PENIN G KA TAN LAJU D EPOSISI LAPISAN TIPIS Zn 0 DENGAN TEKNIK SPUTTERING RF MAGNETRON
|
|
- Yanti Oesman
- 6 tahun lalu
- Tontonan:
Transkripsi
1 PENIN G KA TAN LAJU D EPOSISI LAPISAN TIPIS Zn 0 DENGAN TEKNIK SPUTTERING RF MAGNETRON Yunanto,Suryadi, Tono Wibowo, Wirjoadi P3TM-BATAN, Kotak Pas 1008, Yogyakarta ABSTRAK PENINGKATAN LAJU DEPOSISI LAPISAN TIPIS ZnO DENGAN TEKNIK SPUTER/NG RF MAGNETRON. Te/ah di/akukan peningkatan /aju deposisi /apisan tipis ZnO dengan teknik sputering RF magnetron dengan tujuan mempersingkat waktu deposisi sehingga dapat menghemat biaya operasi. Pendeposisian /apisan tipis ZnO dapat di/akukan juga dengan tegangan DC tetapi arus ionnya masih rendah. untuk meningkatkan arus ion tegangan tinggi DC diganti dengan tegangan RF don diberi juga medan magnet dari 270 gauss sampai dengan 670 gauss Dengan me/akukan variasi medan magnet maka akan dipero/eh /aju deposisi yang optima/. Keteba/an /apisan tipis diamati denga SEM Dari //asi/ percobaan dipero/eh peningkatan /aju deposisi /apisan tipis Zn 115/300 cacahldetik cacah menjadi 288/300 cacahldetik pada kondisi kuat medan magnet 670 gauss. don peningkatan keteba/an /apisan tipis ZnO dari O,9.urn menjadi 1.3.urn ABSTRACT DEPOSISTION RATE IMPROVEMENT OF ZnO THIN FILM WITH A MAGNETRON RF SPWTER/NG TECHNIQUE. The deposition rate improvement of the ZnO thin film have been done with a magnetron RF sputtering technique a shorten deposition time and less operation cost Deposition of ZnO thin film with DC voltage was used but the current of ion was low, to increase the ion current the DC high voltage was replace with RF voltage and magnetic field from 270 gauss to 670 gauss. The variation of magnetic field gave the optimal deposition rate. The thickness of a thin film is determinated by SEM The experiment result shows the improvement of deposition rate of Zn thin film from 115/300 count/sec to 288/300 count/sec at magnet field 670 gauss and increasing thickness thin film from 0.9}Jm to 1.3}Jm. PENDAHULUAN P ada tahun terakhir penelitian teknologi lapisan tipis telah berkembang pesat di negara-negara maju clan telah menjangkau hampir semua bidang, misalnya pada bidang metalurgi yaitu mengubah bahan metal menjadi bahan unggul yang mempunyai kekerasan yang tinggi, lebih tahan aus, lebih tahan korosi.. Di bidang optik lapisan tipis juga dibuat untuk membuat anti refleksi, filter interferensi, cermin reflektor tinggi clan dekorasi. Di bidang listrik magnet lapisan tipis digunakan untuk pita rekam, mikro elektronik, sensor magnet, sensor aliran gas(i}. Di bidang semikonduktor bahan ZoO dapat dibuat lapisan tipis yang mempunyai sifat piezoelektrik dengan faktor kopling elektromekanik yang kuat clan nilai konstanta dielektrikum yang rendah.. Sifat piezoelektrik dari lapisan tipis ZoO tergantung dari orientasi kristal pada sumbu c, dimana semakin terarah kristal ke sumbu c semakin kuat sifat piezoelektriknya. Arab dari sumbu c tergantung dari ketebalan lapisan tipis ZoO. Semakin tebal lapisan tipis ZoO kemungkinan terarah pada sumbu c semakin besar. Dengan demikian lapisan tipis ZoO dapat digunakan untuk membuat penentu frekuensi sangat tinggi pada rangkaian osilator, filter frekuensi, pengukur laju aliran gas, diode, pemandu gelombang akustik(2). Untuk membuat lapisan tipis ZnO ialah dengan membuat serbuk ZnO dijadikan target dad ditumbuki dengan ion argon dalam tabung vakum. Ion argon berasal dari gas argon yang diionisasikan dengan tegangan tinggi DC atau RF. Tegangan DC hanya dapat digunakan untuk target yang berupa bahan konduktor dad semikonduktor, sedangkan tegangan RF dapat digunakan untuk bahan konduktor, semikonduktor dad isolator. Arus ion yang ditimbulkan oleh tegangan tinggi DC lebih rendah dari tegangan RF, hal ini disebabkan karena pada tegangan RF dengan frekuensi di ares 10 MHz maka potensial plasma tidak bolak-balik lagi. Ion yang dihasilkan searah tetapi elektronnya masih bolak-balik. Untuk target dari bahan isolator akan timbul tegangan bias secara otomatis pada pennukaan target, sehingga ion-ion dipercepat menuju target dengan tegangan ini dad dapat menghasilkan arus ion yang cukup besar<i.3). Laju deposisi pada teknik sputering tergantung antara lain berbanding terbalik dengan tekanan gas, berbanding tebalik dengan jarak elektroda, sebanding dengan waktu deposisi dad daya elektroda. Untuk membuat tekanan yang sangat rendah diperlukan pompa vakum difusi dad sambungan pada pompa vakum dengan tabung
2 Prosiding Pertemuan dan Presentasi /lmiah ~BA TAN, Yogyakarta Ju~~ Buku I 93 reaktor plasma yang rapat. Terdapat jarak elektroda tertentu yang paling baik/optimal, sehingga tidak dapat jarak elektroda dibuat sedekat mungkin.. Untuk menambah waktu deposisi diperlukan biaya operasi yang lebih mahal lagi. Penambahan daya dengan menaikkan tegangan akan memerlukan penyedia daya tegangan tinggi DC atau tegangan RF yang lebih rumit dalam pembuatannya. Untuk mengatasi hal tersebut di atas maka digunakan tegangan RF yang ditambah medan magnet pada elektroda. Medan magnet ini dikenakan tegak lurus terhadap medan listrik, sehingga elektron akan terjebak di dekat permukaan elektroda. Elektron ini akan berjalan setaro sikloida sehingga akan menambah partikel dad menambah tumbukan yang akhimya akan meningkatkan arus ion. Dengan meningkatnya arus ion maka, jumlah percikan atom target akan meningkat(4). Dengan demikian diharapkan dengan laju deposisi seperti menggunakan tegangan tinggi DC atau tegangan RF akan diperlukan waktu yang lebih singkat. TAT A KERJA Dalam penelitian ini dilakukan beberapa tahapan meliputi penyiapan cuplikan, pendeposisian lapisan tipis, pengamatan lapisan tipis yang terdeposisi pada substrat, pengukuran ketebalan lapisan tip is. Penyiapan Cuplikan Bahan penelitian yang digunakan sebagai substat dibuat dari kaca ukuran 70 mm x 25 mm x 1 mm, dipotong 10 mm x 20 mm dipoles sampai pada bagian pinggir untuk mengamati ketebalan lapisan tipis. Sebelum dideposisi dengan lapisan tipis ZnO, substrat dibersihkan terlebih dahulu untuk mencegah adanya kontaminasi senyawa organik maupun non organik yang terjadi pada proses pemotongan. Berturut-turut pembersihan itu menggunakan air dan deterjen yang dimasukkan dalam mesin cuci ultrasonik. Setelah itu dibersihkan dengan akuades dan alkohol, baru dikeringkan dengan pemanas dan dan setelah benar-benar kering dimasukkan dalam plastik klip. Proses Deposisi Lapisan Tipis Peralatan sitem sputering yang digunakan terdiri dati : tabung reaktor plasma" pompa rotari dan difusi, sumber gas argon, penyedia RF, elektromagnet, penyedia days elektromagnet Target ZnO diteffc~atkan pada katoda yang terletak di bawah, sedangkan substrat ditempatkan pada anoda. yang mendapat tegangan RF. Udara di dalam tabung reaktor plasma divakumkan dengan pompa vakum rotari dan difusi sampai tekanan turun menjadi 10.5 torr. Tekanan serendah ini bertujuan untuk membersihkan dari gas yang tidak diinginkan, tekanan kerja yang akan digunakan hanya sekitar 10-2 torr sampai dengan 10-1 torr. Pada bagian katoda diberi pendingin dari air yang didinginkan dengan AC untuk mencegah kenaikkan suhu karena pengaruh dari tumbukan ion argon,. sedangkan anoda dipanaskan dengan pemanas yang suhunya dapat diatur. Pemanasan pada anoda ini bertujuan untuk meningkatkan getaran atom pada substrat. Gas argon dialirkan melalui kran sampai tekanan kerja dan elektroda diberi tegangan RF dengan frekuensi 13,56 MHz, sehingga diantara elektroda terjadi lucutan plasma. Untuk mendapatkan laju deposisi yang paling baik, maka dilakukan variasi tiga parameter sebelum elektroda diberi medan magnet. Ketiga parameter tersebut adalah : daya RF, suhu subatrat dan waktu deposisi Daya RF divariasi dari 40 watt sampai dengan 120 watt, pada suhu 3000 C, tekanan gas torr, waktu deposisi 2 jam. Suhu substrat divariasi dari 1000 C sampai dengan 3000 C pada daya 120 watt, tekanan torr, waktu deposisi 2 jam. Waktu deposisi divariasi dari 1 jam sampai dengan 4 jam, pada suhu 300 C, tekanan torr, daya 120 watt. Dengan melakukan variasi ketiga parameter terse but akan diperoleh laju deposisi yang paling baik Setelah itu baru elektroda diberi medan magnet searah yang dapat divariasi kuat medannya dari 270 gauss sampai dengan 670 gauss. Pengaturan medan magnet dengan mengatur arus pada kumparan elektromagnet. Secara visual dapat dilihat, setelah elektroda diberi medan magnet nyala plasma akan semakin terang.diagram kotak sistem sputering RF magnetron seperti pada gambar I. Pengukuran Ketebalan Lapisan Tipis ZoO dengan SEM Ketebafan lapisan tipis ZnO yang terdeposisi pada substrat kaca ordenya hanya beberapa mikrometer, sehingga pengukuran ketebalan lapisan tipis ini harus menggunakan SEM. Untuk pengamatan ketebalan lapisan tipis ZnO ini substrat harus diletakan melintang. Dengan demikian akan dapat diamati perbedaan ketebalan lapisan tipis yang dihasilkan antara elektroda tanpa diberi medan magnet dengan elektroda yang diberi medan magnet. SEM bekerja berdasarkan berkas elektron yang dipercepat dengan tegangan tinggi DC 30 kv, sehingga mempunyai tenaga yang cukup tinggi. Berkas elektron ini difokuskan dengan lensa kondensor pada suatu titik yang diameternya hanya 100 A. Karena ditumbuki dengan elektron yang mempunyai tenaga tinggi maka elektron dari cuplikan akan lepas dan difokuskan dengan elektroda elektro statik pada alat pemantul yang dimiringkan, sehingga akan membentuk bayangan
3 topografi. Sinar yang dihasilkan ke alat pembesar foto dan sinyal yang didapat digunakan untuk menimbulkan terangnya suatu titik pada osiloskop dengan pembangkit skan. Garnbaran yang diperoleh pada layar osiloskop sarna dengan gambaran optik cuplikan. Cuplikan yang diarnati dengan SEM ditempatkan di dalam ruang vakum, dimana tempat cuplikan dapat digeser ke kanan-kiri, maju-mundur" dad rotasi beberapa derajat untuk menempatk~ posisi cuplikan benar-benar tegak lurus..dengan demikian dalam pengukuran teballapisan tipis tidak inengamati tebal dinding. Gambar Diagram kotak peralatan sistem sputering RF magnetron Pengujian atom yang terdeposisi pada substrat kaca Uutuk mengetahui apakah atom-atom dati target Zn (unsur 0 tidak dapat diamati dengan XRF karena termasuk unsur ringan, untuk menagamati unsur 0 harus menggunakan EDAX) telah terdeposisi pada substrat kaca maka perlu dilakukan pengujian dengan spektrometer pendar sinar X (XRF). Spektrometer ini adalah untuk analisa unsur suatu bahan berdasarkan pengukuran tenaga dad intensitas sinar X suatu unsusr di dalam bahan basil eksitasi oleh sumber radio isotop. Tenaga siitar X substrat yang terukur dipakai sebagai dasar analisa kualitatip, sedangkan intensitas spektrum sinar X yang terukur dipakai dasar' analisa kuantitatip. Peralatan spektrometer pendar sinar X terdiri dati : detektor Si(li), sumber tegangan tinggi DC, penguat awal dad penguat, penganalisa saluran ganda, sistem pengolah data dad sumber pengektasi dati 109 Cd. Substrat diletakkan di atas sumber radio isotop dad detektor diletakkan di bawah sumber. Radiasi sumber radio isotop terhadap substrat akan menimbulkan siitar X, sinar X iiti akan mengenai detektor yang akan menghasilkan sinyal. Sinyal ini dimasukkan di dalam saluran penganalisa saluran ganda yang berfungsi untuk memisahkan sinyal menurut tinggi tenaga sinar X yang dihasilkan oleh substrat. Pada tiitggi siityal tertentu dicatat cacahnya pacta Domer saluran tertentu dad ini ditampilkan pacta layar penganalisa saluran ganda sebagai spektrum sinar X. Data ini kemudian dikeluarkan melalui printer atau perekam XY, dimana di dalam gambar perekam XY akan menunjukkan tinggi sinyal unsur yang terkandung dalam substrat. HASIL DAN PEMBAHASAN Dalam penelitian yang dilakukan, cuplikan yang dideposisi dengan lapisan tipis adalah substrat kaca yang acta di pasaran. Untuk mendapatkan laju deposisi lapisan tipis ZnO yang paling baik dilakukan variasi suhu substrat, peningkatan waktu deposisi dad daya RF serta variasi medan magnet. Dalam teknik sputering, ion dati gas argon yang terionisasi oleh tegangan RF mempunyai tenaga yang cukup besar untuk menumbuk dad melepaskan atom pacta target ZnO. Sebagian atom dati target ZnO akan terpecik ke substrat kaca. Ion dari target ini masih mempnyai tenaga yang cukup untuk menumbuk dan sebagian menyisip dad menggeser atom substrat. Dengan demikian akan terbentuk lapisan tipis ZnO yang terikat dengan kuat pacta permukaan substrat. Dilakukan variasi suhu karena dengan meningkatnya suhu, maka akan meningkatkan getaran atom pacta substrat, sehingga akan menaikkan proses difusi ion Zn dad 0 masuk lebih dalam pacta susunan atom substrat.. Dilakukan Yunanto, dkk. ISSN
4 Prosiding Pertemuan don Presentasi l/miah P3TM-BAT:1~'Y!fYakarta Juli 199~ Buku I jumlah partikel dan jumlah tumbukan antara ion argon. Tumbukan ion argon ini akan meningkatkan arus ion yang akhirnya akan menambah tenaga ion argon untuk menumbuk target ZnO.. Tetapi semakin tinggi medan magnet penambahan jumlah cacah relatip kecil hal ini kemungkinan sudah terjadi kejenuhan. Perubahan struktur mikro yang terjadi dapat dilihat pada gambar 3, yaitu dengan photo SEM. Dengan melihat penampang melintang kaca yang dideposisi dengan lapisan tips ZnO, terlihat adanya lapisan tipis yang berbeda dengan substrat ditandai dengan garis tipis gelap dan udara yang tampak gelap. Lapisan tipis ini merupakan indikasi dari terbentuknya lapisan tipis ZnO. Pada gambar 3 dan 4 terlihat adanya perubahan ketebalan lapisan tipis dari 0,9 f.tm menjadi 1.3 f.tm. Pada gambar 3 adalah gambar tebal lapisan tipis yang dihasilkan oleh sputering RF dan gambar 4 adalah gambar ketebalan yang dihasilkan oleh sputering RF magnetron ~ Meden MagMI (0"") Gambar 2 Graflk hubungan antara kuat medan megnet dengan cacah pada XRF untuk 3 macam parameter Peningkatan yang paling tinggi terjadi pada parameter waktu deposisi, yang menghasilkan 288/300 cacah/detik Hal ini disebabkan dengan meningkatnya waktu deposisi semakin banyak atom Zn dan 0 yang terlepas dari target dan menempel pada substrat. Setelah parameter waktu parameter daya RF juga dapat meningkatkan laju deposisi, karena parameter daya RF menentukan tenaga yang menumbuk pada target. Semakin tinggi tenaga yang menumbuk maka semakin banyak atom Zn dan 0 yang terlepas dari target. Sedangkan parameter suhu.paling kecil peningkatan laju deposisinya karena dengan meningkatnya suhu maka jarak antar atom semakin merenggang. Dengan demikian semakin banyak ion Zn yang mengisi kekosongan pada susunan atom substrat. Untuk medan 270 gauss sampai 670 gauss jumlah cacal: meningkat untuk ketiga parameter meningkat semua. Hal ini disebabkan karena dengan meningkatnya medan magnet dimana medan magnet dikenakan tegak lurus terhadap medan listrik maka ion argon akan terjebak didepan elektroda. Dengan demikian ion argon akan berjalan sikloida yang akan menambah Gambar 3 Ketebalan lapisan tipis ZnO yang diukur dengan SEM tanpa medan magnet Gambar 4 Ketebalan lapisan tipis ZnO yang diukur dengan SEM elektroda diberi medan magnet KESIMPULAN Dari basil percobaan yang telah dilakukan dapat diarnbil kesimpulan I. Terjadi peningkatan laju deposisi lapisan tipis Zn, setelah elektroda diberi medan magnet. ISSN Yunanto, dkk.
5 Peningkatan lapisan tipis Zn dengan bertambahnya jumlah cacah unsur Zn dari 115/300 cacah/detik menjadi 288/300 cacah/detik. Sedangkan jumlah atom 0 tidak dapat diamati dengan XRF. Terjadi peningkatan laju deposisi lapisan tipis ZnO, setelah elektroda diberi medan magnet. Peningkatan ketebalan lapisan tipis ZnO yang diperoleh dari 0,9 ~m menjadi 1,3 ~m DAFTARPUSTAKA 1. KONUMA, 'ThinFilm Deposition by Plasma Techniques", Springer Verlag, Berlin, KIYOT AKA W ASA, SHIGERU HA Y AKA W A,"Handbook Sputter Deposition Tecnology", Noyes Publication, New Yersey, 1991 Yunanto " * Ukuran yang menunjukkan laju deposisi ialah dengan meningkatnya ketebalan lapisan tipis ZnO diamati dengan SEM don meningkatnya cacah lapisan tipis Zn yang diamati dengan XRF. * Penmgkatan ketebalan maksimum 44 %. Agus Purwadi * Apakah medan magnet 670 Gauss ini paling optimum?, bagaimana kalau diperbesar lagi apakah kemungkinan peningkatan kualitas laju deposisi, dll akan terjadi? * Ketebalan lapisan tipis meningkat dari 0,9 I.1m menjadi 1,3 I.1m, apakah untuk lapisan tipis semakin tebal semakin bagus kualitasnya, berikan contohnya? 3.RV STUART,"Vacuum Technology, Thin Film Yunanto and Sputtering", Academic Press, Tokyo, 1993 Kuat medan 670 Gauss be/urn optimum, don 4..S.SW ANN,"Magnetron Sputteing", lop hila medan magnet diperbesar lagi Publishing Ltd, 1988 kemungkinan akan jenuh, ha/ ini terlihat do/am S. T. MITSUYU, S. ana, K. WASA,"Structures grafik yang hampir dolor, sehingga and SAW Properties of RF Sputtered Single penambahan /aju deposisi tidak begitu besar. Crystal Film of ZnO on Sppiere", J.Appl. Phys, Lapisan tipis ZnO yang semakin teba/ May, 1980 kemungkinan arah sumbu krista/ ke arah sumbu C semakin besar, sehingga sifat TANYAJAWAB piezoelektriknya semakin kuat, contoh lapisan ZnO untuk membuat pengukur tekanan gas, Djoko SP. tranduser ultrasonik. Bagaimana penelitian lapisan tipis ZnO di Indonesia hila dibandingkan dengan negara maju Apakah sudah pemah dilakukan optimasi terhadap parameter-parameter yang mempengaruhi laju deposisi? Yunanto * Penelitian lapisan tipj's 2nO di Indonesia masih jauh lebih sedikit dibandingkan negara maju. * Sudah pernah dilakukan optimasi terhadap parameter yang mempengaruhi laju deposisi, tetapi masih terbatas misalnya tekanan gas antara torr sampai 1,510-1 torr, daya RF maksimum 120 watt, suhu maksimum 400 DC don jarak elektroda minimum 2,7 cm Sigit Hariyanto * Ukuran yang menunjukkan bahwa laju deposisi itu naik?, biasanya kata 'laju' ada hubungannya dengan kecepatan. * Berapa persen peningkatannya? Sayono * Apa kelebihan pembuatan lapisan tipis dengan sputtering dibanding dengan menggunakan Implantasi terutama dalam hal teknologi Yunanto * Ke/ebihan teknik sputtering da/am membuat /apisan tipis hila dibandingkan dengan Imp/antasi ion ada/ah : tidak me/ibatkan suhu tinggi untuk membuat /apisan tipis dari bahan padat yang mempunyai titik /e/eh yang tinggi, dapat untuk me/apisi cup/ikan yang berbentuk si/inder tanpa harus memutas cup/ikon dan pera/atannya cukup sederhana. Yunanto, dkk. ISSN
BAB II KAJIAN PUSTAKA DAN DASAR TEORI
BAB II KAJIAN PUSTAKA DAN DASAR TEORI 2.1. Kajian Pustaka Marwoto.P., dkk (2007) melakukan penelitian proses penumbuhan film tipis Ga 2 O 3 :Mn dengan mengguakan DC magnetron sputtering dan dilakukan dengan
Lebih terperinciDEPOSISI LAPISAN TIPIS DUA LAPIS ZnO DAN Al UNTUK MEMBUAT SAMBUNGAN P-N DENGAN TEKNIK SPUTTERING
58 ISSN 0216-3128, dkk. DEPOSISI LAPISAN TIPIS DUA LAPIS ZnO DAN Al UNTUK MEMBUAT SAMBUNGAN P-N DENGAN TEKNIK SPUTTERING, Trimardji Atmono, Wirjoadi Puslitbang Teknologi Maju Batan Yogyakarta ABSTRAK DEPOSISI
Lebih terperinciD EPOSISI LAPISAN TIPIS Zn UNTUK LAPISAN PELINDUNG.P ADA Fe DENGAN TEKNIK SPUTTERING
180 ISSN 0216-3128 Yunanto, dkk. D EPOSISI LAPISAN TIPIS Zn UNTUK LAPISAN PELINDUNG.P ADA Fe DENGAN TEKNIK SPUTTERING BENTUK SILINDER Yunanto, BA Tjipto Sujitno, Suprapto,. Sabat Simbolon Puslitbang Teknologi
Lebih terperinciDEPOSISI LAPISAN TIPIS (CdS) TIPE-N DI ATAS LAPISAN TIPIS (CuInSe 2 ) TIPE-P SEBAGAI PENYANGGA UNTUK SEL SURYA CIS
ISSN 1410-6957 DEPOSISI LAPISAN TIPIS (CdS) TIPE-N DI ATAS LAPISAN TIPIS (CuInSe 2 ) TIPE-P SEBAGAI PENYANGGA UNTUK SEL SURYA CIS Wirjoadi, Yunanto, Bambang Siswanto Pusat Teknologi Akselerator dan Proses
Lebih terperinciKARAKTERISASI SIFAT OPTIK LAPISAN TIPIS ZnO:Al PADA SUBSTRAT GELAS UNTUK JENDELA SEL SURYA
GANENDRA, Vol. V, N0.2 ISSN 1410-6957 KARAKTERISASI SIFAT OPTIK LAPISAN TIPIS ZnO:Al PADA SUBSTRAT GELAS UNTUK JENDELA SEL SURYA Wirjoadi, Yunanto, Bambang Siswanto, Sri Sulamdari, Sudjatmoko Puslitbang
Lebih terperinciPENGARUH TEKANAN DAN WAKTU DEPOSISI PADA TEKNIK SPUTTERING TERHADAP TAHANAN DAN REFLEKSIVITAS LAPISAN TIPIS a-si DAN Ag
GANENDRA, Vol. V, N0.2 ISSN 1410-6957 PENGARUH TEKANAN DAN WAKTU DEPOSISI PADA TEKNIK SPUTTERING TERHADAP TAHANAN DAN REFLEKSIVITAS LAPISAN TIPIS a-si DAN Ag Yunanto, Sudjatmoko, Trimardji Atmono, Wirjoadi
Lebih terperinciDEPOSISI LAPISAN TIPIS (CdS) TIPE-N DIATAS LAPISAN TIPIS (CuInSe 2 ) TIPE-P SEBAGAI PENYANGGA UNTUK SEL SURYA CIS
250 ISSN 0216-3128 Wirjoadi, dkk. DEPOSISI LAPISAN TIPIS (CdS) TIPE-N DIATAS LAPISAN TIPIS (CuInSe 2 ) TIPE-P SEBAGAI PENYANGGA UNTUK SEL SURYA CIS Wirjoadi, Yunanto, Bambang Siswanto Pusat Teknologi Akselerator
Lebih terperinciRekayasa Bahan untuk Meningkatkan Daya Serap Terhadap Gelombang Elektromagnetik dengan Matode Deposisi Menggunakan Lucutan Korona
Rekayasa Bahan untuk Meningkatkan Daya Serap Terhadap Gelombang Elektromagnetik dengan Matode Deposisi Menggunakan Lucutan Korona Vincensius Gunawan.S.K Laboratorium Fisika Zat Padat, Jurusan Fisika, Universitas
Lebih terperinciDEPOSISI LAPISAN TIPIS ZnO:Al PADA SUBSTRAT ALUMINA UNTUK BAHAN SENSOR GAS
ISSN 1410-6957 DEPOSISI LAPISAN TIPIS ZnO:Al PADA SUBSTRAT ALUMINA UNTUK BAHAN SENSOR GAS Sayono, Tjipto Sujitno Pusat Teknologi Akselerator dan Proses Bahan - BATAN Toto Trikasjono Sekolah Tinggi Teknologi
Lebih terperinciPENGARUH DEPOSISI BAHAN STAINLESS STEEL (SS) AUSTENITIK TERHADAP SIFAT MEKANIK ALUMINIUM (Al)
, dkk. ISSN 0216-3128 49 PENGARUH DEPOSISI BAHAN STAINLESS STEEL (SS) AUSTENITIK TERHADAP SIFAT MEKANIK ALUMINIUM (Al), Tjipto Suyitno, Bambang Siswanto, Sudjatmoko Puslitbang Teknologi Maju, Batan ABSTRAK
Lebih terperinciKarakterisasi XRD. Pengukuran
11 Karakterisasi XRD Pengukuran XRD menggunakan alat XRD7000, kemudian dihubungkan dengan program dikomputer. Puncakpuncak yang didapatkan dari data pengukuran ini kemudian dicocokkan dengan standar difraksi
Lebih terperinciDETEKTOR RADIASI INTI. Sulistyani, M.Si.
DETEKTOR RADIASI INTI Sulistyani, M.Si. Email: sulistyani@uny.ac.id Konsep Dasar Alat deteksi sinar radioaktif atau sistem pencacah radiasi dinamakan detektor radiasi. Prinsip: Mengubah radiasi menjadi
Lebih terperinciPENUMBUHAN FILM TIPIS SEMIKONDUKTOR
PENUMBUHAN FILM TIPIS SEMIKONDUKTOR Penumbuhan film tipis semikonduktor di atas substrat dapat dilakukan secara epitaksi. Dalam bahasa yunani epi berarti di atas dan taksial berarti menyusun dengan kata
Lebih terperinciPembuatan Sel Surya Film Tipis dengan DC Magnetron Sputtering
Pembuatan Sel Surya Film Tipis dengan DC Magnetron Sputtering Desty Anggita Tunggadewi 1, Fitria Hidayanti 1 1 Program Studi Teknik Fisika, Fakultas Teknik dan Sains, Universitas Nasional dtunggadewi@yahoo.co.id,
Lebih terperinciPENGARUH SUHU DEPOSISI LAPISAN TIPIS TiN TERHADAP SIFAT MEKANIK METAL HASIL PLASMA SPUTTERING
138 ISSN 0216-3128 Wirjoadi, dkk. PENGARUH SUHU DEPOSISI LAPISAN TIPIS TiN TERHADAP SIFAT MEKANIK METAL HASIL PLASMA SPUTTERING Wirjoadi, Bambang Siswanto, Sudjatmoko Pusat Teknologi Akselerator dan Proses
Lebih terperinciSIFAT OPTIK STRUKTUR KRISTAL DAN STRUKTUR MIKRO LAPISAN TIPIS ZnO:Al PADA SUBSTRAT KACA SEBAGAI BAHAN TCO
Wirjoadi, dkk. ISSN 0216-3128 369 SIFAT OPTIK STRUKTUR KRISTAL DAN STRUKTUR MIKRO LAPISAN TIPIS ZnO:Al PADA SUBSTRAT KACA SEBAGAI BAHAN TCO Wirjoadi, Bambang Siswanto Pusat Teknologi Akselerator dan Proses
Lebih terperinciSIFAT OPTIK, STRUKTUR KRISTAL DAN STRUKTUR MIKRO LAPISAN TIPIS ZnO:Al PADA SUBSTRAT KACA SEBAGAI BAHAN TCO
ISSN 1410-6957 SIFAT OPTIK, STRUKTUR KRISTAL DAN STRUKTUR MIKRO LAPISAN TIPIS ZnO:Al PADA SUBSTRAT KACA SEBAGAI BAHAN TCO Wirjoadi, Bambang Siswanto Pusat Teknologi Akselerator dan Proses Bahan, BATAN
Lebih terperinciDEPOSISI LAPISAN TIPIS ZnO:Al PADA SUBSTRAT ALUMINA UNTUK BAHAN SENSOR GAS
Sayono, dkk. ISSN 0216-3128 263 DEPOSISI LAPISAN TIPIS ZnO:Al PADA SUBSTRAT ALUMINA UNTUK BAHAN SENSOR GAS Sayono, Tjipto Sujitno PTAPB - BATAN Toto Trikasjono STTN - BATAN ABSTRAK DEPOSISI LAPISAN TIPIS
Lebih terperinciPENGARUH KONSENTRASI BORON TERHADAP SIFAT LISTRIK LAPISAN TIPIS (a-si:h:b)
ISSN 1410-6951 PENGARUH KONSENTRASI BORON TERHADAP SIFAT LISTRIK LAPISAN TIPIS (a-si:h:b) Bambang Siswanto, Wirjoadi, Sudjatmoko Puslitbang Teknologi Maju Batan Yogyakarta Jl. Babarsari Kotak Pos 6101
Lebih terperinciPEMBUATAN LAPISAN TIPIS SILIKON AMORF TERHIDROGENASI (a-si:h) UNTUK BAHAN SEL SURYA
GANENDRA, Vol.VI, N0.1 ISSN 1410-6957 PEMBUATAN LAPISAN TIPIS SILIKON AMORF TERHIDROGENASI (a-si:h) UNTUK BAHAN SEL SURYA Wirjoadi, Sudjatmoko, Yunanto, Bambang Siswanto, Sri Sulamdari Puslibang Teknologi
Lebih terperinciD. 30 newton E. 70 newton. D. momentum E. percepatan
1. Sebuah benda dengan massa 5 kg yang diikat dengan tali, berputar dalam suatu bidang vertikal. Lintasan dalam bidang itu adalah suatu lingkaran dengan jari-jari 1,5 m Jika kecepatan sudut tetap 2 rad/s,
Lebih terperinciPENGERASAN PERMUKAAN BAJA ST 40 DENGAN METODE CARBURIZING PLASMA LUCUTAN PIJAR
PENGERASAN PERMUKAAN BAJA ST 40 DENGAN METODE CARBURIZING PLASMA LUCUTAN PIJAR BANGUN PRIBADI *, SUPRAPTO **, DWI PRIYANTORO* *Sekolah Tinggi Teknologi Nuklir-BATAN Jl. Babarsari Kotak Pos 1008, DIY 55010
Lebih terperinciEfek doping Al pada sifat optik dan listrik lapisan tipis ZnO hasil deposisi dengan DC sputtering
JURNAL FISIKA DAN APLIKASINYA VOLUME 1, NOMER 1 JANUARI 2005 Efek doping Al pada sifat optik dan listrik lapisan tipis ZnO hasil deposisi dengan DC sputtering SriYaniPurwaningsih, 1 Karyono, 2 dansudjatmoko
Lebih terperinciD. 30 newton E. 70 newton. D. momentum E. percepatan
1. Sebuah benda dengan massa 5 kg yang diikat dengan tali, berputar dalam suatu bidang vertikal. Lintasan dalam bidang itu adalah suatu lingkaran dengan jari-jari 1,5 m Jika kecepatan sudut tetap 2 rad/s,
Lebih terperinciD. 6,25 x 10 5 J E. 4,00 x 10 6 J
1. Besarnya usaha untuk menggerakkan mobil (massa mobil dan isinya adalah 1000 kg) dari keadaan diam hingga mencapai kecepatan 72 km/jam adalah... (gesekan diabaikan) A. 1,25 x 10 4 J B. 2,50 x 10 4 J
Lebih terperinciPERALATAN GELOMBANG MIKRO
5 6 PERALATAN GELOMBANG MIKRO dipancarkan gelombang mikro. Berikut dibicarakan sistem pembangkit gelombang mikro yang umum digunakan, mulai yang sederhana yaitu: klystron, magnetron, maser dan TWTA. 4.1.1
Lebih terperinciBAB III METODE PENELITIAN. Penelitian hampir seluruhnya dilakukan di laboratorium Gedung Fisika Material
BAB III METODE PENELITIAN Metode yang dilakukan dalam penelitian ini adalah rancang bangun alat. Penelitian hampir seluruhnya dilakukan di laboratorium Gedung Fisika Material Pusat Teknologi Nuklir Bahan
Lebih terperinciHASIL DAN PEMBAHASAN. Struktur Karbon Hasil Karbonisasi Hidrotermal (HTC)
39 HASIL DAN PEMBAHASAN Struktur Karbon Hasil Karbonisasi Hidrotermal (HTC) Hasil karakterisasi dengan Difraksi Sinar-X (XRD) dilakukan untuk mengetahui jenis material yang dihasilkan disamping menentukan
Lebih terperinciD. I, U, X E. X, I, U. D. 5,59 x J E. 6,21 x J
1. Bila sinar ultra ungu, sinar inframerah, dan sinar X berturut-turut ditandai dengan U, I, dan X, maka urutan yang menunjukkan paket (kuantum) energi makin besar ialah : A. U, I, X B. U, X, I C. I, X,
Lebih terperinciKARAKTERISASI SIFAT OPTIK LAPISAN TIPIS a-si:h:b UNTUK BAHAN SEL SURYA
ISSN 40-695 KARAKTERISASI SIFAT OPTIK LAPISAN TIPIS a-si:h:b UNTUK BAHAN SEL SURYA Bambang Siswanto, Wirjoadi, Tri Mardji Atmono, Yunanto Puslitbang Teknologi Maju Batan Yogayakarta Jl. Babarsari Kotak
Lebih terperinciInterferometer Fabry Perot : Lapisan optis tipis, holografi.
Interferometer Fabry Perot : Lapisan optis tipis, holografi. KELOMPOK 2 Anggota : Amry Priswanto 135090807111001 Achmad Ainul Yaqin 135090301111014 Aulia Ainur Rohmah 135090301111028 Talitha Dea Ambarwati
Lebih terperinciBAB I PENDAHULUAN. Indonesia merupakan negara berkembang yang berada dikawasan Asia
BAB I PENDAHULUAN A. Latar Belakang Masalah Indonesia merupakan negara berkembang yang berada dikawasan Asia Tenggara. Sebagai negara berkembang, Indonesia melakukan swasembada diberbagai bidang, termasuk
Lebih terperinciDEPOSISI LAPISAN TIPIS ZoO P ADA SILIKON UNTUK MEMBUA T DIODE DENGAN TEKNIK SPUTTERING
Proseding Pertemuan don Presentasi Ilmiah P3TM -BATAN. Yogyakarta 25.26 Juli looo Buku I DEPOSISI LAPISAN TIPIS ZoO P ADA SILIKON UNTUK MEMBUA T DIODE DENGAN TEKNIK SPUTTERING Yunanto, Trimardji Atmono,
Lebih terperinciSOAL SELEKSI PENERIMAAN MAHASISWA BARU (BESERA PEMBAHASANNYA) TAHUN 1984
SOAL SELEKSI PENERIMAAN MAHASISWA BARU (BESERA PEMBAHASANNYA) TAHUN 1984 BAGIAN KEARSIPAN SMA DWIJA PRAJA PEKALONGAN JALAN SRIWIJAYA NO. 7 TELP (0285) 426185) 1. Besarnya usaha untuk menggerakkan mobil
Lebih terperinciSIFAT MEKANIK DAN STRUKTUR MIKRO LAPISAN TIPIS NITRIDA BESI YANG DIDEPOSISIKAN PADA ROLL BEARING DENGAN TEKNIK SPUTTERING
150 ISSN 0216-3128 Wirjoadi., dkk. SIFAT MEKANIK DAN STRUKTUR MIKRO LAPISAN TIPIS NITRIDA BESI YANG DIDEPOSISIKAN PADA ROLL BEARING DENGAN TEKNIK SPUTTERING Wirjoadi, Elin Nuraini, Ihwanul Aziz, Bambang
Lebih terperinciPENGARUH SUHU SUBSTRAT DAN WAKTU DEPOSISI TERHADAP STRUKTUR MIKRO LAPISAN FeN PADA RODA GIGI
Bambang Siswanto, dkk. ISSN 0216-3128 129 PENGARUH SUHU SUBSTRAT DAN WAKTU DEPOSISI TERHADAP STRUKTUR MIKRO LAPISAN FeN PADA RODA GIGI Bambang Siswanto, Wirjoadi, Sudjatmoko Pustek Akselerator dan Proses
Lebih terperinciSOAL UN FISIKA DAN PENYELESAIANNYA 2005
2. 1. Seorang siswa melakukan percobaan di laboratorium, melakukan pengukuran pelat tipis dengan menggunakan jangka sorong. Dari hasil pengukuran diperoleh panjang 2,23 cm dan lebar 36 cm, maka luas pelat
Lebih terperinciA. 100 N B. 200 N C. 250 N D. 400 N E. 500 N
1. Sebuah lempeng besi tipis, tebalnya diukur dengan menggunakan mikrometer skrup. Skala bacaan hasil pengukurannya ditunjukkan pada gambar berikut. Hasilnya adalah... A. 3,11 mm B. 3,15 mm C. 3,61 mm
Lebih terperinciARSIP SOAL UJIAN NASIONAL FISIKA (BESERA PEMBAHASANNYA) TAHUN 1995
ARSIP SOAL UJIAN NASIONAL FISIKA (BESERA PEMBAHASANNYA) TAHUN 1995 BAGIAN KEARSIPAN SMA DWIJA PRAJA PEKALONGAN JALAN SRIWIJAYA NO. 7 TELP (0285) 426185) 1. Sebuah pita diukur, ternyata lebarnya 12,3 mm
Lebih terperinciPENGARUH KOMPOSISI GAS SPUTER OKSIGEN + ARGON TERHADAP ORIENT ASI SUMBU KRIST AL LAPISAN TIPIS ZoO
PENGARUH KOMPOSISI GAS SPUTER OKSIGEN + ARGON TERHADAP ORIENT ASI SUMBU KRIST AL LAPISAN TIPIS ZoO, Suryadi, Yunanto, Widdi Usada, Wirjoadi P3TM-Batan, Katak Pas 1008, Yagyakarta 55010 ABSTRAK PENGARUH
Lebih terperinciPEMBUATAN TABUNG DETEKTOR GEIGER MULLER TIPE JENDELA SAMPING
PEMBUATAN TABUNG DETEKTOR GEIGER MULLER TIPE JENDELA SAMPING Tony Rahardjo, Sumber W, Bambang L. -BATAN, Babarsari Yogyakarta 55281 Email:ptapb@batan.go.id ABSTRAK PEMBUATAN TABUNG DETEKTOR GEIGER MULLER
Lebih terperinciFisika UMPTN Tahun 1986
Fisika UMPTN Tahun 986 UMPTN-86-0 Sebuah benda dengan massa kg yang diikat dengan tali, berputar dalam suatu bidang vertikal. Lintasan dalam bidang itu adalah suatu lingkaran dengan jari-jari, m. Jika
Lebih terperinciTransducer merupakan suatu perangkat / alat yang dapat merobah suatu besaran menjadi besaran lain, atau sebaliknya.
III. TRANSDUCER III.1. PENGERTIAN DAN MACAM TRANSDUCER Transducer merupakan suatu perangkat / alat yang dapat merobah suatu besaran menjadi besaran lain, atau sebaliknya. BESARAN NON LISTRIK TRANSDUCER
Lebih terperinciFISIKA 2015 TIPE C. gambar. Ukuran setiap skala menyatakan 10 newton. horisontal dan y: arah vertikal) karena pengaruh gravitasi bumi (g = 10 m/s 2 )
No FISIKA 2015 TIPE C SOAL 1 Sebuah benda titik dipengaruhi empat vektor gaya yang setitik tangkap seperti pada gambar. Ukuran setiap skala menyatakan 10 newton. Besar resultan gayanya adalah. A. 60 N
Lebih terperinciPENGARUH DOPING INDIUM TERHADAP SENSITIVITAS SENSOR GAS DARI LAPISAN TIPIS SnO 2
Suharni, dkk. ISSN 0216-3128 33 PENGARUH DOPING INDIUM TERHADAP SENSITIVITAS SENSOR GAS DARI LAPISAN TIPIS SnO 2 Suharni dan Sayono Pusat Teknologi Akselerator dan Proses Bahan-BATAN ABSTRAK PENGARUH DOPING
Lebih terperinciFisika EBTANAS Tahun 1993
Fisika EBTANA Tahun 1993 EBTANA-93-01 Dimensi konstanta pegas adalah A. L T 1 B. M T C. M L T 1 D. M L T M L T 1 EBTANA-93-0 Perhatikan kelima grafik hubungan antara jarak a dan waktu t berikut ini. t
Lebih terperinciPEMERINTAH KABUPATEN LOMBOK UTARA DINAS PENDIDIKAN PEMUDA DAN OLAHRAGA MUSYAWARAH KERJA KEPALA SEKOLAH (MKKS) SMA TRY OUT UJIAN NASIONAL 2010
PEMERINTAH KABUPATEN LOMBOK UTARA DINAS PENDIDIKAN PEMUDA DAN OLAHRAGA MUSYAWARAH KERJA KEPALA SEKOLAH (MKKS) SMA TRY OUT UJIAN NASIONAL 200 Mata Pelajaran : Fisika Kelas : XII IPA Alokasi Waktu : 20 menit
Lebih terperinciANALISIS PENGARUH ION BORON TERHADAP LISTRIK DAN OPTIK LAPISAN TIPIS ZnO
102 ISSN 0216-3128 Wirjoadi, dkk. ANALISIS PENGARUH ION BORON TERHADAP LISTRIK DAN OPTIK LAPISAN TIPIS ZnO SIFA T Wirjoadi, Yunanto, Bambang Siswanto, Tjipto Suyitno P3TM-BATAN -'" ABSTRAK ANALISIS PENGARUH
Lebih terperinciBAB I PENDAHULUAN. Pada saat ini dunia elektronika mengalami kemajuan yang sangat pesat, hal ini
BAB I PENDAHULUAN 1.1 Latar Belakang Pada saat ini dunia elektronika mengalami kemajuan yang sangat pesat, hal ini terlihat dari banyaknya komponen semikonduktor yang digunakan disetiap kegiatan manusia.
Lebih terperinciFisika Ujian Akhir Nasional Tahun 2003
Fisika Ujian Akhir Nasional Tahun 2003 UAN-03-01 Perhatikan tabel berikut ini! No. Besaran Satuan Dimensi 1 Momentum kg. ms 1 [M] [L] [T] 1 2 Gaya kg. ms 2 [M] [L] [T] 2 3 Daya kg. ms 3 [M] [L] [T] 3 Dari
Lebih terperinciBAB II PENGUJIAN-PENGUJIAN PADA MATERIAL
BAB II PENGUJIAN-PENGUJIAN PADA MATERIAL Kekerasan Sifat kekerasan sulit untuk didefinisikan kecuali dalam hubungan dengan uji tertentu yang digunakan untuk menentukan harganya. Harap diperhatikan bahwa
Lebih terperinciBAB IV HASIL PERANCANGAN DAN PABRIKASI
BAB IV HASIL PERANCANGAN DAN PABRIKASI 4.1. Hasil Pembuatan Mesin DC Magnetron Sputtering Mesin DC Magnetron Sputtering yang sudah selesai dibuat dan siap dilakukan pengujian untuk pelapisan pada bahan
Lebih terperinciFisika EBTANAS Tahun 1996
Fisika EBTANAS Tahun 1996 EBTANAS-96-01 Di bawah ini yang merupakan kelompok besaran turunan A. momentum, waktu, kuat arus B. kecepatan, usaha, massa C. energi, usaha, waktu putar D. waktu putar, panjang,
Lebih terperinciARSIP SOAL UJIAN NASIONAL FISIKA (BESERA PEMBAHASANNYA) TAHUN 1996
ARSIP SOAL UJIAN NASIONAL FISIKA (BESERA PEMBAHASANNYA) TAHUN 1996 BAGIAN KEARSIPAN SMA DWIJA PRAJA PEKALONGAN JALAN SRIWIJAYA NO. 7 TELP (0285) 426185) 1. Kelompok besaran berikut yang merupakan besaran
Lebih terperinciEKSPERIMEN UJI PADA DAYA TINGGI DARI HEAD SUMBER ION UNTUK SIKLOTRON
EKSPERIMEN UJI PADA DAYA TINGGI DARI HEAD SUMBER ION UNTUK SIKLOTRON Pusat Teknologi Akselerator dan Proses Bahan, BATAN Jln. Babarsari Kotak Pos 6101 ykbb Yogyakarta 55281 Email: ptapb@batan.go.id ABSTRAK
Lebih terperinciBAB III ANALISIS DATA PEMBUATAN FILM POLIVINILYDENE FLUORIDE SEBAGAI SENSOR PIEZOELEKTRIK
BAB III ANALISIS DATA PEMBUATAN FILM POLIVINILYDENE FLUORIDE SEBAGAI SENSOR PIEZOELEKTRIK 3.1 Prinsip Dasar Eksperimen Seperti telah dijelaskan pada Bab satu, eksperimen pada tugas akhir ini bertujuan
Lebih terperinciDETEKTOR RADIASI. NANIK DWI NURHAYATI, S.Si, M.Si nanikdn.staff.uns.ac.id
DETEKTOR RADIASI NANIK DWI NURHAYATI, S.Si, M.Si nanikdn.staff.uns.ac.id nanikdn@uns.ac.id - Metode deteksi radiasi didasarkan pd hasil interaksi radiasi dg materi: proses ionisasi & proses eksitasi -
Lebih terperinciTEORI DASAR. 2.1 Pengertian
TEORI DASAR 2.1 Pengertian Dioda adalah piranti elektronik yang hanya dapat melewatkan arus/tegangan dalam satu arah saja, dimana dioda merupakan jenis VACUUM tube yang memiliki dua buah elektroda. Karena
Lebih terperinciXpedia Fisika. Optika Fisis - Soal
Xpedia Fisika Optika Fisis - Soal Doc. Name: XPFIS0802 Version: 2016-05 halaman 1 01. Gelombang elektromagnetik dapat dihasilkan oleh. (1) muatan listrik yang diam (2) muatan listrik yang bergerak lurus
Lebih terperinciPEMBAHASAN. a. Pompa Vakum Rotary (The Rotary Vacuum Pump) Gambar 1.10 Skema susunan pompa vakum rotary
PENDAHULUAN Salah satu metode yang digunakan untuk memperoleh lapisan tipis adalah Evaporasi. Proses penumbuhan lapisan pada metode ini dilakukan dalam ruang vakum. Lapisan tipis pada substrat diperoleh
Lebih terperinciBAB III METODOLOGI PENELITIAN. perlakuan panas atau annealing pada lapisan sehingga terbentuk butiran-butiran
BAB III METODOLOGI PENELITIAN 3.1 Metode penelitian Metode penelitian yang digunakan pada penelitian ini adalah eksperimen dengan membuat lapisan tipis Au di atas substrat Si wafer, kemudian memberikan
Lebih terperinciSpektrometer massa A. Garis besar tentang apa yang terjadi dalam alat spektrometer massa Ionisasi Percepatan Pembelokan Pendeteksian
Spektrometer massa A. Garis besar tentang apa yang terjadi dalam alat spektrometer massa Atom dapat dibelokkan dalam sebuah medan magnet (dengan anggapan atom tersebut diubah menjadi ion terlebih dahulu).
Lebih terperinciSOAL SELEKSI PENERIMAAN MAHASISWA BARU (BESERA PEMBAHASANNYA) TAHUN 1993
SOAL SELEKSI PENERIMAAN MAHASISWA BARU (BESERA PEMBAHASANNYA) TAHUN 1993 BAGIAN KEARSIPAN SMA DWIJA PRAJA PEKALONGAN JALAN SRIWIJAYA NO. 7 TELP (0285) 426185) 1. Peluru ditembakkan condong ke atas dengan
Lebih terperinciFisika EBTANAS Tahun 1992
Fisika EBTANAS Tahun 1992 EBTANAS-92-01 Sebuah benda massanya 2 kg jatuh bebas dari puncak gedung bertingkat yang tingginya 100 m. Apabila gesekan dengan udara diabaikan dan g = 10 m s 2 maka usaha yg
Lebih terperinciX-Ray Fluorescence Spectrometer (XRF)
X-Ray Fluorescence Spectrometer (XRF) X-Ray Fluorescence Spectrometer (XRF) Philips Venus (Picture from http://www.professionalsystems.pk) Alat X-Ray Fluorescence Spectrometer (XRF) memanfaatkan sinar
Lebih terperinciRANCANG BANGUN SISTEM RF UNTUK SUMBER ION GENERATOR NEUTRON SAMES J-25
Taufik, dkk. ISSN 016-318 7 RANCANG BANGUN SISTEM RF UNTUK SUMBER ION GENERATOR NEUTRON SAMES J-5 Taufik, Slamet Santosa Pusat Teknologi Akselerator dan Proses Bahan BATAN ABSTRAK RANCANG BANGUN SISTEM
Lebih terperinciLAPORAN RESMI PRAKTEK KERJA LABORATORIUM 1
LAPORAN RESMI PRAKTEK KERJA LABORATORIUM 1 KODE: L - 4 JUDUL PERCOBAAN : ARUS DAN TEGANGAN PADA LAMPU FILAMEN TUNGSTEN DI SUSUN OLEH: TIFFANY RAHMA NOVESTIANA 24040110110024 LABORATORIUM FISIKA DASAR FAKULTAS
Lebih terperinciANALISIS STRUKTUR MIKRO DAN SIFAT MEKANIK LAPISAN NiCr-Al YANG DIBENTUK DENGAN METODE SPUTTERING PADA BAJA ST 40
ANALISIS STRUKTUR MIKRO DAN SIFAT MEKANIK LAPISAN NiCr-Al YANG DIBENTUK DENGAN METODE SPUTTERING PADA BAJA ST 40 TESIS Diajukan Kepada Program Studi Magister Teknik Mesin Sekolah Pascasarjana Universitas
Lebih terperinciSOAL OLIMPIADE SAINS NASIONAL SMP SELEKSI TINGKAT KABUPATEN/KOTA TAHUN 2007
SOAL OLIMPIADE SAINS NASIONAL SMP SELEKSI TINGKAT KABUPATEN/KOTA TAHUN 2007 Tes Pilihan Ganda Petunjuk: Pilihlah salah satu opsi jawaban yang paling benar, dengan cara memberikan tanda silang (X) pada
Lebih terperinciD. 80,28 cm² E. 80,80cm²
1. Seorang siswa melakukan percobaan di laboratorium, melakukan pengukuran pelat tipis dengan menggunakan jangka sorong. Dari hasil pengukuran diperoleh panjang 2,23 cm dan lebar 36 cm, maka luas pelat
Lebih terperinciUN SMA IPA 2009 Fisika
UN SMA IPA 009 isika Kode Soal P88 Doc. Version : 0-06 halaman 0. itria melakukan perjalanan napak tilas dimulai dari titik A ke titik B : 600 m arah utara; ke titik C 400 m arah barat; ke titik D 00 m
Lebih terperinci4 Hasil dan Pembahasan
4 Hasil dan Pembahasan 4.1 Sintesis Padatan TiO 2 Amorf Proses sintesis padatan TiO 2 amorf ini dimulai dengan melarutkan titanium isopropoksida (TTIP) ke dalam pelarut etanol. Pelarut etanol yang digunakan
Lebih terperinciLatihan Soal UN Fisika SMA. 1. Dimensi energi potensial adalah... A. MLT-1 B. MLT-2 C. ML-1T-2 D. ML2 T-2 E. ML-2T-2
Latihan Soal UN Fisika SMA 1. Dimensi energi potensial adalah... A. MLT-1 B. MLT-2 ML-1T-2 ML2 T-2 ML-2T-2 2. Apabila tiap skala pada gambar di bawah ini = 2 N, maka resultan kedua gaya tersebut adalah...
Lebih terperinciUJIAN NASIONAL TP 2008/2009
UJIN NSIONL TP 2008/2009 1. aim mengukur diameter sebuah koin dengan menggunakan jangka sorong seperti pada gambar. esar diameter koin adalah. 1 2 a. 2,10 cm b. 1,74 cm c. 1,70 cm d. 1,25 cm e. 1,20 cm
Lebih terperinciANALISIS SIFAT FISIK LAPISAN TIPIS TITANIUM NITRIDA PADA BAJA AISI 410 YANG DILAPIS DENGAN METODE SPUTTERING
Analisis Sifat Fisik Lapisan Tipis Titanium Nitrida ANALISIS SIFAT FISIK LAPISAN TIPIS TITANIUM NITRIDA PADA BAJA AISI 410 YANG DILAPIS DENGAN METODE SPUTTERING Xander Salahudin Program Studi Teknik Mesin,
Lebih terperinciPENGARUH DOPING EMAS DAN PERLAKUAN ANIL PADA SENSITIVITAS LAPISAN TIPIS SnO 2 UNTUK SENSOR GAS CO
PENGARUH DOPING EMAS DAN PERLAKUAN ANIL PADA SENSITIVITAS LAPISAN TIPIS SnO 2 UNTUK SENSOR GAS CO Almunawar Khalil 1*, Sri Yani Purwaningsih 2, Darminto 3 Jurusan Fisika, Institut Teknologi Sepuluh Nopember
Lebih terperinciMata Pelajaran : FISIKA
Mata Pelajaran : FISIKA Kelas/ Program : XII IPA Waktu : 90 menit Petunjuk Pilihlah jawaban yang dianggap paling benar pada lembar jawaban yang tersedia (LJK)! 1. Hasil pengukuran tebal meja menggunakan
Lebih terperinciBAB GELOMBANG ELEKTROMAGNETIK
BAB GELOMBANG ELEKTROMAGNETIK I. SOAL PILIHAN GANDA Diketahui c = 0 8 m/s; µ 0 = 0-7 Wb A - m - ; ε 0 = 8,85 0 - C N - m -. 0. Perhatikan pernyataan-pernyataan berikut : () Di udara kecepatannya cenderung
Lebih terperinciPR ONLINE MATA UJIAN: FISIKA (KODE A07)
PR ONLINE MATA UJIAN: FISIKA (KODE A07) 1. Gambar di samping ini menunjukkan hasil pengukuran tebal kertas karton dengan menggunakan mikrometer sekrup. Hasil pengukurannya adalah (A) 4,30 mm. (D) 4,18
Lebih terperinciBAB 3 METODOLOGI PENELITIAN
BAB 3 METODOLOGI PENELITIAN 3.1. Metode penelitian Metode yang digunakan pada penelitian ini adalah metode eksperimen murni. Eksperimen dilakukan untuk mengetahui pengaruh frekuensi medan eksitasi terhadap
Lebih terperinciUN SMA IPA 2008 Fisika
UN SMA IPA 008 Fisika Kode Soal P67 Doc. Version : 0-06 halaman 0. Tebal pelat logam diukur dengan mikrometer skrup seperti gambar Tebal pelat logam adalah... (A) 4,8 mm (B) 4,90 mm (C) 4,96 mm (D) 4,98
Lebih terperinciARSIP SOAL UJIAN NASIONAL FISIKA (BESERA PEMBAHASANNYA) TAHUN 1994
ARSIP SOAL UJIAN NASIONAL FISIKA (BESERA PEMBAHASANNYA) TAHUN 1994 BAGIAN KEARSIPAN SMA DWIJA PRAJA PEKALONGAN JALAN SRIWIJAYA NO. 7 TELP (0285) 426185) 1. Dua buah bola A dan B dengan massa m A = 3 kg;
Lebih terperinciGambar 11 Sistem kalibrasi dengan satu sensor.
7 Gambar Sistem kalibrasi dengan satu sensor. Besarnya debit aliran diukur dengan menggunakan wadah ukur. Wadah ukur tersebut di tempatkan pada tempat keluarnya aliran yang kemudian diukur volumenya terhadap
Lebih terperinciUN SMA IPA 2008 Fisika
UN SMA IPA 2008 Fisika Kode Soal P67 Doc. Name: UNSMAIPA2008FISP67 Doc. Version : 2011-06 halaman 1 01. Tebal pelat logam diukur dengan mikrometer skrup seperti gambar Tebal pelat logam adalah... (A) 4,85
Lebih terperinciBAB III METODOLOGI PERANCANGAN DAN PABRIKASI
BAB III METODOLOGI PERANCANGAN DAN PABRIKASI Dalam bab ini membahas tentang segala sesuatu yang berkaitan langsung dengan penelitian seperti: tempat serta waktu dilakukannya penelitian, alat dan bahan
Lebih terperinciLUQMAN KUMARA Dosen Pembimbing :
Efek Polaritas dan Fenomena Stres Tegangan Sebelum Kegagalan Isolasi pada Sela Udara Jarum-Plat LUQMAN KUMARA 2205 100 129 Dosen Pembimbing : Dr.Eng I Made Yulistya Negara, ST,M.Sc IG Ngurah Satriyadi
Lebih terperinciPREDIKSI 8 1. Tebal keping logam yang diukur dengan mikrometer sekrup diperlihatkan seperti gambar di bawah ini.
PREDIKSI 8 1. Tebal keping logam yang diukur dengan mikrometer sekrup diperlihatkan seperti gambar di bawah ini. Dari gambar dapat disimpulkan bahwa tebal keping adalah... A. 4,30 mm B. 4,50 mm C. 4,70
Lebih terperinciSOAL BABAK PEREMPAT FINAL OLIMPIADE FISIKA UNIVERSITAS NEGERI SEMARANG
SOAL BABAK PEREMPAT FINAL OLIMPIADE FISIKA UNIVERSITAS NEGERI SEMARANG Tingkat Waktu : SMP/SEDERAJAT : 100 menit 1. Jika cepat rambat gelombang longitudinal dalam zat padat adalah = y/ dengan y modulus
Lebih terperinciPENGARUH KANDUNGAN In PADA LAPISAN TIPIS TCO (ZnO:In) TERHADAP TEGANGAN FOTOVOLTAIK SEL SURYA CIS. Uminingsih Fakultas Sains Terapan IST AKPRIND
PENGARUH KANDUNGAN In PADA LAPISAN TIPIS TCO (ZnO:In) TERHADAP TEGANGAN FOTOVOLTAIK SEL SURYA CIS Uminingsih Fakultas Sains Terapan IST AKPRIND Yunanto, dan Darsono Pusat Teknologi Akselerator dan Proses
Lebih terperinciOPERASI MESIN BERKAS ELEKTRON (MBE) PTAPB BATAN TIPE BA 350 kev / 10 ma
OPERASI MESIN BERKAS ELEKTRON (MBE) PTAPB BATAN TIPE BA 350 kev / 10 ma A. PENDAHULUAN Pada umumnya suatu instrumen atau alat (instalasi nuklir) yang dibuat dengan didesain atau direncanakan untuk dapat
Lebih terperinciPengukuran RESISTIVITAS batuan.
Pengukuran RESISTIVITAS batuan. Resistivitas adalah kemampuan suatu bahan atau medium menghambat arus listrik. Pengukuran resistivitas batuan merupakan metode AKTIF, yaitu pengukuran dengan memberikan
Lebih terperinciDESAIN DAN PERAKITAN ALAT KONTROL TEMPERATUR UNTUK PERALATAN NITRIDASI PLASMA ABSTRAK ABSTRACT
DESAIN DAN PERAKITAN ALAT KONTROL TEMPERATUR UNTUK PERALATAN NITRIDASI PLASMA Rohmad Salam Pusat Teknologi Bahan Industri Nuklir ABSTRAK DESAIN DAN PERAKITAN ALAT KONTROL TEMPERATUR UNTUK PERALATAN NITRIDASI
Lebih terperinciD. massa E. volume. D. mhv E. h/(mv) 3. Warna-warna yang tampak pada gelembung sabun menunjukkan gejala : A. diraksi B. refraksi C.
1. Besaran-besaran dibawah ini yang TIDAK merupakan besaran turunan adalah : A. momentum B. kecepatan C. gaya D. massa E. volume 2. Sebuah partikel yang mempunyai massa m bergerak dengan kecepatan v. Jika
Lebih terperinciUN SMA IPA 2013 Fisika
UN SMA IPA 2013 Fisika Kode Soal Doc. Name: UNSMAIPA2013FIS Doc. Version : 2013-05 halaman 1 01. Seorang siswa mengukur ketebalan buku menggunakan mikrometer sekrup yang ditunjukkan pada gambar. Hasil
Lebih terperinciWardaya College. Tes Simulasi Ujian Nasional SMA Berbasis Komputer. Mata Pelajaran Fisika Tahun Ajaran 2017/2018. Departemen Fisika - Wardaya College
Tes Simulasi Ujian Nasional SMA Berbasis Komputer Mata Pelajaran Fisika Tahun Ajaran 2017/2018-1. Hambatan listrik adalah salah satu jenis besaran turunan yang memiliki satuan Ohm. Satuan hambatan jika
Lebih terperinciSIMAK UI Fisika
SIMAK UI 2016 - Fisika Soal Halaman 1 01. Fluida masuk melalui pipa berdiameter 20 mm yang memiliki cabang dua pipa berdiameter 10 mm dan 15 mm. Pipa 15 mm memiliki cabang lagi dua pipa berdiameter 8 mm.
Lebih terperinciUN SMA IPA 2008 Fisika
UN SMA IPA 008 Fisika Kode Soal P44 Doc. Name: UNSMAIPA008FISP44 Doc. Version : 011-06 halaman 1 01. Berikut ini disajikan diagram vektor F 1 dan F! Persamaan yang tepat untuk resultan R = adalah... (A)
Lebih terperinciBAB I PENDAHULUAN. 1.1 Latar Belakang
BAB I PENDAHULUAN 1.1 Latar Belakang Peristiwa peluahan sebagian (PD) merupakan sebuah fenomena yang menjadi penyebab kerusakan atau penuaan sistem isolasi listrik. PD menyebabkan degradasi atau penurunan
Lebih terperinciKata kunci : DLC, plasma carburizing, roller rantai.
PENGERASAN PERMUKAAN ROLLER RANTAI DENGAN METODE PLASMA CARBURIZING DARI CAMPURAN GAS He DAN CH 4 PADA TEKANAN 1,6 mbar Dwi Priyantoro 1, Tjipto Sujitno 2, Bangun Pribadi 1, Zuhdi Arif Ainun Najib 1 1)
Lebih terperinciBAB I PENDAHULUAN. 1.1 Latar Belakang
BAB I PENDAHULUAN 1.1 Latar Belakang Konstanta dielektrik adalah perbandingan nilai kapasitansi kapasitor pada bahan dielektrik dengan nilai kapasitansi di ruang hampa. Konstanta dielektrik atau permitivitas
Lebih terperinci