KARAKTERISTIK LISTRIK KERAMIK FILM TEBAL SnO 2 YANG DITAMBAH Ta 2 O 5 UNTUK SENSOR GAS ETANOL

Transkripsi

1 KARAKTERISTIK LISTRIK KERAMIK FILM TEBAL SnO 2 YANG DITAMBAH Ta 2 O 5 UNTUK SENSOR GAS ETANOL Rifayanti Masitoh 1, Dani Gustaman Syarif 2 dan Parlindungan Sinaga 1 1 Departemen Fisika, FPMIPA, Universitas Pendidikan Indonesia, Jln.Dr Setiabudi 229, Bandung 40154, Indonesia 2 PTNBR-BATAN, Jln. Tamansari 71, Bandung, 40132, Indonesia danigus@batan.go.id, danigusta@yahoo.com. ABSTRAK KARAKTERISTIK LISTRIK KERAMIK FILM TEBAL SnO 2 YANG DITAMBAH Ta 2 O 5 UNTUK SENSOR GAS ETANOL. Pembuatan film tebal keramik SnO 2 yang didoping Ta 2 O 5 telah dilakukan dengan menggunakan metode screen printing. SnO 2 dibuat dari bahan SnCl 4 dan Ta 2 O 5 dibuat dari bahan TaCl 5. Untuk menghasilkan film tebal, terlebih dahulu pasta disiapkan. Pasta tersebut terbuat dari campuran serbuk SnO 2 -Ta 2 O 5, serbuk frit (terbuat dari PbO, SiO 2, B 2 O 3 ) dan OV (Organic Vehicle terbuat dari campuran terpienol dan etil selulose). Pasta dilapiskan di atas substrat Al 2 O 3 dengan metode screen printing hingga terbentuk film tebal mentah. Film tebal mentah dibakar pada temperatur C. Hasil analisis Scanning Electron microscope (SEM) menunjukkan bahwa ukuran butir rata-rata adalah μm. Karakterisasi listrik dilakukan di dalam medium udara dan udara yangmengandung gas etanol. Konsentrasi gas etanol divariasi menjadi tiga konsentrasi yaitu 407 ppm, 547 ppm, dan 639 ppm. Resistansi listrik keramik di dalam medium udara yang mengandung gas etanol lebih kecil dari resistansi listrik keramik ketika berada dalam medium udara. Makin besar konsentrasi gas etanol, makin sensitif keramik film tebal. Kata kunci: film tebal, SnO 2, Ta 2 O 5, screen printing, sensor gas, etanol ABSTRACT ELECTRICAL CHARACTERISTICS OF SnO 2 THICK FILM CERAMICS ADDED WITH Ta 2 O 5 FOR ETHANOL GAS SENSOR. Fabrication of Ta 2 O 5 doped-sno 2 ceramic has been carried out using screen printing method. The SnO 2 ceramic was made of SnCl 4 and the ceramic of Ta 2 O 5 was made of TaCl 5. A paste was prepared to produce thick film ceramic. The paste was made of mixture of powder of SnO 2 -Ta 2 O 5, frit powder (made of PbO, SiO 2, B 2 O 3 ) and organic vehicle (made of terpineol and athyl cellulose). The paste was screen printed on alumna substrate to form green thick film. The green thick film was fired at C. SEM analyses showed that average grain size was about 0.52μm. Electrical characterization was done in medium of air and ethanol gas containing air. Gas concentration was varied in three values namely 407 ppm, 547 ppm, dan 639 ppm. Electrical resistance of the ceramics in ethanol gas containing air medium was smaller than that of the ceramic in air medium. The larger the ethanol gas concentration, the more sensitive the thick film ceramic. Keywords: thick film, SnO 2, Ta 2 O 5, screen printing, sensor gas, etanol 1. PENDAHULUAN Etanol kemungkinan banyak terdapat di lingkungan karena penggunaannya yang cukup meluas. Pada konsentrasi tertentu dapat dikatagorikan sebagai pencemaran. Selain itu keberadaan dan konsentrasi gas etanol juga dapat menjadi indikator sebuah process pengolahan makanan. Oleh karena itu untuk mengontrol gas etanol di kedua aplikasi 320

2 tersebut diperlukan sensor gas etanol. Sensor gas etanol dapat dibuat dari berbagai bahan di antaranya keramik semikonduktor termasuk SnO 2 [1-4]. Selain untuk sensor gas, keramik SnO 2 (timah oksida) juga banyak digunakan dalam berbagai aplikasi, misalnya untuk elektrode transparan, katalis dan resistor. Bahan ini, merupakan keramik semikonduktor tipe-n dengan besar energi gap 3.6 ev. Material ini memiliki konduktivitas listrik yang rendah pada temperatur kamar, tetapi konduktivitasnya dapat ditingkatkan dengan pemberian doping atau pengotor. Doping atau pengotor yang diberikan dapat memperbaiki sifat-sifat keramik menjadi lebih baik untuk aplikasi sensor gas. Oleh karenanya, pada penelitian ini keramik film tebal SnO 2 didoping dengan Ta 2 O 5. Secara teoritis ion Ta 5+ yang masuk kedalam subkisi Sn 4+ dapat menghasilkan pertambahan jumlah elektron di dalam keramik SnO 2. Kepekaan keramik film tebal SnO 2 yang didoping Ta 2 O 5 terhadap gas etanol menjadi pokok bahasan makalah ini. menggunakan panjang gelombang sebesar 1,54056 Å. Hasil analisis diperlihatkan pada Gambar 1. Gambar 1. Pola XRD film tebal keramik 99%mol SnO 2-1%mol Ta 2 O 5 yang disinter pada suhu 1000 o C selama 1 jam di udara. 2. BAHAN DAN TATAKERJA Serbuk Sn klorida dan Ta klorida dicampur dengan asam sitrat dan dilarutkan dengan akuades. Larutan sol yang terbentuk dipanaskan pada suhu 80 o C hingga membentuk gel. Gel dipanaskan dan dikalsinansipada suhu 700 o C selama 2 Jam. Serbuk SnO 2 -Ta 2 O 5 yang terbentuk dicampur dengan 5 % berat frit. Serbuk campuran dicampur lagi dengan OV (Organic Vehicle) dengan konsentrasi OV sebesar 30 % berat hingga membentuk pasta. Pasta dilapiskan pada permukaan substrat alumina dengan screen printing. Film tebal mentah yang terbentuk dibakar pada suhu 1000 o C selama 1 Jam di udara. Film tebal hasil pembakaran dianalisis dengan difraksi sinar-x (XRD) dan Scanning Electron Microscope(SEM). Setelah diberi elektrode perak, tahanan listrik keramik film tebal juga diukur di dalam media udara dan di dalam media udara yang mengandung gas etanol. 3. HASIL DAN DISKUSI 3.1. Pengujian XRD Analisis XRD keramik film tebal SnO 2 - Ta 2 O 5 dilakukan di PTNBR-BATAN, dengan Hasil analisis XRD memperlihatkan bahwa keramik film tebal SnO 2 -Ta 2 O 5 yang dibuat mempunyai struktur kristal tetragonal, dengan parameter kisi sebesar a=4,741 Angstrom dan c sebesar 3,257 Angstrom. Hasil parameter kisi ini sesuai dengan data parameter kisi pada JCPDS No SnO 2. Pemberian doping 1% Ta 2 O 5, tidak mempengaruhi struktur kristal yang terbentuk karena kemungkinan Ta 2 O 5 yang larut padat sangat sedikit. Pada dasarnya pemberian doping 1% Ta 2 O 5 hanya untuk memperbaiki sifat listrik yang dimiliki oleh bahan SnO Pengujian SEM Hasil pengujian SEM ditunjukkan pada Gambar 2. Pada gambar tersebut, film tebal keramik SnO 2 -Ta 2 O 5 memiliki ukuran butir yang relatif kecil dan memiliki pori yang cukup banyak. Pada material sensor gas, dibutuhkan ukuran butir yang kecil dan memiliki pori yang cukup banyak. Dengan ukuran butir yang kecil dan pori yang banyak, maka semakin banyak gas pereduksi yang bereaksi ke daerah batas butir pada sensor yang menyebabkan resistansi menurun dan meningkatkan nilai sensitifitasnya. Dalam pengolahan data SEM ini, diperoleh nilai rata-rata ukuran butirnya adalah 0.52 μm. 321

3 Gambar 2. Struktur mikro keramik 99%mol SnO 2-1%mol Ta 2 O 5 dipotret dengan SEM Karakteristik Listrik Untuk mengetahui respon atau sensitivitas dari sampel keramik film tebal SnO 2 -Ta 2 O 5 terhadap gas etanol, maka dilakukan Gambar 2. Hasil Pengujian SEM Karakterisasi listrik dengan melakukan pengukuran resistansi tahanan listrik di dalam suasana atmosfer udara dan suasana udara mengandung gas etanol dengan konsentrasi gas etanol yang berbeda. Data hasil pengukuran dapat dilihat bahwa resistansi listrik (R) berubah terhadap temparatur secara eksponensial ketika diberikan perubahan temparatur pada rentang 60 0 C sampai C. Data ini memperlihatkan bahwa keramik yang dibuat bersifat semikonduktor. Ketika termperatur naik, resistansi listrik sensor menurun, karena elektron-elektron mendapatkan energi berupa energi panas yang membuat elektron-elektron tersebut dapat berpindah dengan melewati bandgap dari pita valensi ke pita konduksi. Gambar 4. Sensitifitas keramik film tebal SnO 2 - Ta 2 O 5 pada suhu konsentrasi gas etanol yang berbeda. Adanya gas etanol juga mempengaruhi resistansi keramik film tebal. Resitansi keramik film tebal ketika berada di dalam medium udara lebih tinggi dari pada resistansi keramik film tebal ketika berada di dalam medium udara yang mengandung gas etanol. Mekanisme penurunan resistansi listriknya adalah sebagai berikut. Keramik film tebal yang berada di medium udara akan mengadsorbsi oksigen di permukaannya dan memberikan elektronnya sehingga oksigen menjadi ion oksigen. Peristiwa ini akan diikuti dengan pembentukan halangan (barrier) dengan tinggi penghalang tertentu seperti Gambar 5. Ketika kemudian keramik dimasukkan kedalam medium berisi gas etanol, oksigen yang teradsorbsi bereaksi dengan gas etanol sesuai Persamaan (1) seraya melepaskan kembali elektron ke pita konduksi dan menyebabkan turunnya potensial penghalang sesuai Gambar 6 sekaligus menurunkan resistansi keramikfilm tebal. C 2 H 5 OH (g) + O- CH 3 CHO + H 2 O + e - (1) Gambar 3. Nilai resistansi listrik keramik film tebal SnO 2 -Ta 2 O 5 yang dibakar pada temperatur 1000 o C pada konsentrasi gas etanol yang berbeda sebagai fungsi temparatur. 322

4 Dengan, Ru adalah resistansi sensor gas di dalam medium udara dan Rg adalah resistansi sensor gas ketika berada di medium udara mengandung gas etanol. Sensitivitas juga menggambarkan tingkat terkecil konsentrasi yang dapat terdeteksi oleh sensor gas. 4. KESIMPULAN Gambar 5. Model potensial penghalang ketika reaksi oksidasi [5]. 1. Keramik film tebal SnO 2 -Ta 2 O 5 yang dibuat berstruktur kristal tetragonal dan mempunyai porositas yang cukup banyak dengan ukuran butir yang relatif kecil yaitu µm. 2. Sensitivitas keramik film tebal SnO 2 -Ta 2 O 5 meningkat seiring dengan pertambahan konsentrasi gas yang diberikan sehingga berpotensi untuk diaplikasikan sebagai sensor gas etanol. 5. DAFTAR PUSTAKA Gambar 6. Model potensial penghalang ketika reaksi reduksi [5]. Perhatikan kembali Gambar 4, grafik menunjukkan pengaruh penambahan konsentrasi gas etanol pada sensitivitas sensor. Semakin banyak konsentrasi gas etanol yang diberikan, maka sensitivitas sensor semakin meningkat. Sensitivitas keramik film tebal SnO 2 -Ta 2 O 5 terhadap temperatur, pada konsentrasi gas etanol 639 ppm, memiliki sensitifitas yang lebih tinggi dibandingkan dengan konsentrasi gas etanol 407 ppm dan 547 ppm. Sensitifitas dapat didefinisikan sebagai rasio antara selisih resistansi di dalam medium mengandung gas etanol dan resistansi di udara. Hubungan tersebut secra matematis dapat ditulis sesuai persamaan (2) berikut [6,7]: Sensitivitas (S) = [(Ru-Rg)/Ru] x 100% (2) 1. AL-ZAIDI, Q.G., Palladium doped ZnO thin film hydrogen gas sensor, App. Phys. Res., 3(1) (2011) REZLESCU, E., IFTIMIE, N., POPA, P.D. and REZLESCU N., Porous nickel ferrite for semiconducting gas sensor, Journal of Physics, Conference Series 15 (2005) SAHRAEI, A., Low temperature ethanol gas sensor based on SnO 2 /MWNTs nanocomposite, World Academy of Science, Engineering and Technology 49 (2009), YAMAZOE, N., SHIMANOE, K., Receptor function and response of semiconductor gas sensor (Review Article), Journal of Sensors ( 2009) ANONYMOUS, Series 2000 gas sensors, (5 Mei 2011). 6. REZLESCU, N., REZLESCU, E., TUDARACHE, F., POPA, P.D., Gas sensing properties of porous Cu-, Cd- and Zn- ferrites, Romanian Reports in Physics 61(2) (2009), REUNGCHAIWAT, A., WONGCHA- NAPIBOON, T., LIAWRUANGRATH, S., PHANICHPHANT, S., Home-made detection device for a mixture of ethanol and acetone, Sensors 7 (2007)

5 6. DISKUSI Safandi: Bagaimana menentukan perhitungannya? Rifayanti Masitoh: Pada awalnya dengan perhitungan sendiri, kemudian dibandingkan dengan perhitungan menggunakan HCPDS, ternyata hasilnya tidak terlalu berbeda secara signifikan. Djoko Hadi P.: Mengapa pemilihan suhunya 1000ºC? Rifayanti Masitoh: Pada suhu tersebut sensitifitasnya paling baik. 324