BAB III METODOLOGI. A. Metodologi Penelitian

dokumen-dokumen yang mirip
BAB I PENDAHULUAN. A. Latar Belakang

PENUMBUHAN LAPISAN FILM TEBAL AG, PD/AG, DAN AU DENGAN MENGGUNAKAN METODE SCREEN PRINTING YANG DIAPLIKASIKAN SEBAGAI MIKROSTRIP BANDPASS FILTER

BAB III METODOLOGI PENELITIAN. oksidasi yang dilakukan dengan metode OM ( Optic Microscope) dan

BAB III METODOLOGI. Metodologi penelitian yang digunakan oleh penulis dalam penelitian ini yaitu. Waktu pelaksanaan : Januari September 2012

METODE PENELITIAN. Penelitian dilaksanakan terhitung sejak bulan Desember 2014 sampai dengan Mei

BAB III METODOLOGI PENELITIAN

BAB III METODOLOGI PENELITIAN. Untuk mendapatkan jawaban dari permasalahan penelitian ini maka dipilih

BAB III METODOLOGI PENELITIAN. Metode yang digunakan dalam penelitian ini adalah metoda eksperimen.

BAB III METODOLOGI. 3.1 Metode Penelitian. Dalam melakukan penelitian, penulis menggunakan metode Eksperimen. murni. 3.2 Desain Penelitian

III. METODE PENELITIAN. Penelitian dilaksanakan pada bulan Juni 2013 sampai selesai. Penelitian dilakukan

BAB III METODOLOGI PENELITIAN. Metode penelitian yang digunakan pada penelitian ini adalah

BAB 3 Metode Penelitian

BAB III METODOLOGI PENELITIAN. perlakuan panas atau annealing pada lapisan sehingga terbentuk butiran-butiran

BAB III METODOLOGI PENELITIAN. Identifikasi dan Perumusan Masalah

III. METODE PENELITIAN. preparsai sampel dan pembakaran di furnace di Laboratorium Fisika Material

BAB III METODE PENELITIAN. Penelitian ini dilakukan di Laboratorium Riset Kimia dan Laboratorium

III. METODE PENELITIAN. Tempat pelaksanaan penelitian sebagai berikut: 2. Pengujian kekuatan tarik di Institute Teknologi Bandung (ITB), Jawa Barat.

Bab III Metodologi Penelitian

III. METODE PENELITIAN. Penelitian dilaksanakan pada bulan April sampai bulan Agustus Penelitian

III. METODE PENELITIAN. Dalam penelitian ini dilakukan pengujian oksidasi baja AISI 4130 pada

BAB III METODOLOGI PENELITIAN. Mulai. Persiapan alat dan bahan. Meshing AAS. Kalsinasi + AAS. Pembuatan spesimen

BAB III METODE PENELITIAN

METODE PENELITIAN. Waktu pelaksanaan penelitian terhidung sejak bulan Juni 2013 sampai dengan

METODE PENELITIAN. Penelitian dilaksanakan terhitung sejak bulan Januari 2015 sampai dengan Juni

BAB III METODE PENELITIAN

III. METODOLOGI PENELITIAN

BAB III METODE PENELITIAN. Penelitian ini dilakukan di Laboratorium Riset Kimia Jurusan Pendidikan

3 Metodologi Penelitian

BAB 3 METODE PENELITIAN. 3.1 Alat Alat Adapun alat-alat yang digunakan pada penelitian ini adalah: Alat-alat Gelas.

III.METODOLOGI PENELITIAN. Tempat penelitian ini dilakukan adalah: 1. Persiapan serat dan pembuatan komposit epoxy berpenguat serat ijuk di

BAB III METODOLOGI PELAKSANAAN

BAB I PENDAHULUAN. pesat sehingga untuk mentransmisikan energi yang besar digunakan sistem

BAB III METODE PENELITIAN. Penelitian ini dilakukan di Laboratorium Riset Kimia Jurusan Pendidikan

BAB III METODOLOGI PENELITIAN

Bab III Metodologi Penelitian

BAB III METODOLOGI PENELITIAN

III. METODOLOGI PENELITIAN. Penelitian ini telah dilakukan di Laboratorium Kimia Anorganik/Fisik Fakultas

III. METODE PENELITIAN. Penelitian ini dilakukan pada bulan Februari hingga Mei 2012 di Laboratorium. Fisika Material, Laboratorium Kimia Bio Massa,

III.METODOLOGI PENELITIAN. 1. Persiapan serat dan pembuatan komposit epoxy berpenguat serat ijuk di

BAB III METODE PENELITIAN. Kegiatan penelitian ini dilaksanakan selama 6 bulan, dimulai dari bulan

III. METODOLOGI PENELITIAN. Penelitian ini dilaksanakan pada bulan Mei Agustus 2014 di Laboratorium

ADLN - PERPUSTAKAAN UNIVERSITAS AIRLANGGA BAB III METODE PENELITIAN. hingga bulan Desember Tempat pelaksanaan penelitian ini yaitu

BAB III METODOLOGI PENELITIAN

BAB III METODE PENELITIAN

III. PROSEDUR PERCOBAAN. XRD dilakukan di Laboratorium Pusat Survey Geologi, Bandung dan

METODOLOGI PENELITIAN

BAB III METODE PENELITIAN. Teknologi Universitas Airlangga, Bank Jaringan Rumah Sakit dr. Soetomo

Metodologi Penelitian

METODOLOGI PENELITIAN

III. METODE PENELITIAN

BAB III METODE PENELITIAN

BAB III METODOLOGI PENELITIAN

BAB III METODOLOGI PENELITIAN

BAB III METODOLOGI PENELITIAN. Metode yang digunakan dalam penelitian ini adalah dengan metode eksperimen.

BAB III METODOLOGI PENELITIAN

BAB III METODOLOGI PENELITIAN. Penelitian ini dilakukan di beberapa tempat sebagai berikut:

III. METODOLOGI PENELITIAN. Penelitian ini dilakukan pada bulan Mei-Juli 2013 di Laboratorium Kimia

BAB III METODE PENELITIAN. penelitian ini dilakukan pembuatan keramik Ni-CSZ dengan metode kompaksi

BAB III METODE PENELITIAN. Ide Penelitian. Studi Literatur. Persiapan Alat dan Bahan Penelitian. Pelaksanaan Penelitian.

III. METODE PENELITIAN. Penelitian ini dilaksanakan pada September hingga Desember 2015 di

BAB III METODOLOGI PENELITIAN

BAB III METODE PENELITIAN. Metode penelitian yang dilakukan adalah metode eksperimen yang dilakukan di

III. METODOLOGI PENELITIAN. Penelitian ini dilaksanakan pada bulan Maret 2015 sampai Mei 2015 di

BAB III METODE PENELITIAN. Penelitian ini dilakukan di Laboratorium Riset Kimia dan Laboratorium

III. METODOLOGI PENELITIAN. a. Persiapan dan perlakuan serat ijuk di Laboratorium Material Teknik Jurusan

3 Metodologi Penelitian

III. METODOLOGI PENELITIAN. Penelitian ini dilakukan di Laboratorium Kimia Anorganik Fakultas Matematika

BAB III METODE PENELITIAN

3 METODE 3.1 Waktu dan Tempat 3.2 Bahan dan Alat

III. METODOLOGI PENELITIAN. Penelitian ini dilakukan di Laboratorium Kimia Anorganik Fakultas Matematika dan

III. METODE PENELITIAN. Penelitian ini dilaksanakan pada bulan Juli sampai dengan Agustus 2015 di

BAB III METODE PENELITIAN. penelitian ini dilakukan pembuatan keramik komposit CSZ-Ni dengan

- Rakel dengan lebar sesuai kebutuhan. - Penggaris pendek atau busur mika untuk meratakan emulsi afdruk;

BAB III EKSPERIMEN & KARAKTERISASI

BAB III METODELOGI PENELITIAN

BAB III METODOLOGI PENELITIAN. Studi Literatur. Pemotongan Sampel. Degreasing dengan larutan Acetone

BAB III METODE PENELITIAN

BAB III METODOLOGI PENELITIAN. Pada penelitian ini menggunakan metode screen printing melalui proses :

III. METODOLOGI PENELITIAN. Penelitian ini dilaksanakan pada bulan April 2012 sampai Januari 2013 di

III. METODE PENELITIAN. Penelitian ini dilaksanakan selama tiga bulan, yaitu pada bulan Januari 2012

BAB III METODE PENELITIAN. perancangan sampai merealisasikan antenna UWB mikrostrip dengan

BAB III METODOLOGI PENELITIAN

III. METODE PENELITIAN. Penelitian ini dilakukan pada bulan Februari 2013 sampai dengan selesai.

BAB 3 PERANCANGAN, SIMULASI dan PABRIKASI ANTENA

BAB III METODE PENELITIAN. Preparasi selulosa bakterial dari limbah cair tahu dan sintesis kopolimer

III. METODOLOGI PENELITIAN. Penelitian ini dilaksanakan pada bulan Februari 2013 sampai dengan Juni 2013 di

III. METODELOGI PENELITIAN. Penelitian ini dilaksanakan dari bulan Oktober 2012 sampai Agustus 2013,

BAB III METODOLOGI PENELITIAN

BAB III METODE PENELITIAN

KARAKTERISASI VCR DAN TCR KONDUKTOR PASTA PALLADIUM-PERAK PADA SUBSTRAT ALUMINA DENGAN TEKNOLOGI FILM TEBAL

III. METODE PENELITIAN. Penelitian ini dilaksanakan selama dua bulan, yaitu pada bulan Oktober 2011

BAB IV PERANCANGAN DAN REALISASI ANTENA ULTRAWIDEBAND

BAB III METODOLOGI PENELITIAN

BAB IV PERANCANGAN DAN REALISASI FILTER

BAB III METODE PENELITIAN. Anorganik, Departemen Kimia, Fakultas Sains dan Teknologi, Universitas

III. METODE PENELITIAN. Tempat penelitian dilakukan di beberapa tempat yang berbeda yaitu ; preparasi

III. METODOLOGI PENELITIAN. Penelitian ini telah dilaksanakan dari bulan Juli hingga September 2012 di

III. METODOLOGI PENELITIAN

BAB III METODE PENELITIAN

BAB III METODE PELAKSANAAN. Metode penelitian yang dilakukan menggunakan eksperimen murni yang

Transkripsi:

BAB III METODOLOGI A. Metodologi Penelitian Metodologi penelitian yang digunakan oleh penulis dalam penelitian ini yaitu studi literatur dan eksperimen. Material yang digunakan berupa substrat alumina (Al 2 O 3 ), pasta konduktor emas (Au), perak (Ag) dan palladium-perak (Pd/Ag) dengan teknik pembuatan screen printing dalam bentuk saluran transmisi mikrostrip. B. Waktu dan Tempat Penelitian Skripsi Tempat pelaksanaan : Pusat Penelitian Elektronika dan Telekomunikasi Lembaga Ilmu Pengetahuan Indonesia (PPET LIPI) Waktu pelaksanaan : September - November 2014 Alamat : Komplek LIPI Jl. Sangkuriang Gd. 20 Bandung 40135 telp. 022-2505660, 2504661 Fax. 022-2504659. C. Desain Penelitian Dalam penelitian ini, penulis menggunakan beberapa metode penelitian yang dibagi dalam tiga tahapan dan disusun secara sistematis seperti dalam bagan dibawah ini:

20 Studi Pendahuluan Studi Literatur Perancangan Bandpass Filter Pembuatan Bandpass Filter Karakterisasi Pengolahan Data Analisa Data Gambar 3.1 Diagram Alir Metode Penelitian Penelitian dibagi ke dalam tiga tahapan yaitu tahap persiapan, tahap pelaksanaan, dan tahap akhir. Berikut merupakan penjelasan dari masing masing kegiatan dari tiap tahapan. 1. Tahap Persiapan Kegiatan pada tahap persiapan adalah: Kesimpulan Akhir a. Studi pendahuluan dilakukan untuk menentukan rumusan masalah dan batasan masalah dari penelitian. Studi pendahuluan yang dilakukan dengan cara menganalisis penelitian- penelitian yang telah dilakukan sebelumnya,

21 sehingga didapatkan rumusan dan batasan masalah dalam merancang penelitian. Dalam penelitian kali ini, rumusan masalah yang diambil adalah pengaruh lapisan konduktor Ag, Pd/Ag & Au terhadap unjuk kerja mikrostrip bandpass filter dengan teknologi film tebal. b. Melakukan studi literatur melalui media cetak seperti buku ilmiah, tesis, jurnal, dan artikel maupun media elektronik seperti internet, ebook. c. Merancang kegiatan penelitian yaitu menentukan struktur mikrostrip bandpass filter yang akan dibuat, dimensi, teknik pembuatan, dan karakterisasi mikrostrip bandpass filter. d. Bandpass filter yang akan dibuat merupakan bandpass filter berbasis mikrostrip. Lapisan konduktor mikrostrip bandpass filter dibuat menggunakan 3 material pasta konduktor yang berbeda yaitu Ag, Pd/Ag & Au. Stuktur saluran mikrostrip menggunakan desain struktur bandpass filter dengan frekuensi tengah 456 MHz, bandwidth 60 MHz, VSWR 1 dan loss -93,55. 2. Tahap Pelaksanaan Kegiatan pada tahap pelaksanaan adalah; a. Pembuatan screen untuk lapisan saluran mikrostrip dan ground di atas substrat. b. Penumbuhan lapisan saluran mikrostrip dan ground di atas substrat menggunakan teknik screen printing. c. Proses pengeringan mikrostrip bandpass filter setelah lapisan saluran mikrostrip dan ground telah ditumbuhkan. Pengeringan dilakukan menggunakan pada temperature 100 o C selama 15 menit. d. Proses pembakaran mikrostrip bandpass filter dilakukan menggunakan Furnace Infra Red dengan temperature puncak 850 o C selama kurang lebih 30 menit. e. Mikrostrip bandpass filter yang telah dibuat dikarakterisasi menggunakan SEM (Scanning Electron Microscope), EDS (Energy Dispersive Spectroscopy), FTIR (Fourier Transform Infra Red) dan untuk mengetahui

22 unjuk kerja filter dilakukan pengukuran menggunakan VNA (Vector Network Analyzes). 3. Tahap Akhir Kegiatan yang dilakukan pada tahap ini adalah: a. Berdasarkan karakterisasi SEM akan dihasilkan foto struktur morfologi dari permukaan lapisan saluran mikrostrip bandpass filter. b. Berdasarkan karakterisasi EDS akan dihasilkan grafik komposisi material yang terkandung pada lapisan saluran mikrostrip bandpass filter. c. Berdasarkan karakterisasi FTIR akan dihasilkan grafik berupa hubungan bilangan gelombang dan persentase transmitansi yang merepresentasikan gugus fungsi pada lapisan saluran mikrostrip bandpass filter. d. Berdasarkan pengukuran VNA diperoleh data frekuensi tengah dari mikrostrip bandpass filter. e. Membuat kesimpulan berdasarkan hasil pengolahan dan analisis data. f. Memberikan saran yang harus dilakukan untuk penelitian selanjutnya berdasarkan temuan temuan pada penelitian ini. D. Alat dan Bahan 1. Bahan Bahan Penelitian a. CDF3 (Capilarry Direct Film) b. Ulano 133 c. Ulano 5 d. Pasta perak (Ag) e. Pasta palladium perak (Pd/Ag) f. Substrat Alumina (Al 2 O 3 ) 96 % g. Dye water h. Aseton 2. Peralatan Penelitian a. Screen b. Beaker glass

23 c. Pinset d. Screen printer e. Oven f. Furnace Infra Red g. Screen Maker h. Pemotong substrat i. Ultrasonic cleaner 3. Alat Karakterisasi a. SEM (Scanning Electron Microscope) b. EDS (Energy Dispersive Spektrocopy) c. FTIR (Fourier Transform Infra Red) d. VNA (Vector Network Analyzes) E. Langkah Langkah Penelitian Berikut merupakan langkah langkah penelitian yang dilakukan penulis yaitu: 1. Studi Literatur Studi literatur dilakukan pengumpulan sumber bacaan baik berupa media cetak ataupun media elektronik yang dapat dijadikan sebagai landasan teori dan dapat mendukung penelitian yang berkaitan dengan pembuatan bandpass filter dengan metoda screen printing menggunakan pasta Ag, Pd/Ag, dan Au. 2. Desain Filter Desain dari saluran mikrostrip filter yang digunakan harus mengacu kepada spesifikasi filter yang diharapkan. Struktur dari saluran mikrostrip sangat sensitif terhadap definisi dan dimensi saluran. Perubahan dimensi saluran akan mempengaruhi karakteristik dari bandpass filter. Karakteristik filter yang diharapkan pada penelitian kali ini yaitu memiliki frekuensi tengah (f c ) 456 MHz. Berdasarkan hasil simulasi dan perencanaan menggunakan software Else versi 2.40 yang telah dilakukan pada penelitian sebelumnya, diketahui

24 bandpass filter dengan karakteristik frekuensi tengah 456 MHz, bandwidth 60 Mhz, VSWR 1 dan loss -93,55 db dapat dibuat dengan desain sebagai berikut: Gambar 3.2 Desain Bandpass Filter 456 MHz 3. Pembuatan Filter Pembuatan filter dengan teknologi film tebal dilakukan menggunakan metode screen printing. Langkah pembuatan filter menggunakan metode screen printing digambarkan dalam diagram dibawah ini. Pencetakan desain filter dalam bentuk ortho film Pencucian Substrat Pembuatan Screen Pembakaran (Firing) Pengeringan (Drying) Pencetakan (Screening) Gambar 3.3 Skema Langkah Pembuatan Film Tebal

25 a. Pencucian Substrat Dalam proses penelitian sebelum substrat digunakan, substrat terlebih dahulu dibersihkan untuk menghilangkan kotoran seperti debu, bahan organik dan anorganik, atau keringat yang menempel padapermukaan substrat. Untuk membersihkan kotoran yang menempel pada permukaan substrat digunakan larutan dye water dan aseton serta digunakan alat dan bahan yang lainnya yang dibutuhkan untuk membersihkan substrat. Berikut merupakan alat dan bahan yang digunakan dalam proses pencucian substrat : 1) Substrat alumina (Al 2 O 3 ) 96% 2) Dye water 3) Aseton 4) Beaker glass 5) Ultrasonic cleaner Gambar 3.4 Aseton Gambar 3.5 Ultrasonic Cleaner

26 Berikut merupakan langkah langkah dalam pencucian substrat : 1) Siapkan alat dan bahan yang akan digunakan 2) Masukkan dye water ke dalam beaker glass 3) Rendam substrat menggunakan dye water dalam beaker glass 4) Letakkan beaker glass berisi substrat ke dalam ultrasonic cleaner 5) Rendam substrat dalam dye water selama 15 menit 6) Setelah 15 menit, angkat beaker glass dari ultrasonic cleaner dan ganti dye water dalam beaker glass dengan larutan aseton 7) Masukkan kembali beaker glass ke dalam ultrasonic cleaner 8) Rendam substrat dalam aseton selama 5 menit b. Pembuatan Screen Pembuatan pola diatas screen dilakukan agar pola filter yang terbentuk diatas substrat sesuai dengan yang kita inginkan. Selain sebagai pembentuk pola, screen juga berfungsi untuk menentukan ketebalan pasta yang diendapkann pada substrat. Pelapisan masker pada screen dilakukan dalam ruangan gelap. Berikut merupakan alat dan bahan yang digunakan dalam proses ini : 1) Screen terbuat dari bahan stainless steel berlubang lubang yang dipasangkan pada frame yang biasanya terbuat dari bahan aluminium. Screen yang digunakan diproduksi oleh Central SPS dan memiliki kerapatan 325 mesh. Gambar 3.6 Screen

27 2) CDF3 (Capilarry Direct Film), merupakan emulsi film yang dapat digunakan sebagai bidang cetak tembus. CDF 3 memiliki karakteristik tidak boleh terkena sinar atau cahaya secara langsung, temperatur udara kurang dari 27 o C, kelembaban normal, ketebalannya 30 m. 3) Ulano 133, merupakan bahan emulsi yang digunakan untuk melapisi bagian screen yang tidak tertutup CDF3. Gambar 3.7 Ulano 133 4) Ulano 5, merupakan bahan emulsi atau pasta pembersih screen dari bekas pembuatan pola screen sebelumnya. Gambar 3.8 Ulano 5 5) Screen Maker, merupakan alat yang digunakan untuk proses penyinaran dengan menggunakan sinar UV. Gambar 3.9 Screen Maker

28 6) Ortho-film, merupakan film dengan pola yang akan dicetak diatas screen. Gambar 3.10 Ortho Film Pembuatan pola diatas screen meliputi tahapan tahapan sebagai berikut: 1) Pemilihan screen. Screen yang digunakan dari bahan stainless steel berukuran 20 x 20 cm dengan kerapatan 325 mesh. Pemilihan screen dilakukan karena screen menentukan ketebalan pasta yang akan diendapkan diatas substrat. 2) Setelah menentukan screen yang akan digunakan, jika pada screen terdapat pola masker sebelumnya maka screen harus dibersihkan terlebih dahulu. Untuk membersihkan screen, screen harus dibasahi terlebih dahulu dengan cara alirkan air pada screen yang telah dipilih dan oleskan Ulano 5 pada permukaan depan dan belakang screen sambil disikat agar bentuk pola yang telah terbentuk sebelumnya dapat hilang. Setelah pola yang terbentuk sebelumnya memudar lalu semprot screen dengan air bertekanan tinggi dan pastikan screen telah bersih lalu keringkan screen menggunakan hair dryer hingga benar benar kering. 3) Setelah screen benar benar kering, lalu potong kertas film CDF3 sesuai dengan ukuran ortho-film yang akan digunakan. Letakkan potongan kertas CDF3 dengan bagian emulsi diatas, tepat dibagian tengah pada permukaan depan screen. Lalu rekatkan selotip pada CDF3 agar tidak mudah bergerak. Lapiskan bagian belakang screen tepat

29 dibelakang CDF3 menggunakan ulano 133 dengan dibantu rakel, lalu keringkan ulano 133 pada belakang screen menggunakan hair dryer hingga ulano 133 benar benar kering. 4) Setelah ulano 133 kering, lepaskan lapisan plastik dan selotip pada CDF3 dengan hati hati. Letakkan ortho-film diatas CDF3 yang telah dibuka lapisan plastiknya lalu rekatkan dengan isolasi agar tidak bergerak. 5) Lalu screen diletakkan ditengah tengah bidang penyinaran pada screen maker. Penyinaran dilakukan agar pola pada ortho film tercetak pada CDF 3 yang tidak tertembus cahaya, penyinaran screen menggunakan sinar UV selama 15 detik. Pada proses ini terjadi reaksi antara ortho-fim yang menutupi lintasan cahaya dan CDF 3. 6) Setelah screen selesai disinari, selanjutnya keluarkan screen dari mesin penyinaran lalu screen disemprot dengan air bertekanan tinggi secara perlahan agar pola yang telah terbentuk tidak rusak. Setelah pola yang dibuat terlihat, lalu screen dikeringkan menggunakan hair dryer hingga benar benar kering. 7) Proses terakhir dari pembuatan screen yaitu bagian pinggir screen yang tidak tertutup CDF3 dilapisi dengan ulano 133 dan diratakan menggunakan rakel dan dikeringkan dengan menggunakan hair dryer. 8) Setelah semua proses pembuatan screen dilakukan, berikut merupakan pola bandpass filter dan ground yang telah dibuat.

30 Gambar 3.11 Pola Filter Diatas Screen Gambar 3.12 Pola Ground Diatas Screen Secara sistematis proses pembuatan screen ditunjukkan dalam skema berikut ini:

31 Pemilihan Screen Pembersihan Screen Pelapisan CDF 3 Pemunculan pola pada screen Penyinaran Peletakkan ortho-film pada CDF 3 Pengeringan Pelapisan screen dengan ulano 133 Gambar 3.13 Proses Pembuatan Screen c. Penumbuhan Film Tebal Penumbuhan film tebal diatas substrat, dilakukan setelah pola terbentuk diatas screen. Penumbuhan film tebal dilakukan diatas substrat alumina. Adapun alat dan bahan yang digunakan selama proses penumbuhan film tebal, yaitu: 1) Screen yang telah terbentuk pola. Gambar 3.14 Screen Yang Telah Terbentuk Pola 2) Pasta, pasta yang digunakan pada teknologi film tebal merupakan pasta konduktor dari bahan perak (Ag) dan palladium perak (PdAg).

32 Pasta Ag yang digunakan merupakan produk Ferro Corporration tipe 3349 Ag Conductor Paste dengan Rs 1.2 m /sq. Gambar 3.15 Pasta Ag Sedangkan pasta Pd/Ag yang digunakan diproduksi oleh Dupont tipe produk Dupont 7484 dengan Rs 15-30 m /sq. Gambar 3.16 Pasta PdAg Sedangkan pasta Au yang digunakan diproduksi oleh Dupont tipe produk Dupont QG150 dengan Rs < 5 m /sq. 3) Substrat Alumina (Al 2 O 3 ) 96 % dengan ukuran 4 inch x 4 inch dan ketebalan 0,7 mm. 4) Screen printer, berfungsi mencetak pasta keatas permukaan substrat sesuai dengan pola screen. Screen printer yang digunakan merupakan produksi de Haart tipe SP SA 40.

33 Gambar 3.17 Screen Printer 5) Oven, berfungsi sebagai pengering pasta setelah pasta dicetak diatas substrat. Gambar 3.18 Oven 6) Furnace Infra Red, berfungsi melakukan proses pembakaran. Pada saat proses pembakaran, senyawa kimia pada pasta dirubah menjadi lapisan yang bersifat konduktor, resistor, atau dielektrik. Tungku pembakar yang digunakan adalah Conveyor Belt Furnace RTC LA- 310.

34 Gambar 3.19 Conveyor Belt Furnace RTC LA-310 Setelah pola terbentuk diatas screen, terdapat beberapa proses yang dilakukan dalam proses penumbuhan film tebal yaitu seperti dalam bagan berikut ini: Persiapan Alat & Bahan Pencetakan Filter & Ground Pengeringan Pembakaran Pemotongan Substrat Gambar 3.20 Langkah - Langkah Penumbuhan Film Tebal 1) Langkah awal yang dilakukan untuk membuat filter menggunakan metode screen printing yaitu mempersiapkan alat dan bahan yang akan digunakan dalam proses penumbuhan film tebal. Persiapan alat dan bahan meliputi pengaktifan tungku pembakar, karena dibutuhkan waktu yang cukup lama untuk meningkatkan temperatur tungku hingga mencapai suhu 850 o C maka tungku diaktifkan terlebih dahulu.

35 Selain persiapan tungku, alat lain yang yang perlu dipersiapkan yaitu screen printer dan pasta. Karena pasta disimpan didalam kulkas dalam jangka waktu yang lama, maka sebelum digunakan pasta perlu dicairkan dengan cara diaduk terlebih dahulu. 2) Pencetakan pola filter dilakukan dengan terlebih dahulu mengatur posisi screen yang telah memiliki pola dan substrat pada screen printer. Screen yang telah memiliki pola dan substrat dipasangkan pada screen printer, pastikan posisi screen tepat berada diatas substrat agar pola dapat tercetak tepat diatas substrat. Untuk mempermudah pengaturan posisi screen dan substrat, gunakan ortho-film letakkan diatas substrat dan amati ketika screen ditempelkan pada substrat pola ortho-film harus menutupi pola pada screen. 3) Atur jarak snap-off dan tekan rakel pada screen printer. Tuangkan pasta konduktor dibagian atas pola screen. Lalu dilakukan proses pencetakkan. 4) Maka didapatkan film tebal yang terbentuk diatas substrat alumina. d. Pengeringan Setelah pola filter terbentuk diatas substrat, agar lapisan filter yang telah dicetak lebih cepat mengering maka selanjutnya filter dikeringkan dengan menggunakan oven. Filter dikeringkan dalam oven pada temperatur 100 o C selama 15 menit. Namun, jika masih terdapat pola yang tidak bagus, maka pola dapat dihapus dengan menggunakan thinner. e. Pembakaran Setelah filter kering, filter harus dibakar dalam temperatur tinggi agar lapisan pasta lebih solid dan tahan terhadap goresan. Filter dibakar dengan menggunakan Furnace Infra Red dengan temperatur puncak 850 o C. Filter dibakar dalam tungku selama kurang lebih 30 menit.

36 Gambar 3.21 Filter Yang Dihasilkan Setelah Proses Pembakaran f. Pemotongan Substrat Setelah filter terbentuk, lalu substrat lalu substrat alumina dipotong menggunakan mata intan sesuai ukuran lapisan filter yang terbentuk. Gambar 3.22 Alat Pemotong Substrat F. Karakterisasi Karakterisasi dibagi menjadi empat macam yaitu: 1. Karakterisasi Scanning Microscopy Electron (SEM) Scanning Microscopy Electron (SEM) adalah mikroskop yang menggunakan hamburan elektron dalam membentuk bayangan. Hasil dari foto SEM dapat digunakan untuk mengetahui bagaimana morfologi permukaan dari suatu kristal (butir-butir dan batas antar butir). Untuk mengetahui ukuran butir hasil SEM, dilakukan pengukuran menggunakan metode Heyn yaitu dengan menggunakan persamaan berikut: nl L K (3.1) v P Keterangan: K = Ukuran butir ( )

37 n = Banyaknya garis L = Panjang garis v = Perbesaran SEM = Banyaknya butir Dalam penelitian ini SEM digunakan untuk mendapatkan citra morfologi lapisan konduktor. SEM dilakukan di Pusat Penelitian dan Pengembangan Geologi Kelautan (P3GL). 2. Karakterisasi EDS Karakterisasi EDS dilakukan untuk mengetahui komposisi dari lapisan konduktor bandpass filter. Hasil dari EDS berupa persentase atom yang terkandung pada bahan yang diteliti. Dalam penelitian ini EDS digunakan untuk mendapatkan komposisi lapisan konduktor. EDS dilakukan di Pusat Penelitian dan Pengembangan Geologi Kelautan (P3GL). 3. Karakterisasi FTIR Karakterisasi FTIR merupakan karakterisasi yang bertujuan untuk mengetahui gugus fungsi suatu material. Karakterisasi FTIR dilakukan di Laboratorium Kimia Instrumen Universitas Pendidikan Indonesia. Hasil scan FTIR yang diperoleh berupa grafik hubungan antara bilangan gelombang dan persentase transmitansi. 4. Pengukuran Filter Pengukuran filter menggunakan Vector Network Analyzer (VNA) untuk mengetahui unjuk kerja dari filter berupa frekuensi tengah, bandwidth, VSWR, dan loss. Pengukuran filter dilakukan di Pusat Penelitian Elektronika dan Telekomunikasi Lembaga Ilmu Pengetahuan Indonesia (PPET LIPI)