STRAIN FILM TIPIS GaN DITUMBUHKAN DI ATAS SUBSTRAT SAPPHIRE DENGAN METODE PA-MOCVD
|
|
- Hartono Hermawan
- 7 tahun lalu
- Tontonan:
Transkripsi
1 PROSIDING SEMINAR NASIONAL REKAYASA KIMIA DAN PROSES 004 ISSN : STRAIN FILM TIPIS GaN DITUMBUHKAN DI ATAS SUBSTRAT SAPPHIRE DENGAN METODE PA-MOCVD 1,) 1) 1) 1) Sugianto, M. Budiman, P. Arifin, dan M. Barmawi 1) Laboratorium Fisika Material Elektronik, Departemen Fisika-FMIPA, ITB ) Jurusan Fisika FMIPA, Universitas Negeri Semarang Kampus Sekaran-Gunungpati, Semarang gianto@dosen.fisika.net Abstrak Pada studi ini telah dikembangkan sistem PA-MOCVD (plasma-assisted metalorganic chemical vapor deposition) untuk penumbuhan film tipis gallium nitride (GaN). Strain yang terjadi karena ketidak-sesuaian konstanta kisi antara film GaN dan substrat sapphire telah direduksi dengan memberikan lapisan penyangga (buffer layer) GaN yang ditumbuhkan pada temperatur relatif lebih rendah antara film GaN dan sapphire. Ketebalan lapisan penyangga divariasikan antara 0 40 nm. Struktur kristal dan konstanta kisi film GaN ditentukan melalui pengukuran difraksi sinar-x. Pada saat film ditumbuhkan tanpa lapisan penyangga menunjukkan struktur polikristal fase heksagonal, sedangkan film tumbuh dengan orientasi tunggal arah (0001) tegak lurus bidang substrat saat diberikan lapisan penyangga dengan ketebalan 6 nm. Film GaN yang ditumbuhkan tanpa/dengan lapisan penyangga hingga ketebalan 6 nm menunjukkan sifat tensile strain, sedangkan saat ketebalan 40 nm menunjukkan sifat compressive strain dan mengalami relaksasi ketika ketebalan lapisan penyangga ~30 nm. Film GaN yang ditumbuhkan dengan ketebalan lapisan penyangga 6 nm menunjukkan adanya strain dan FWHM yang terendah. Kata kunci : buffer layer, GaN, PA-MOCVD, relaksasi, strain Pendahuluan Gallium nitride (GaN) dan paduannya (Al x Ga 1-x N; In x Ga 1-x N) merupakan material semikonduktor dengan celah pita energi lebar yang telah diaplikasikan untuk pembuatan light emitting diode (LED) dan laser diode (LD) warna hijau-biru dengan brightness tinggi dibandingkan dengan material sebelumnya (Nakamura dkk, 1995; Kuramata dkk, 1997). Akhir-akhir ini sedang dikembangkan LED warna putih dari material berbasis GaN yang diharapkan dapat digunakan sebagai pengganti lampu penerangan dengan konsumsi daya yang rendah. GaN dan paduannya juga telah diaplikasikan untuk pembuatan high electron mobility transistor (HEMT) pada devais pembangkit gelombang pendek dengan daya tinggi (Arulkumaran dkk, 001). Penumbuhan film tipis GaN secara homo-epitaksi masih sulit dilakukan karena belum tersedianya kristal tunggal GaN dalam ukuran besar yang digunakan sebagai substrat. Oleh karenanya, kristal tunggal GaN pada umumnya ditumbuhkan secara hetero-epitaksi pada sejumlah substrat yang mempunyai konstanta kisi dan koefesien muai panas yang sesuai atau mendekati. Substrat sapphire sering digunakan untuk penumbuhan beberapa material semikonduktor termasuk GaN, karena harganya relatif tidak mahal, tersedia kristal tunggal dalam ukuran besar dengan kualitas baik, bersifat transparan dan stabil pada temperatur tinggi. Ketidak-sesuaian kisi antara bidang basal GaN dan bidang basal sapphire besarnya sekitar 16 % sehingga dapat menimbulkan strain yang cukup besar antara film GaN dan sapphire. Adanya strain tersebut mempengaruhi kualitas kristal film GaN untuk aplikasi devais. Permasalahan ketidak-sesuaian konstanta kisi antara GaN dan substrat telah diatasi menggunakan metode dua langkah yaitu dengan menumbuhkan lapisan penyangga (buffer layer) pada temperatur rendah sebelum lapisan utama (main layer) ditumbuhkan pada temperatur lebih tinggi. Mekanisme lapisan penyangga pada penumbuhan GaN dengan MOCVD telah dipelajari oleh Akasai dkk (1989) untuk lapisan penyangga AlN dan oleh Nakamura dkk (1991) untuk lapisan penyangga GaN dengan menggunakan pengukuran transmisi inframerah secara in-situ. MOCVD merupakan salah satu metode penumbuhan film tipis secara epitaksi yang telah menjadi standar industri untuk produksi devais elektronik/optoelektonik. Penumbuhan film GaN dengan MOCVD konvensional biasanya dilakukan pada temperatur ~1050 o C karena dekomposisi NH 3 terjadi pada temperatur G-11-1
2 tinggi. Pada studi ini film GaN ditumbuhkan dengan metode PA-MOCVD dimana nitrogen reaktif dihasilkan oleh gas nitrogen yang dilewatkan pada cracking cell sehingga temperatur penumbuhan dapat direduksi menjadi sekitar o C. Kondisi ini sangat menguntungkan saat penumbuhan film multilayer untuk fabrikasi devais. Eksperimen Film tipis GaN ditumbuhkan di atas substrat sapphire (0001) dengan metode PA-MOCVD. Skema sistem reaktor PA-MOCVD diperlihatkan pada gambar 1. Cracking cell berupa tabung resonator tipe downstream (ASTeX) yang dihubungkan dengan pembangkit gelombang mikro,45 GHz dengan daya maksimum 50 watt digunakan untuk menghasilkan nitrogen reaktif dari gas N. Daya yang digunakan dalam studi ini ditentukan 00 watt pada tekanan reaktor 0,5 Torr. Laju alir gas nitrogen ditentukan 90 sccm. Sebagai prekursor golongan III digunakan trimethyl-gallium (TMGa) dan hidrogen digunakan sebagai gas pembawa yang sebelumnya dilewatkan pada purifier sel palladium. Subtrat dicuci secara ultrasonik dengan aceton, metanol dan di-etsa dengan larutan H 3 PO 4 :H SO 4 =1:3 pada temperatur 70 o C selama 10 menit. Kemudian dibilas dengan air-di dan dikeringkan dengan gas nitrogen. Substrat segera dimasukkan dalam reaktor dan dilakukan thermal cleaning dengan plasma hidrogen pada temperatur 650 o C selama 10 menit. Proses penumbuhan diawali dengan penumbuhan lapisan penyangga GaN pada temperatur 470 o C dengan mengalirkan trimethyl-gallium (TMGa) 0,08 sccm dan gas N = 90 sccm selama waktu tertentu. Hal ini dilakukan agar diperoleh ketebalan lapisan penyangga antara 0-40 nm (sebelumnya telah dilakukan studi penumbuhan lapisan penyangga dengan kondisi penumbuhan yang sama, laju penumbuhannya ~3 nm/menit). Ketebalan lapisan penyangga diukur dengan menggunakan stylusprofilometer DEKTAK IIA. Setelah penumbuhan lapisan penyangga, temperatur substrat dinaikkan sampai temperatur penumbuhan yang ditentukan (640 o C). Penumbuhan film GaN secara rinci telah dijelaskan pada publikasi sebelumnya (Sugianto dkk, 000). Film GaN yang dihasilkan dikarakterisasi dengan menggunakan difraksi sinar-x untuk analisis struktur kristal dan besarnya konstanta kisi film GaN untuk menentukan besarnya strain film GaN dengan sapphire. Purifier MFC Resonator Exhaust H N TMGa TMAl TMIn CpMg dopan-p MW Power supply CDO Vacuum Pump Gambar 1 : Skema sistem reaktor PA-MOCVD Hasil dan Pembahasan Dari hasil uji analisis dengan difraksi sinar-x menunjukkan bahwa film GaN yang ditumbuhkan dengan/tanpa lapisan penyangga mempunyai struktur kristal heksagonal. Film GaN yang ditumbuhkan tanpa lapisan penyangga terkomposisi atas kristal dengan orientasi acak atau polikristal dengan arah (000), ( ) dan ( 110) seperti ditunjukkan pada gambar. Pada saat film GaN ditumbuhkan dengan lapisan penyangga pada ketebalan 13 nm, puncak ( 110) tidak tampak dan saat ketebalan lapisan penyangga 6 nm film GaN mempunyai struktur kristal dengan orientasi tunggal (000). Akan tetapi pada saat ketebalan lapisan penyangga ditambah hingga 40 nm film GaN kembali menunjukkan struktur polikristal. Kenyataan ini mengindikasikan bahwa ketebalan lapisan penyangga merupakan parameter kritis yang sangat G-11-
3 menentukan orientasi arah penumbuhan kristal film GaN di atas sapphire(0001). Ketidak-sesuain konstanta kisi antara GaN-sapphire yang tinggi dan disimilaritas kimia antara GaN dan sapphire menyebabkan film GaN yang tumbuh secara langsung di atas sapphire menghasilkan nukliasi berupa pulau-pulau terpisah dengan orientasi yang acak. Ketika film ditumbuhkan dengan lapisan penyangga pada ketebalan sekitar 6 nm, lapisan penyangga memberikan kontribusi pada penumbuhan GaN secara merata yang pada akhirnya menutupi seluruh permukaaan substrat. Pada temperatur rendah supersaturasi prekursor metal organik (TMGa) cukup tinggi sehingga memberikan peningkatan chemical driving force untuk pembentukan GaN dan kemudian menghasilkan laju nukliasi yang tinggi. Selanjutnya berkurangnya mobilitas di daerah permukaan pada temperatur rendah mempermudah dispersi nukliasi merata yang dapat menutupi permukaan substrat dengan efektif. Sedangkan pada saat ketebalan lapisan penyangga yang terlalu tebal dapat menghasilkan orientasi film yang acak diduga berkaitan dengan sifat amorf dari lapisan penyangga yang ditumbuhkan pada temperatur relatif rendah. (1010) (000) (1011 Sapphire (110) lap. penyangga (40 nm) Intensitas (a.u) Dengan lap. penyangga (6 nm) Dengan lap. penyangga (13 nm) Tanpa lap.penyangga theta (deg.) Gambar : Spektrum XRD dari film GaN yang ditumbuhkan di atas sapphire (0001) tanpa lapisan penyangga dan dengan lapisan penyangga GaN pada ketebalan; 13, 6 dan 40 nm 0.5 FWHM dari GaN(000) (deg.) Ketebalan lap. penyangga (nm) Gambar 3 : FWHM dari puncak GaN(000) bergantung pada ketebalan lapisan penyangga GaN G-11-3
4 Besarnya FWHM (full width at half maximum) puncak (000) film GaN terhadap pengaruh ketebalan lapisan penyangga diperlihatkan pada gambar 3. Tampak bahwa pada umumnya film GaN yang ditumbuhkan dengan lapisan penyangga mempunyai nilai FWHM lebih rendah dari film yang ditumbuhkan tanpa lapisan penyangga. Kenyataan ini menunjukkan bahwa kualitas kristal dari film yang ditumbuhkan dengan lapisan penyangga lebih baik dari film yang ditumbuhkan tanpa lapisan penyangga. Film yang o ditumbuhkan dengan ketebalan 6 nm mempunyai kualitas kristal paling baik dengan FWHM terendah 0,5 pada ketebalan film sekitar 0,5 µm. Dari data hasil uji analisis XRD menunjukkan bahwa FWHM dari o puncak (000) film GaN lebih kecil 0,5 artinya film yang ditumbuhkan dengan PA-MOCVD pada studi ini mempunyai kualitas kristal yang baik (Wickenden dkk, 1994). Dari data hasil uji analisis dengan difraksi sinar-x telah diketahui bahwa semua film GaN pada studi ini mempunyai struktur kristal heksagonal (wurtzite) sehingga selanjutnya dapat ditentukan besarnya konstanta kisi kristal GaN dengan persamaan : + l = (1) c 1 4 h + hk k + 3 d hkl c dimana d hkl adalah jarak antar atom, a dan c adalah konstanta kisi pada bidang heksagonal GaN dan h,k,l masing-masing adalah bilangan indeks miller. Pada gambar 4 diperlihatkan hubungan antara ketebalan lapisan penyangga dan besarnya residual strain dalam film GaN pada ketebalan 0,5 µm. Terjadinya strain ini karena adanya ketidak-sesuaian kisi antara film GaN dengan substrat sapphire. Strain ditentukan dari perubahan konstanta kisi hasil pengukuran XRD pada puncak GaN(000) yang besarnya adalah ( c/c o ), dimana c o adalah konstanta kisi GaN dalam kondisi relaksasi (c o = 5,1855 Å) (Perry dkk, 1997). Film GaN yang ditumbuhkan tanpa lapisan penyangga maupun dengan lapisan penyangga pada ketebalan hingga 6 nm menunjukkan sifat tensile strain, sedangkan saat ketebalan 40 nm menunjukkan compressive strain (bertanda negatip). Tampak dengan jelas pada gambar 4 bahwa besarnya strain ini berkurang dengan bertambahnya ketebalan lapisan penyangga, dan tampak adanya kecenderungan dimana konstanta kisi mengalami relaksasi penuh pada ketebalan lapisan penyangga sekitar 30 nm. Film GaN yang ditumbuhkan dengan ketebalan lapisan penyangga 6 nm menunjukkan adanya strain yang paling rendah, hal ini bersesuaian dengan besarnya FWHM yang terendah pula. Sehingga dapat dikatakan bahwa film dengan ketebalan lapisan penyangga 6 nm tersebut mempunyai kualitas kristal terbaik pada studi ini. 6 4 Strain (x10-3 ) 0 Tensile Compressive Ketebalan lap. penyangga (nm) Gambar 4.: Kebergantungan besarnya residual strain dalam film GaN yang ditumbuhkan dengan ketebalan lapisan penyangga; 0, 13, 6 dan 40 nm. G-11-4
5 Kesimpulan Penggunaan lapisan penyangga GaN yang ditumbuhkan pada temeperatur relatif rendah dengan ketebalan sekitar 6 nm telah memberikan kontribusi pada penumbuhan GaN secara merata di atas permukaaan substrat sehingga film tumbuh dengan orientasi tunggal arah (000) sejajar bidang substrat sapphire. Ketebalan lapisan penyangga merupakan parameter kritis yang sangat menentukan kualitas dan orientasi penumbuhan kristal film GaN. Residual strain antara film GaN-sapphire telah direduksi dengan menggunakan lapisan penyangga GaN dan berelaksasi penuh pada ketebalan lapisan penyangga sekitar 30 nm. Daftar Pustaka. Akasaki, I., Amano, H., Koide, Y., Hiramtsu, K, and Sawaki, N. (1989) Effect of AlN buffer layer on crystallographic structure and on electrical and optical properties of GaN and Ga 1-x Al x N (0 < x 0.4) films grown on sapphire substrate by MOVPE, J. Cryst. Growth. 98, 09. Arulkumaran, S., Egawa, T., Ishikawa, H., and Jimbo, T. (001) High tranconductance AlGaN/GaN high electron mobility transistors on semi-insulating silicon carbide susbtrate, Jpn. J. Appl. Phys. 40, L1081. Kuramata, A., domen, K, Soejima, R., Horino, K., Kubota, S., and Tanahashi, T. (1997) InGaN Laser diode grown on 6H-SiC substrate using low-pressure metalorganic vapor phase epitaxy, Jpn. J. Appl. Phys. Lett. 36, L1130. Nakamura, S. (1991) In situ monitoring of GaN grown using interference effects, Jpn. J. Appl. Phys. 30, 160. Nakamura, S., Senoh, M., Iwasa, N., Nagahama, S. (1995) High power InGaN single quantum-well structure blue and violet light-emitting diodes, Appl. Phys. Lett. 67, Perry, W.G., Zheleva, T., Bremser, M.D., Davis, R.F., Shan, W., and Song, J.J., (1997) Correlation of biaxial strain, bound exciton energies and defect microstructures in GaN film grown on AlN/6H-SiC (0001) substrates, J. Electron. Mater. 6, 4. Sugianto, Sani, R.A., Budiman, M., Arifin, P. and Barmawi, M. (000) GaN thin film grown on hydrogen plasma cleaned sapphire substrates by plasma-assisted MOCVD. Proc.of International workshop on nitride semiconductor (IWN-000), Nagoya-Japan, September 4-7, IPAP Conf. Series-1, 51. Sugianto, R.A. Sani, P. Arifin, M. Budiman, M. Barmawi (000), Growth of GaN film on a-plane sapphire substrate by plasma assisted MOCVD, J. Crys. Growth, vol. 1, p Wickenden, A.E., Wickenden, D.K., and Kistemnacher, T.J., (1994) The effect of thermal annealing on GaN nucleation layers deposited on (0001) sapphire by metalorganic chemical vapour deposition, J. Appl. Phys. 75, G-11-5
BAB III EKSPERIMEN & KARAKTERISASI
BAB III EKSPERIMEN & KARAKTERISASI Pada bab ini dibahas penumbuhan AlGaN tanpa doping menggunakan reaktor PA- MOCVD. Lapisan AlGaN ditumbuhkan dengan variasi laju alir gas reaktan, hasil penumbuhan dikarakterisasi
Lebih terperinciBAB I PENDAHULUAN. Pada saat ini dunia elektronika mengalami kemajuan yang sangat pesat, hal ini
BAB I PENDAHULUAN 1.1 Latar Belakang Pada saat ini dunia elektronika mengalami kemajuan yang sangat pesat, hal ini terlihat dari banyaknya komponen semikonduktor yang digunakan disetiap kegiatan manusia.
Lebih terperinciPENGARUH KETEBALAN LAPISAN PENYANGGA TERHADAP KUALITAS FILM TIPIS GaN
J. Sains Tek., Desember 2006, Vol. 12, No. 3, Hal.: 149-153 ISSN 0853-733X PENGARUH KETEBALAN LAPISAN PENYANGGA TERHADAP KUALITAS FILM TIPIS GaN Erzam S. Hasan 1, A. Subagio 2, Sugianto 3, M. Budiman 4,
Lebih terperinciStruktur kristal dan Morfologi film tipis GaN yang ditumbuhkan dengan metoda Hot-Wire Pulsed Laser Deposition
Struktur kristal dan Morfologi film tipis GaN yang ditumbuhkan dengan metoda Hot-Wire Pulsed Laser Deposition Dadi Rusdiana Departemen Fisika, FPMIPA UPI, Jl. Dr.Setiabudi 229 Bandung, Indonesia 40154
Lebih terperinciPengaruh ketebalan lapisan penyangga pada struktur kristal film GaN yang ditumbuhkan dengan Pulsed Laser Deposition Dadi Rusdiana
Pengaruh ketebalan lapisan penyangga pada struktur kristal film GaN yang ditumbuhkan dengan Pulsed Laser Deposition Dadi Rusdiana Department fisika FPMIPA UPI, Jl. DR.Setia Budi 229 Bandung E-mail: dadi_rusdiana@upi.edu
Lebih terperinciBerkala Fisika ISSN : Vol 4, No. 2, April 2001, hal 40-44
PENGARUH VARIASI TEMPERATUR PENUMBUHAN TERHADAP KARAKTERISTIK SIFAT LISTRIK FILM TIPIS GaN DI ATAS Si (111) DENGAN METODE PA-MOCVD Heri Sutanto Laboratorium Fisika Zat Padat, Jurusan Fisika, FMIPA Universitas
Lebih terperinciBAB I PENDAHULUAN. Perkembangan ilmu pengetahuan dan teknologi sangat mempengaruhi peradaban
BAB I PENDAHULUAN A. Latar Belakang Perkembangan ilmu pengetahuan dan teknologi sangat mempengaruhi peradaban manusia di abad ini. Sehingga diperlukan suatu kemampuan menguasai teknologi tinggi agar bisa
Lebih terperinciDiterima April 2005, disetujui untuk dipublikasi Nopember 2005
Karakteristik Struktur dan Listrik Film Tipis GaN yang Ditumbuhkan di atas Substrat Si(111) dengan Metode Plasma Assisted-Metalorganic Chemical Vapor Deposition (PA-MOCVD) Heri Sutanto 1,), Agus Subagio
Lebih terperinciPENUMBUHAN FILM TIPIS SEMIKONDUKTOR
PENUMBUHAN FILM TIPIS SEMIKONDUKTOR Penumbuhan film tipis semikonduktor di atas substrat dapat dilakukan secara epitaksi. Dalam bahasa yunani epi berarti di atas dan taksial berarti menyusun dengan kata
Lebih terperinciBAB I PENDAHULUAN. Sel surya merupakan alat yang dapat mengkonversi energi matahari menjadi
BAB I PENDAHULUAN 1.1. Latar Belakang Sel surya merupakan alat yang dapat mengkonversi energi matahari menjadi energi listrik DC secara langsung. Sel surya telah diaplikasikan dalam berbagai bidang, salah
Lebih terperinciBAB I PENDAHULUAN. Indonesia merupakan negara berkembang yang berada dikawasan Asia
BAB I PENDAHULUAN A. Latar Belakang Masalah Indonesia merupakan negara berkembang yang berada dikawasan Asia Tenggara. Sebagai negara berkembang, Indonesia melakukan swasembada diberbagai bidang, termasuk
Lebih terperinciPenumbuhan Lapisan Tipis µc-si:h Tipe-P dengan Metode HW-PECVD untuk Aplikasi Sel Surya
Penumbuhan Lapisan Tipis µc-si:h Tipe-P dengan Metode HW-PECVD untuk Aplikasi Sel Surya Jasruddin, Abdul Haris, dan Helmi Departemen Fisika, Fakultas Matematika dan Ilmu Pengetahuan Alam, Universitas Negeri
Lebih terperinciOleh Budi Mulyanti NIM : Tim Pembimbing Dr. Sukirno Prof. Dr. M. Barmawi Dr. Pepen Arifin Dr. Maman Budiman
PENUMBUHAN FILM TIPIS SEMIKONDUKTOR FERROMAGNETIK GaN:Mn MENGGUNAKAN METODE PLASMA ASSISTED METALORGANIC CHEMICAL VAPOR DEPOSITION (PA- MOCVD) DAN KARAKTERISASINYA Oleh Budi Mulyanti NIM : 30201015 Tim
Lebih terperinci2 SINTESIS DAN KARAKTERISASI NANOSTRUKTUR ZnO
2 SINTESIS DAN KARAKTERISASI NANOSTRUKTUR ZnO 3 Pendahuluan ZnO merupakan bahan semikonduktor tipe-n yang memiliki lebar pita energi 3,37 ev pada suhu ruang dan 3,34 ev pada temperatur rendah dengan nilai
Lebih terperinciSINTESIS LAPISAN TIPIS SEMIKONDUKTOR DENGAN BAHAN DASAR TEMBAGA (Cu) MENGGUNAKAN CHEMICAL BATH DEPOSITION
SINTESIS LAPISAN TIPIS SEMIKONDUKTOR DENGAN BAHAN DASAR TEMBAGA (Cu) MENGGUNAKAN CHEMICAL BATH DEPOSITION Yolanda Oktaviani, Astuti Jurusan Fisika FMIPA Universitas Andalas e-mail: vianyolanda@yahoo.co.id
Lebih terperinciBAB I PENDAHULUAN. Perkembangan teknologi yang semakin maju dalam beberapa dekade ini
BAB I PENDAHULUAN 1.1 Latar Belakang Perkembangan teknologi yang semakin maju dalam beberapa dekade ini mengalami peralihan dari teknologi mikro (microtechnology) ke generasi yang lebih kecil yang dikenal
Lebih terperinciPEMBUATAN SENSOR GAS HIDROGEN BERBASIS FILM TIPIS GaN DENGAN TEKNIK SOL GEL SPIN COATING UNTUK KOMPONEN PADA SISTEM PENDETEKSI KEBOCORAN GAS
ISSN: 1693-1246 Januari 2013 http://journal.unnes.ac.id/nju/index.php/jpfi PEMBUATAN SENSOR GAS HIDROGEN BERBASIS FILM TIPIS GaN DENGAN TEKNIK SOL GEL SPIN COATING UNTUK KOMPONEN PADA SISTEM PENDETEKSI
Lebih terperinciBAB I PENDAHULUAN. Spektrum elektromagnetik yang mampu dideteksi oleh mata manusia
1 BAB I PENDAHULUAN 1.1. Latar belakang Spektrum elektromagnetik yang mampu dideteksi oleh mata manusia berada dalam rentang spektrum cahaya tampak yang memiliki panjang gelombang dari 400 900 nm. Sedangkan
Lebih terperinciBAB III METODE PENELITIAN. Metode penelitian yang dilakukan adalah metode eksperimen yang dilakukan di
BAB III METODE PENELITIAN Metode penelitian yang dilakukan adalah metode eksperimen yang dilakukan di lab. Fisika Material, Jurusan Pendidikan Fisika, Fakultas Matematika dan Ilmu Pengetahuan Alam, Universitas
Lebih terperinciMikrostruktur Semikonduktor GaN di Atas Substrat Silikon Dengan Metode Sol-Gel
Berkala Fisika ISSN : 1410-9662 Vol 13, No. 2, April 2010 hal 55-60 Mikrostruktur Semikonduktor GaN di Atas Substrat Silikon Dengan Metode Sol-Gel Heri Sutanto 1), Iis Nurhasanah 1), Istadi 2), Maryanto
Lebih terperinciPengaruh Temperatur dan Waktu Putar Terhadap Sifat Optik Lapisan Tipis ZnO yang Dibuat dengan Metode Sol-Gel Spin Coating
ISSN 2302-8491 Jurnal Fisika Unand Vol. 6, No. 2, April 2017 Pengaruh Temperatur dan Waktu Putar Terhadap Sifat Optik Lapisan Tipis ZnO yang Dibuat dengan Metode Sol-Gel Spin Coating Fitriani *, Sri Handani
Lebih terperinciPENGARUH DAYA PLASMA PADA STRUKTUR MIKRO DAN SIFAT OPTIK FILM TIPIS CdTe YANG DITUMBUHKAN DENGAN DC MAGNETRON SPUTTERING
134 Prosiding Pertemuan Ilmiah XXIV HFI Jateng & DIY, Semarang 10 April 2010 hal. 134-138 PENGARUH DAYA PLASMA PADA STRUKTUR MIKRO DAN SIFAT OPTIK FILM TIPIS CdTe YANG DITUMBUHKAN DENGAN DC MAGNETRON SPUTTERING
Lebih terperinciBAB I PENDAHULUAN 1.1. Latar Belakang
1 BAB I PENDAHULUAN 1.1. Latar Belakang Nanopatikel merupakan partikel mikroskopis yang memiliki ukuran dalam skala nanometer yaitu < 100 nm. Nanopartikel menjadi kajian yang sangat menarik, karena ketika
Lebih terperinciBAB I PENDAHULUAN Latar Belakang
BAB I PENDAHULUAN 1.1. Latar Belakang Ketersediaan sumber energi merupakan masalah yang harus segera diselesaikan oleh masing-masing negara termasuk Indonesia. Untuk itu perlu dikembangkan suatu teknologi
Lebih terperinciPENUMBUHAN LAPISAN TIPIS SEMIKONDUKTOR GaN DI ATAS SUBSTRAT SILIKON DENGAN METODE SOL-GEL
PENUMBUHAN LAPISAN TIPIS SEMIKONDUKTOR GaN DI ATAS SUBSTRAT SILIKON DENGAN METODE SOL-GEL Heri Sutanto, Iis Nurhasanah, Indras Marhaendrajaya, Ahmad Taufani, Luluk L. Badriyah, dan Wahyu Ambikawati Laboratorium
Lebih terperinciSTRUKTUR DAN KOMPOSISI KIMIA LAPIS TIPIS BAHAN SEMIKONDUKTOR Sn(Se 0,2 S 0.8 ) HASIL PREPARASI TEKNIK VAKUM EVAPORASI UNTUK APLIKASI SEL SURYA
J. Sains Dasar 2015 4 (2) 198-203 STRUKTUR DAN KOMPOSISI KIMIA LAPIS TIPIS BAHAN SEMIKONDUKTOR Sn(Se 0,2 S 0.8 ) HASIL PREPARASI TEKNIK VAKUM EVAPORASI UNTUK APLIKASI SEL SURYA THE STRUCTURE AND CHEMICAL
Lebih terperinciPENGARUH LAPISAN PENYANGGA AlN DAN DAYA PLASMA PADA SIFAT OPTIK FILM TIPIS GaN YANG DITUMBUHKAN DENGAN DC MAGNETRON SPUTTERING
PENGARUH LAPISAN PENYANGGA AlN DAN DAYA PLASMA PADA SIFAT OPTIK FILM TIPIS GaN YANG DITUMBUHKAN DENGAN DC MAGNETRON SPUTTERING SKRIPSI Disusun dalam rangka penyelesaian Studi Stata 1 untuk memperoleh gelar
Lebih terperinciPEMBUATAN KONDUKTOR TRANSPARAN THIN FILM SnO2 DENGAN MENGGUNAKAN TEKNIK SPRAY PYROLYSIS
PEMBUATAN KONDUKTOR TRANSPARAN THIN FILM SnO2 DENGAN MENGGUNAKAN TEKNIK SPRAY PYROLYSIS Syuhada, Dwi Bayuwati, Sulaiman Pusat Penelitian Fisika-LIPI, Kawasan Puspiptek Serpong Tangerang 15314 e-mail: hadda212@yahoo.com
Lebih terperinciRINGKASAN HIBAH BERSAING
Bidang Teknologi RINGKASAN HIBAH BERSAING PENUMBUHAN MATERIAL DMS GaN:Mn DAN STRUKTUR GaN/GaN:Mn DI ATAS SUBSTRAT SILIKON DENGAN METODE PA-MOCVD UNTUK APLIKASI DIVAIS MTJ Peneliti: Dr. Budi Mulyanti, MSi
Lebih terperinciBAB III METODE PENELITIAN. Pelaksanaan penelitian ini pada dasarnya meliputi tiga tahapan proses
BAB III METODE PENELITIAN Pelaksanaan penelitian ini pada dasarnya meliputi tiga tahapan proses diawali dengan tahap persiapan, tahap penumbuhan, dan tahap karakterisasi. Pada bab ini dibahas tentang metode
Lebih terperinciEfek Staebler-Wronski dan Pengaruh Waktu Anil pada Lapisan Instrinsik Silikon Amorf Terhidrogenasi (a-si:h)
JURNAL FISIKA DAN APLIKASINYA VOLUME 13, NOMOR 2 JUNI 2017 Efek Staebler-Wronski dan Pengaruh Waktu Anil pada Lapisan Instrinsik Silikon Amorf Terhidrogenasi (a-si:h) Yoyok Cahyono, Fuad D. Muttaqin, Umi
Lebih terperinciSIDANG TUGAS AKHIR. Jurusan Teknik Material & Metalurgi Fakultas Teknologi Industri Institut Teknologi Sepuluh Nopember
SIDANG TUGAS AKHIR Arisela Distyawan NRP 2709100084 Dosen Pembimbing Diah Susanti, S.T., M.T., Ph.D Jurusan Teknik Material & Metalurgi Fakultas Teknologi Industri Institut Teknologi Sepuluh Nopember Sintesa
Lebih terperinciBAB I PENDAHULUAN 1.1 LatarBelakang
1 BAB I PENDAHULUAN 1.1 LatarBelakang Proses pembangunan disegala bidang selain membawa kemajuan terhadap kehidupan manusia, tetapi juga akan membawa dampak negative bagi lingkungan hidup. Industrialisasi
Lebih terperinciBab IV Hasil dan Pembahasan
33 Bab IV Hasil dan Pembahasan Pada bab ini dilaporkan hasil sintesis dan karakterisasi dari senyawa yang disintesis. Senyawa disintesis menggunakan metoda deposisi dalam larutan pada temperatur rendah
Lebih terperinciKUMPULAN ABSTRAK TESIS DISERTASI DOKTOR 2005 INSTITUT TEKNOLOGI BANDUNG
KUMPULAN ABSTRAK TESIS DISERTASI DOKTOR 2005 INSTITUT TEKNOLOGI BANDUNG SEKOLAH PASCASARJANA Jl. Tamansari No. 64 Bandung 40116 Gedung CCAR lt. IV Telp. : +6222 251 1495; Fax. : +6222 250 3659 E-mail :
Lebih terperinciIII. METODE PENELITIAN
21 III. METODE PENELITIAN 3.1 Waktu dan Tempat Penelitian Penelitian ini dilaksanakan pada bulan Agustus 2010 - Juni 2011 di Laboratorium Biofisika dan Laboratorium Fisika Lanjut, Departemen Fisika IPB.
Lebih terperinciEfek Annealing Pada Penumbuhan Film Tipis Ferroelektrik PbZr 0,625 Ti 0,375 O 3 (PZT)
Kontribusi Fisika Indonesia Vol. 12 No.4, Oktober 2001 Efek Annealing Pada Penumbuhan Film Tipis Ferroelektrik PbZr 0,625 Ti 0,375 O 3 (PZT) Ngurah Ayu Ketut Umiati 1,2, Irzaman 1,3, Maman Budiman 1 dan
Lebih terperinciPENGARUH PENGOTOR Co PADA STRUKTUR DAN KONDUKTIVITAS FILM TIPIS TiO 2
ISSN 1412 3762 http://jurnal.upi.edu/electrans ELECTRANS, VOL.12, NO.1, MARET 2013, 9-14 PENGARUH PENGOTOR Co PADA STRUKTUR DAN KONDUKTIVITAS FILM TIPIS TiO 2 Aip Saripudin, Tjetje Gunawan, Yuda Muladi
Lebih terperinciARTIKEL ILMIAH HIBAH BERSAING
ARTIKEL ILMIAH HIBAH BERSAING Bidang Teknologi PENUMBUHAN MATERIAL DMS GaN:Mn DAN STRUKTUR GaN/GaN:Mn DI ATAS SUBSTRAT SILIKON DENGAN METODE PA-MOCVD UNTUK APLIKASI DIVAIS MTJ Peneliti: Dr. Budi Mulyanti,
Lebih terperinciBAB I PENDAHULUAN. I.1 Latar Belakang Kebutuhan akan energi semakin berkembang seiring dengan
BAB I PENDAHULUAN I.1 Latar Belakang Kebutuhan akan energi semakin berkembang seiring dengan berkembangnya kehidupan manusia. Sehingga para peneliti terus berupaya untuk mengembangkan sumber-sumber energi
Lebih terperinciMEKANISME PENUMBUHAN LAPISAN TIPIS ALLOY TERNARY GaAs 1-x Sb x DARI SUMBER-SUMBER METALORGANIK TMGa, TDMAAs DAN TDMASb PADA REAKTOR MOCVD ABSTRAK
MEKANISME PENUMBUAN LAPISAN TIPIS ALLOY TERNARY As 1-x Sb x DARI SUMBER-SUMBER METALORGANIK TM, TDMAAs DAN TDMASb PADA REAKTOR MOCVD A. Suhandi 1,2), P. Arifin 2), M. Budiman 2), dan M. Barmawi 2) 1) Jurusan
Lebih terperinciBAB III METODOLOGI PENELITIAN. Lokasi penelitian dilakukan di Laboratorium Fisika Material, Jurusan
BAB III METODOLOGI PENELITIAN A. Lokasi dan Waktu Penelitian Lokasi penelitian dilakukan di Laboratorium Fisika Material, Jurusan Pendidikan Fisika, Fakultas Matematika dan Ilmu Pengetahuan Alam, Universitas
Lebih terperinciStudi Optimasi Parameter Daya RF untuk Penumbuhan Lapisan Tipis Mikrokristal Silikon dengan Metode Hot Wire Cell PECVD
PROC. ITB Sains & Tek. Vol. 37 A, No. 1, 2005, 13-22 13 Studi Optimasi Parameter Daya RF untuk Penumbuhan Lapisan Tipis Mikrokristal Silikon dengan Metode Hot Wire Cell PECVD S. Amiruddin 1), I. Usman
Lebih terperinciBAB IV PERHITUNGAN & ANALSIS HASIL KARAKTERISASI XRD, EDS DAN PENGUKURAN I-V MSM
BAB IV PERHITUNGAN & ANALSIS HASIL KARAKTERISASI XRD, EDS DAN PENGUKURAN I-V MSM Pada bab sebelumnya telah diperlihatkan hasil karakterisasi struktur kristal, morfologi permukaan, dan komposisi lapisan.
Lebih terperinciKarakterisasi FTIR pada Studi Awal Penumbuhan CNT dengan Prekursor Nanokatalis Ag dengan Metode HWC-VHF-PECVD
JURNAL FISIKA DAN APLIKASINYA VOLUME 13, NOMOR 2 JUNI 2017 Karakterisasi FTIR pada Studi Awal Penumbuhan CNT dengan Prekursor Nanokatalis Ag dengan Metode HWC-VHF-PECVD Ajeng Eliyana 1, dan Toto Winata
Lebih terperinciMekanisme Hamburan Defek Statis Dan Vibrasi Termal Terhadap Mobilitas Elektron Pada Film Tipis GaN
Berkala Fisika ISSN : 1410-9662 Vol 13., No.1, Januari 2010, hal 39-44 Mekanisme Hamburan Defek Statis Dan Vibrasi Termal Terhadap Mobilitas Elektron Pada Film Tipis GaN Dadi Rusdiana, Lilik Hasanah, dan
Lebih terperinciSIFAT OPTIK STRUKTUR KRISTAL DAN STRUKTUR MIKRO LAPISAN TIPIS ZnO:Al PADA SUBSTRAT KACA SEBAGAI BAHAN TCO
Wirjoadi, dkk. ISSN 0216-3128 369 SIFAT OPTIK STRUKTUR KRISTAL DAN STRUKTUR MIKRO LAPISAN TIPIS ZnO:Al PADA SUBSTRAT KACA SEBAGAI BAHAN TCO Wirjoadi, Bambang Siswanto Pusat Teknologi Akselerator dan Proses
Lebih terperinciKontribusi Fisika Indonesia Vol. 12, No.3, Juli 2001
Kontribusi Fisika Indonesia Vol. 12, No.3, Juli 2001 Pengaruh Terhadap Tingkat Kestabilan Efisiensi Sel Surya p-i-n a-si:h Doping Delta Amiruddin Supu 1), Dilla M. 2), Jasruddin Daud Malago 3), Fitri Suryani
Lebih terperinciNama dan Gelar Lengkap : Dr. Budi Mulyanti, M.Si. Tempat/Tanggal Lahir : Pemalang, 09 Januari 1963
CURRICULUM VITEA/BIODATA BIODATA LENGKAP Nama dan Gelar Lengkap : Dr. Budi Mulyanti, M.Si. Tempat/Tanggal Lahir : Pemalang, 09 Januari 1963 Jenis Kelamin : Perempuan NIP : 196301091994022001 Pangkat/Jabatan/Gol.
Lebih terperinciPENGARUH KONDISI PENUMBUHAN PADA SIFAT FISIS FILM TIPIS GA 2 O 3 DENGAN DOPING ZNO
PENGARUH KONDISI PENUMBUHAN PADA SIFAT FISIS FILM TIPIS GA 2 O 3 DENGAN DOPING ZNO Sulhadi, Putut Marwoto, dan Sugianto Fakultas Matematika Ilmu Pengetahuan Alam Universitas Negeri Semarang Abstrak. Telah
Lebih terperinciEfek doping Al pada sifat optik dan listrik lapisan tipis ZnO hasil deposisi dengan DC sputtering
JURNAL FISIKA DAN APLIKASINYA VOLUME 1, NOMER 1 JANUARI 2005 Efek doping Al pada sifat optik dan listrik lapisan tipis ZnO hasil deposisi dengan DC sputtering SriYaniPurwaningsih, 1 Karyono, 2 dansudjatmoko
Lebih terperinciBAB III METODOLOGI PENELITIAN. perlakuan panas atau annealing pada lapisan sehingga terbentuk butiran-butiran
BAB III METODOLOGI PENELITIAN 3.1 Metode penelitian Metode penelitian yang digunakan pada penelitian ini adalah eksperimen dengan membuat lapisan tipis Au di atas substrat Si wafer, kemudian memberikan
Lebih terperinciHASIL DAN PEMBAHASAN. didalamnya dilakukan karakterisasi XRD. 20%, 30%, 40%, dan 50%. Kemudian larutan yang dihasilkan diendapkan
6 didalamnya dilakukan karakterisasi XRD. 3.3.3 Sintesis Kalsium Fosfat Sintesis kalsium fosfat dalam penelitian ini menggunakan metode sol gel. Senyawa kalsium fosfat diperoleh dengan mencampurkan serbuk
Lebih terperinciBAB I PENDAHULUAN. modern pada fotokonduktor ultraviolet (UV) membutuhkan material
BAB I PENDAHULUAN 1.1 Latar Belakang Masalah Pengembangan material semikonduktor tidak lepas dari perkembangan piranti elektronik diantaranya fotokonduktor ultraviolet (UV). Tuntutan aplikasi modern pada
Lebih terperinciSTRUKTUR DAN KOMPOSISI KIMIA LAPISAN TIPIS Sn(So,4Te0,6) HASIL PREPARASI DENGAN TEKNIK EVAPORASI VAKUM
Struktur dan Komposisi... (Eka Wulandari) 1 STRUKTUR DAN KOMPOSISI KIMIA LAPISAN TIPIS Sn(So,4Te0,6) HASIL PREPARASI DENGAN TEKNIK EVAPORASI VAKUM STRUCTURE AND CHEMICAL COMPOSITION OF Sn(S0,4Te0,6) THIN
Lebih terperinciBAB 1 PENDAHULUAN Latar Belakang
BAB 1 PENDAHULUAN 1.1. Latar Belakang Memasuki abad 21, persediaan minyak dan gas bumi semakin menipis. Sementara kebutuhan akan energi semakin meningkat, terutama dirasakan pada negara industri. Kebuthan
Lebih terperinciPENUMBUHAN LAPISAN TIPIS SILIKON MIKROKRISTAL (µc Si:H) TIPE-P DENGAN METODE HOT WIRE PLASMA ENHANCED CHEMICAL VAPOR DEPOSITION (HW-PECVD)
Bimafika, 2010, 2, 134-140 PENUMBUHAN LAPISAN TIPIS SILIKON MIKROKRISTAL (µc Si:H) TIPE-P DENGAN METODE HOT WIRE PLASMA ENHANCED CHEMICAL VAPOR DEPOSITION (HW-PECVD) Marwah * FKIP Unversitas Darussalam
Lebih terperinciBAB I PENDAHULUAN. Oksida konduktif transparan atau transparent conductive oxide (TCO)
BAB I PENDAHULUAN 1.1. Latar Belakang Oksida konduktif transparan atau transparent conductive oxide (TCO) adalah semikonduktor yang memiliki lebar celah pita energi antara 2,5 4,5 ev (Dengyuan, 2005).
Lebih terperinciJurusan Pendidikan Fisika FPMIPA UPI 2005
PENUMBUHAN FILM TIPIS Galium Nitrida (GaN) DENGAN METODE SOL-GEL DAN APLIKASINYA PADA FOTODETEKTOR ULTRAVIOLET (UV) Usulan penelitian Hibah Pekerti Oleh : Yuyu R. Tayubi, dkk Jurusan Pendidikan Fisika
Lebih terperinciBAB IV HASIL DAN PEMBAHASAN. Pada pembuatan dispersi padat dengan berbagai perbandingan
BAB IV HASIL DAN PEMBAHASAN A. HASIL 1. Pembuatan Serbuk Dispersi Padat Pada pembuatan dispersi padat dengan berbagai perbandingan dihasilkan serbuk putih dengan tingkat kekerasan yang berbeda-beda. Semakin
Lebih terperinciPENGARUH VARIASI MASSA BAHAN TERHADAP KUALITAS KRISTAL SEMIKONDUKTOR Sn(Se 0,2 Te 0,8 ) HASIL PREPARASI DENGAN TEKNIK BRIDGMAN
Pengaruh Variasi Massa... (Annisa Dyah ) 238 PENGARUH VARIASI MASSA BAHAN TERHADAP KUALITAS KRISTAL SEMIKONDUKTOR Sn(Se 0,2 Te 0,8 ) HASIL PREPARASI DENGAN TEKNIK BRIDGMAN THE EFFECT OF MATERIAL MASS ON
Lebih terperinciHASIL DAN PEMBAHASAN. Struktur Karbon Hasil Karbonisasi Hidrotermal (HTC)
39 HASIL DAN PEMBAHASAN Struktur Karbon Hasil Karbonisasi Hidrotermal (HTC) Hasil karakterisasi dengan Difraksi Sinar-X (XRD) dilakukan untuk mengetahui jenis material yang dihasilkan disamping menentukan
Lebih terperinciKARAKTERSASI STRUKTUR DAN SIFAT LISTRIK MSM BERBASIS MATERIAL ALGaN YANG DITUMBUHKAN DENGAN METODE PA-MOCVD
KARAKTERSASI STRUKTUR DAN SIFAT LISTRIK MSM BERBASIS MATERIAL ALGaN YANG DITUMBUHKAN DENGAN METODE PA-MOCVD TUGAS AKHIR Diajukan sebagai salah satu syarat memperoleh gelar sarjana di Program Studi Fisika
Lebih terperinciBAB I PENDAHULUAN. pembuatan piranti optoelektronika yang berkualitas tinggi.
BAB I PENDAHULUAN A. Latar Belakang Masalah Sejak ditemukannya silikon (Si) dan germanium (Ge) sebagai material semikonduktor, berbagai penelitian dilakukan untuk memperoleh material semikonduktor lain
Lebih terperinciThe Effect of Pre-annealing Temperature on Structural Characteristics of ZnO Thin Films Deposited by Sol-Gel Method
JURNAL Teori dan Aplikasi Fisika Vol. 04, No.01, Januari Tahun 2016 The Effect of Pre-annealing Temperature on Structural Characteristics of ZnO Thin Films Deposited by Sol-Gel Method Mursal & Evi Yufita
Lebih terperinciBAB III EKSPERIMEN. 1. Bahan dan Alat
BAB III EKSPERIMEN 1. Bahan dan Alat Bahan-bahan yang digunakan dalam penelitian ini ialah Ca(NO 3 ).4H O (99%) dan (NH 4 ) HPO 4 (99%) sebagai sumber ion kalsium dan fosfat. NaCl (99%), NaHCO 3 (99%),
Lebih terperinciVolume 7, Nopember 2005 ISSN
INTENSITAS EMISI OPTIK PLASMA NITROGEN YANG DIBANGKITKAN OLEH GELOMBANG MIKRO 2,45 GHZ DENGAN METODA OPTICAL EMISSION SPECTROSCOPY Heri Sutanto 1,2), A. Subagio 1,2), E. Supriyanto 1,3), P. Arifin 1),
Lebih terperincidengan panjang a. Ukuran kristal dapat ditentukan dengan menggunakan Persamaan Debye Scherrer. Dilanjutkan dengan sintering pada suhu
6 Dilanjutkan dengan sintering pada suhu 900⁰C dengan waktu penahanannya 5 jam. Timbang massa sampel setelah proses sintering, lalu sampel dikarakterisasi dengan menggunakan XRD dan FTIR. Metode wise drop
Lebih terperinciPENGARUH PERBEDAAN WAKTU TUMBUH TERHADAP STRUKTUR KRISTAL LAPISAN TIPIS ZnO
PENGARUH PERBEDAAN WAKTU TUMBUH TERHADAP STRUKTUR KRISTAL LAPISAN TIPIS ZnO Ayu Mutia 1*, Iwan Sugihartono 1*, Anggara Budi Susila 1, Maykel Manawan 2 1 Jurusan Fisika, FMIPA, Universitas Negeri Jakarta
Lebih terperinciBAB I PENDAHULUAN. kita terima bahwa pemakaian energi berbahan dasar dari fosil telah menjadi salah
BAB I PENDAHULUAN A. Latar Belakang Masalah Menipisnya cadangan energi fosil di Indonesia dan kenyataan yang harus kita terima bahwa pemakaian energi berbahan dasar dari fosil telah menjadi salah satu
Lebih terperinciDeskripsi METODE UNTUK PENUMBUHAN MATERIAL CARBON NANOTUBES (CNT)
1 Deskripsi METODE UNTUK PENUMBUHAN MATERIAL CARBON NANOTUBES (CNT) Bidang Teknik Invensi Invensi ini berhubungan dengan metode untuk penumbuhan material carbon nanotubes (CNT) di atas substrat silikon
Lebih terperinciSIFAT OPTIK, STRUKTUR KRISTAL DAN STRUKTUR MIKRO LAPISAN TIPIS ZnO:Al PADA SUBSTRAT KACA SEBAGAI BAHAN TCO
ISSN 1410-6957 SIFAT OPTIK, STRUKTUR KRISTAL DAN STRUKTUR MIKRO LAPISAN TIPIS ZnO:Al PADA SUBSTRAT KACA SEBAGAI BAHAN TCO Wirjoadi, Bambang Siswanto Pusat Teknologi Akselerator dan Proses Bahan, BATAN
Lebih terperinciTEMA: ENERGI TERBARUKAN. FABRIKASI SEL SURYA BERBASIS SILIKON DENGAN LAPISAN ANTI REFLEKSI ZnO MENGGUNAKAN TEKNOLOGI THICK FILM
Bidang Ilmu Teknologi RINGKASAN LAPORAN TAHAP I HIBAH KOMPETITIF PENELITIAN SESUAI PRIORITAS NASIONAL TEMA: ENERGI TERBARUKAN FABRIKASI SEL SURYA BERBASIS SILIKON DENGAN LAPISAN ANTI REFLEKSI ZnO MENGGUNAKAN
Lebih terperinciKarakterisasi FTIR pada Studi Awal Penumbuhan CNT dengan Prekursor Nanokatalis Ag dengan Metode HWC-VHF-PECVD
JURNAL FISIKA DAN APLIKASINYA VOLUME 13, NOMOR 2 JUNI 2017 Karakterisasi FTIR pada Studi Awal Penumbuhan CNT dengan Prekursor Nanokatalis Ag dengan Metode HWC-VHF-PECVD Ajeng Eliyana 1, dan Toto Winata
Lebih terperinci1. Semikonduktor intrinsik : bahan murni tanpa adanya pengotor bahan lain. 2. Semikonduktor ekstrinsik : bahan mengandung impuritas dari bahan lain
1. Semikonduktor intrinsik : bahan murni tanpa adanya pengotor bahan lain 2. Semikonduktor ekstrinsik : bahan mengandung impuritas dari bahan lain Adalah Semikonduktor yang terdiri atas satu unsur saja,
Lebih terperinciPENGARUH ANNEALING PADA FILM TIPIS Ta 2 O 5 DITUMBUH- KAN DENGAN METODE DC MAGNETRON SPUTTERING
PROSIDING SEMINAR NASIONAL REKAYASA KIMIA DAN PROSES 24 ISSN : 1411-4216 PENGARUH ANNEALING PADA FILM TIPIS Ta 2 O 5 DITUMBUH- KAN DENGAN METODE DC MAGNETRON SPUTTERING Wiyant, Sugiant dan I. Sumpn Jurusan
Lebih terperinciBAB I PENDAHULUAN. energi listrik. Pemanfaatan energi listrik terus berkembang tidak hanya berfokus
BAB I PENDAHULUAN A. Latar Belakang Masalah Seiring pertumbuhan penduduk di dunia yang semakin meningkat, kebutuhan akan sumber energi meningkat pula. Termasuk kebutuhan akan sumber energi listrik. Pemanfaatan
Lebih terperinciWidyanuklida, Vol. 15 No. 1, November 2015: ISSN
Widyanuklida, Vol. 15 No. 1, November 2015: 22-27 ISSN 1410-5357 Penentuan Struktur Kristal dan Komposisi Kimia Lapisan Tipis Sn(Se 0,5 S 0,5 ) Hasil Preparasi Teknik Evaporasi untuk Aplikasi Sel Surya
Lebih terperinciPENGARUH SUHU SUBSTRAT TERHADAP KUALITAS KRISTAL LAPISAN TIPIS Sn(Se 0,4 Te 0,6 ) HASIL PREPARASI DENGAN TEKNIK EVAPORASI VAKUM
Pengaruh Suhu Substrat...(Vina Hentri Tunita N.)288 PENGARUH SUHU SUBSTRAT TERHADAP KUALITAS KRISTAL LAPISAN TIPIS Sn(Se 0,4 Te 0,6 ) HASIL PREPARASI DENGAN TEKNIK EVAPORASI VAKUM THE EFFECT OF SUBSTRATE
Lebih terperinciLaju Deposisi dan Celah Pita Energi Optik Lapisan Tipis a-si:h yang Ditumbuhkan dengan Teknik HWC-VHF-PECVD
Laju Deposisi dan Celah Pita Energi Optik Lapisan Tipis Andhy Setiawan 1), Hastiti Murti 1), Hasniah Aliah 2), Toto Winata 3) Program Studi Fisika FPMIPA Universitas Pendidkan Indonesia (UPI), Jurusan
Lebih terperinciEfek Doping Co Pada Konstanta Kisi Film Tipis polikristal TiO 2 yang Dideposisikan dengan Teknik MOCVD
Efek Doping Co Pada Konstanta Kisi Film Tipis polikristal TiO 2 yang Dideposisikan dengan Teknik MOCVD Aip Saripudin* Program Studi Teknik Elektro FPTK, Universitas Pendidikan Indonesia Email: asaripudin1604@gmail.com
Lebih terperinciPREPARASI DAN KARAKTERISASI PADUAN SEMIKONDUKTOR Sn(Se 0,6 Te 0,4 ) DENGAN METODE BRIDGMAN MELALUI VARIASI WAKTU PEMANASAN
Preparasi dan Karakterisasi.(Iin Astarinugrahini) 298 PREPARASI DAN KARAKTERISASI PADUAN SEMIKONDUKTOR Sn(Se 0,6 Te 0,4 ) DENGAN METODE BRIDGMAN MELALUI VARIASI WAKTU PEMANASAN PREPARATION AND CHARACTERIZATION
Lebih terperinciStudi Pengaruh Temperatur Penumbuhan terhadap Struktur Kristal dan Morfologi Film Tipis TiO 2 :Eu yang Ditumbuhkan dengan Metode MOCVD
Studi Pengaruh Temperatur Penumbuhan terhadap Struktur Kristal dan Morfologi Film Tipis TiO 2 :Eu yang Ditumbuhkan dengan Metode MOCVD Edy Supriyanto 1,2), Goib Wiranto 3), Heri Sutanto 1,4), Agus Subagio
Lebih terperinciPengaruh Laju Aliran Gas N 2 Terhadap Sifat Optik Film Tipis GaN yang Ditumbuhkan Dengan Teknik Pulsed Laser Deposition (PLD)
Pengaruh Laju Aliran Gas N 2 Terhadap Sifat Optik Film Tipis GaN yang Ditumbuhkan Dengan Teknik Pulsed Laser Deposition (PLD) Hendri Widiyandari 1, Maman Budiman 2 (1) Laboratorium Fisika Zat Padat, Jurusan
Lebih terperinci4. HASIL DAN PEMBAHASAN
Intensitas (arb.unit) Intensitas (arb.unit) Intensitas (arb. unit) Intensitas 7 konstan menggunakan buret. Selama proses presipitasi berlangsung, suhu larutan tetap dikontrol pada 7 o C dengan kecepatan
Lebih terperinciHomogenitas Ketebalan, Konduktivitas Listrik dan Band Gap Lapisan Tipis a-si:h tipe-p dan tipe-p Doping Delta yang dideposisi dengan Sistem PECVD
JURNAL FISIKA DAN APLIKASINYA VOLUME 8, NOMOR JANUARI 202 Homogenitas Ketebalan, Konduktivitas Listrik dan Band Gap Lapisan Tipis a-si:h tipe-p dan tipe-p Doping Delta yang dideposisi dengan Sistem PECVD
Lebih terperinciBAB I PENDAHULUAN 1.1 Latar Belakang
BAB I PENDAHULUAN 1.1 Latar Belakang Pengembangan material yang memiliki ketahanan terhadap temperatur tinggi merupakan salah satu topik menarik yang terus dikaji oleh peneliti. Contoh aplikasi penggunaan
Lebih terperinciDiterima Juni 2004, disetujui untuk dipublikasikan September 2004
Jurnal Matematika dan Sains Vol. 9 No. 3, September 2004, hal 263-268 Penumbuhan Film Tipis Ti 1-x Co x O 2 Dengan Metode MOCVD Horasdia Saragih 1,3), Mersi Kurniati 2), Akhiruddin Maddu 2), Pepen Arifin
Lebih terperinciIV. HASIL DAN PEMBAHASAN. sol-gel, dan mempelajari aktivitas katalitik Fe 3 O 4 untuk reaksi konversi gas
IV. HASIL DAN PEMBAHASAN A. Pengantar Penelitian ini pada intinya dilakukan dengan dua tujuan utama, yakni mempelajari pembuatan katalis Fe 3 O 4 dari substrat Fe 2 O 3 dengan metode solgel, dan mempelajari
Lebih terperinci1. JUDUL PENELITIAN RANCANG BANGUN ALAT SPINCOATING
1. JUDUL PENELITIAN RANCANG BANGUN ALAT SPINCOATING SEDERHANA UNTUK PENUMBUHAN LAPISAN TIPIS SEMIKONDUKTOR (Studi eksplorasi untuk pengembangan laboratorium fisika material ) 1 2. LATAR BELAKANG MASALAH
Lebih terperinciAnisotropi Magnetik Film Tipis TiO 2 :Co yang Ditumbuhkan dengan Teknik MOCVD
Jurnal Matematika dan Sains Vol. 10 No. 4, Desember 2005, hal 107-111 Anisotropi Magnetik Film Tipis TiO 2 :Co yang Ditumbuhkan dengan Teknik MOCVD Abstrak Horasdia Saragih 1,2), Pepen Arifin 1) dan Mohamad
Lebih terperinciBAB I PENDAHULUAN. Sebagai negara berkembang yang kaya akan radiasi matahari yang tinggi,
BAB I PENDAHULUAN 1.1 Latar Belakang Sebagai negara berkembang yang kaya akan radiasi matahari yang tinggi, sudah seharusnya Indonesia memanfaatkannya sebagai energi listrik dengan menggunakan sel surya.
Lebih terperinciPENUMBUHAN LAPISAN TIPIS SILIKON MIKROKRISTAL TERHIDROGENASI DENGAN TEKNIK HWC-VHF-PECVD
Reaktor, Vol. 13 No. 1, Juni 2010, Hal. 31-36 PENUMBUHAN LAPISAN TIPIS SILIKON MIKROKRISTAL TERHIDROGENASI DENGAN TEKNIK HWC-VHF-PECVD Ida Usman 1*), Darwin Ismail 1), Heri Sutanto 2) dan Toto Winata 3)
Lebih terperinciKARAKTERISASI SIFAT OPTIK LAPISAN TIPIS ZnO:Al PADA SUBSTRAT GELAS UNTUK JENDELA SEL SURYA
GANENDRA, Vol. V, N0.2 ISSN 1410-6957 KARAKTERISASI SIFAT OPTIK LAPISAN TIPIS ZnO:Al PADA SUBSTRAT GELAS UNTUK JENDELA SEL SURYA Wirjoadi, Yunanto, Bambang Siswanto, Sri Sulamdari, Sudjatmoko Puslitbang
Lebih terperinciBab III Metoda Penelitian
28 Bab III Metoda Penelitian III.1 Lokasi Penelitian Sintesis senyawa target dilakukan di Laboratorium Kimia Anorganik dan Laboratorium Kimia Fisik-Material Departemen Kimia, Pengukuran fotoluminesens
Lebih terperinci4 Hasil dan Pembahasan
4 Hasil dan Pembahasan 4.1 Sintesis Padatan TiO 2 Amorf Proses sintesis padatan TiO 2 amorf ini dimulai dengan melarutkan titanium isopropoksida (TTIP) ke dalam pelarut etanol. Pelarut etanol yang digunakan
Lebih terperinciBAB I PENDAHULUAN. 1.1 Latar Belakang
BAB I PENDAHULUAN 1.1 Latar Belakang Kebutuhan energi yang terus meningkat dan semakin menipisnya cadangan minyak bumi dan gas alam menjadi pendorong bagi manusia untuk mencari sumber energi alternatif.
Lebih terperinciBab III Metodologi Penelitian
28 Bab III Metodologi Penelitian III.1 Tahap Penelitian Penelitian ini terbagi dalam empat tahapan kerja, yaitu : Tahapan kerja pertama adalah persiapan bahan dasar pembuatan film tipis ZnO yang terdiri
Lebih terperinciKARAKTERISASI BAHAN FERROELEKTRIK BARIUM STRONTIUM TITANAT (Ba 0.3 Sr 0.7 TiO 3 ) DENGAN MENGGUNAKAN DIFRAKSI SINAR-X (XRD)
KARAKTERISASI BAHAN FERROELEKTRIK BARIUM STRONTIUM TITANAT (Ba 0.3 Sr 0.7 TiO 3 ) DENGAN MENGGUNAKAN DIFRAKSI SINAR-X (XRD) Rahmad Efendi, Rahmi Dewi, Krisman Jurusan Fisika Fakultas Matematika dan Ilmu
Lebih terperinci