terperinciKARAKTERISTIK LISTRIK KERAMIK FILM Fe 2 O 3 DENGAN VARIASI KETEBALAN YANG DIBUAT DARI MINERAL LOKAL DI ATMOSFIR UDARA DAN ATMOSFIR ALKOHOL
KARAKTERISTIK LISTRIK KERAMIK FILM Fe 2 O 3 DENGAN VARIASI KETEBALAN YANG DIBUAT DARI MINERAL LOKAL DI ATMOSFIR UDARA DAN ATMOSFIR ALKOHOL Endi Suhendi 1, Hera Novia 1, Dani Gustaman Syarif 2 1) Jurusan
Lebih terperinciPENGARUH FRAKSI MOL Mn/Ga LARUTAN TERHADAP KOMPOSISI DAN MIKRO STRUKTUR LAPISAN TIPIS GaN: Mn YANG DIDEPOSISI METODE SOL-GEL
MT-45 PENGARUH FRAKSI MOL Mn/Ga LARUTAN TERHADAP KOMPOSISI DAN MIKRO STRUKTUR LAPISAN TIPIS GaN: Mn YANG DIDEPOSISI METODE SOL-GEL Heri Sutanto 1), Iis Nurhasanah 1), Istadi 2) 1) Jurusan Fisika, FSM Universitas
Lebih terperinciPROGRAM STUDI FISIKA JURUSAN PENDIDIKAN FISIKA
PENGARUH PERBEDAAN TEMPERATUR KRISTALISASI TERHADAP KARAKTERISTIK BAHAN SEMIKONDUKTOR Pb(Se 0,8 Te 0,2 ) HASIL PREPARASI DENGAN METODE BRIDGMAN SKRIPSI Diajukan kepada Fakultas Matematika dan Ilmu Pengetahuan
Lebih terperinciSTRUKTUR KRISTAL DAN MORFOLOGI TITANIUM DIOKSIDA (TiO 2 ) POWDER SEBAGAI MATERIAL FOTOKATALIS
STRUKTUR KRISTAL DAN MORFOLOGI TITANIUM DIOKSIDA (TiO 2 ) POWDER SEBAGAI MATERIAL FOTOKATALIS SKRIPSI Oleh : Ahsanal Holikin NIM 041810201063 JURUSAN FISIKA FAKULTAS MATEMATIKA DAN ILMU PENGETAHUAN ALAM
Lebih terperinciPengaruh Rapat Arus dan Asam Borat terhadap Kualitas dan Morfologi Hasil Elektrodeposisi Kobal pada Substrat Tembaga
Pengaruh Rapat Arus dan Asam Borat terhadap Kualitas dan Morfologi Hasil Elektrodeposisi Kobal pada Substrat Tembaga Siti Elin Huriyati, Abdul Haris, Didik Setiyo Widodo Laboratorium Kimia Analitik, Jurusan
Lebih terperinciBAB III METODOLOGI PENELITIAN
BAB III METODOLOGI PENELITIAN A. Metode Penelitian Metode penelitian yang dilakukan adalah metode eksperimen secara kualitatif dan kuantitatif. Metode penelitian ini menjelaskan proses degradasi fotokatalis
Lebih terperinciPENGARUH SUHU SUBSTRAT TERHADAP KUALITAS KRISTAL LAPISAN TIPIS Sn(Se 0,4 Te 0,6 ) HASIL PREPARASI DENGAN TEKNIK EVAPORASI VAKUM
Pengaruh Suhu Substrat...(Vina Hentri Tunita N.)288 PENGARUH SUHU SUBSTRAT TERHADAP KUALITAS KRISTAL LAPISAN TIPIS Sn(Se 0,4 Te 0,6 ) HASIL PREPARASI DENGAN TEKNIK EVAPORASI VAKUM THE EFFECT OF SUBSTRATE
Lebih terperinciSIFAT OPTIK STRUKTUR KRISTAL DAN STRUKTUR MIKRO LAPISAN TIPIS ZnO:Al PADA SUBSTRAT KACA SEBAGAI BAHAN TCO
Wirjoadi, dkk. ISSN 0216-3128 369 SIFAT OPTIK STRUKTUR KRISTAL DAN STRUKTUR MIKRO LAPISAN TIPIS ZnO:Al PADA SUBSTRAT KACA SEBAGAI BAHAN TCO Wirjoadi, Bambang Siswanto Pusat Teknologi Akselerator dan Proses
Lebih terperinciOleh Budi Mulyanti NIM : Tim Pembimbing Dr. Sukirno Prof. Dr. M. Barmawi Dr. Pepen Arifin Dr. Maman Budiman
PENUMBUHAN FILM TIPIS SEMIKONDUKTOR FERROMAGNETIK GaN:Mn MENGGUNAKAN METODE PLASMA ASSISTED METALORGANIC CHEMICAL VAPOR DEPOSITION (PA- MOCVD) DAN KARAKTERISASINYA Oleh Budi Mulyanti NIM : 30201015 Tim
Lebih terperinciBAB I PENDAHULUAN Latar Belakang
BAB I PENDAHULUAN 1.1. Latar Belakang Ketersediaan sumber energi merupakan masalah yang harus segera diselesaikan oleh masing-masing negara termasuk Indonesia. Untuk itu perlu dikembangkan suatu teknologi
Lebih terperinci1 BAB I PENDAHULUAN. Salah satu industri yang cukup berkembang di Indonesia saat ini adalah
1 BAB I PENDAHULUAN 1.1 Latar Belakang Salah satu industri yang cukup berkembang di Indonesia saat ini adalah industri baja. Peningkatan jumlah industri di bidang ini berkaitan dengan tingginya kebutuhan
Lebih terperinciARTIKEL ILMIAH HIBAH BERSAING
ARTIKEL ILMIAH HIBAH BERSAING Bidang Teknologi PENUMBUHAN MATERIAL DMS GaN:Mn DAN STRUKTUR GaN/GaN:Mn DI ATAS SUBSTRAT SILIKON DENGAN METODE PA-MOCVD UNTUK APLIKASI DIVAIS MTJ Peneliti: Dr. Budi Mulyanti,
Lebih terperinciBAB I PENDAHULUAN. Telah disadari bahwa kemajuan ilmu pengetahuan dan teknologi harus
1 BAB I PENDAHULUAN 1.1 Latar Belakang Masalah Telah disadari bahwa kemajuan ilmu pengetahuan dan teknologi harus dibayar oleh umat manusia berupa pencemaran udara. Dewasa ini masalah lingkungan kerap
Lebih terperinciKARAKTERISASI MIKROSTRUKTUR FEROELEKTRIK MATERIAL SrTiO 3 DENGAN MENGGUNAKAN SCANNING ELECTRON MICROSCOPY (SEM)
KARAKTERISASI MIKROSTRUKTUR FEROELEKTRIK MATERIAL SrTiO 3 DENGAN MENGGUNAKAN SCANNING ELECTRON MICROSCOPY (SEM) Kaspul Anuwar 1, Rahmi Dewi 2, Krisman 2 1 Mahasiswa Program S1 Fisika FMIPA-Universitas
Lebih terperinciDistribusi Celah Pita Energi Titania Kotor
Jurnal Nanosains & Nanoteknologi ISSN 1979-0880 Edisi Khusus, Agustus 009 Distribusi Celah Pita Energi Titania Kotor Indah Nurmawarti, Mikrajuddin Abdullah (a), dan Khairurrijal Kelompok Keahlian Fisika
Lebih terperinciMikrostruktur Semikonduktor GaN di Atas Substrat Silikon Dengan Metode Sol-Gel
Berkala Fisika ISSN : 1410-9662 Vol 13, No. 2, April 2010 hal 55-60 Mikrostruktur Semikonduktor GaN di Atas Substrat Silikon Dengan Metode Sol-Gel Heri Sutanto 1), Iis Nurhasanah 1), Istadi 2), Maryanto
Lebih terperinciBAB I PENDAHULUAN 1.1. Latar Belakang
BAB I PENDAHULUAN 1.1. Latar Belakang Perkembangan nanoteknologi terus dilakukan oleh para peneliti dari dunia akademik maupun dari dunia industri. Para peneliti seolah berlomba untuk mewujudkan karya
Lebih terperinciPENGARUH VARIASI MILLING TIME dan TEMPERATUR KALSINASI pada MEKANISME DOPING 5%wt AL NANOMATERIAL TiO 2 HASIL PROSES MECHANICAL MILLING
PENGARUH VARIASI MILLING TIME dan TEMPERATUR KALSINASI pada MEKANISME DOPING 5%wt AL NANOMATERIAL TiO 2 HASIL PROSES MECHANICAL MILLING I Dewa Gede Panca Suwirta 2710100004 Dosen Pembimbing Hariyati Purwaningsih,
Lebih terperinciBAB III METODOLOGI PENELITIAN. Metode yang digunakan dalam penelitian ini adalah metoda eksperimen.
BAB III METODOLOGI PENELITIAN A. Metode Penelitian Metode yang digunakan dalam penelitian ini adalah metoda eksperimen. Penelitian dilakukan dengan beberapa tahapan yang digambarkan dalam diagram alir
Lebih terperinci