SIFAT MEKANIK DAN STRUKTUR MIKRO LAPISAN TIPIS NITRIDA BESI YANG DIDEPOSISIKAN PADA ROLL BEARING DENGAN TEKNIK SPUTTERING

Transkripsi

1 150 ISSN Wirjoadi., dkk. SIFAT MEKANIK DAN STRUKTUR MIKRO LAPISAN TIPIS NITRIDA BESI YANG DIDEPOSISIKAN PADA ROLL BEARING DENGAN TEKNIK SPUTTERING Wirjoadi, Elin Nuraini, Ihwanul Aziz, Bambang Siswanto Pusat Teknologi Akselerator dan Proses Bahan Badan Tenaga Nuklir Nasional Yogyakarta ABSTRAK SIFAT MEKANIK DAN STRUKTUR MIKRO LAPISAN TIPIS NITRIDA BESI YANG DIDEPOSISIKAN PADA ROLL BEARING DENGAN TEKNIK SPUTTERING. telah dilakukan deposisi lapisan tipis nitrida besi (FeN) pada material roll bearing dengan teknik DC sputtering. Apabila antara elektroda (anoda dan katoda) dalam suatu tabung bertekanan rendah dipasang beda tegangan, maka dalam ruangan antara elektroda akan dihasilkan suatu plasma. Dalam penelitian ini substrat roll bearing diletakkan pada anoda, sedangkan target Fe diletakkan pada katoda. Sebagai gas sputter dalam teknik DC sputtering digunakan gas argon dan gas nitrogen sebagai gas reaktif. Penelitian ini bertujuan untuk meningkatkan sifat-sifat mekanik (kekerasan) dan pengamatan struktur mikro lapisan tipis nitrida besi (FeN) yang dideposisikan pada material roll bearing. Untuk deposisi lapisan tipis FeN pada material roll bearing divariasi suhu 100;150; 200 dan 250 o C, waktu deposisi 30; 60; 90 dan 120 menit. Uji sifat mekanik dilakukan dengan microhardness tester, diperoleh hasil optimum pada suhu 150 o C dan waktu deposisi 60 menit dengan nilai kekerasan sebesar 595 VHN. Pengamatan struktur mikro dan komposisi unsur dengan menggunakan SEM dan EDS. Hasil karakterisasi menunjukkan bahwa permukaan lapisan yang hampir merata dan homogeny. Komposisi unsur N 2 = 20,22 %; Cr = 0,05 % dan Fe = 77,34 %. Kata kunci : Nitrida besi, roll bearing, kekerasan, sputtering. ABSTRACT MECHANICAL PROPERTIES AND MICROSTRUCTURAL OF IRON NITRIDE THIN FILM DEPOSITED ON ROLL BEARING BY SPUTTERING TECHNIQUE. The Iron nitride (FeN) thin films were deposited on roll bearing material by using plasma DC sputtering technique. If the difference voltage is setting on anode and cathode in a low pressure of plasma tube, then the between electrode will be produce a plasma. In this research, roll bearing substrate and Fe target putted at the anode and cathode. In the DC sputtering technique is Argon and Nitrogen as sputter and reactive gas. The purpose of research is to increase the mechanical properties (hardness) and microstructural of iron nitride thin fim deposited on roll bearing. The deposition of FeN thin film on roll bearing material was varied at (100, 150, 200, 250 o C) of substrate temperature and (30, 60, 90, 120 min) of time deposition. The micro hardness testing was done using Digital Type Microhardness Tester. It was obtained that the optimum hardness of roll bearing deposited are about 595 VHN this was achieved at substrate temperature of 150 o C and deposition time 60 min. The micro structure and elements composition were observed by using SEM and EDS. The result of characterization was obtained that FeN thin film surface is near smooth and the elements composition is about N 2 = 20,22 %; Cr = 0,05 % and Fe = 77,34 %. Keyword : Iron nitride, roll bearing, hardness, sputtering PENDAHULUAN P ada tahun terakhir ini telah banyak dilakukan upaya untuk membuat material logam dengan sifat-sifat mekanik yang lebih baik yaitu material yang mempunyai sifat mekanik yang lebih keras dan tahan aus. Dalam bidang industri khususnya komponen-komponen mesin yang saling bergesekan dengan komponen lain dan menyangga beban berat, maka akan terjadi gesekan antar permukaan yang dapat memperpendek umur pakai, sehingga akan menimbulkan keausan pada permukaan material. Komponen-komponen mesin pada umumnya dibuat dari baja karbon atau baja paduan, sehingga masih mempunyai banyak kelemahan. Dalam suatu sistem mekanik dan perkakas industri maupun komponen mesin, umur pakainya dibatasi oleh keausan sistem. Untuk memenuhi kebutuhan tumbuhnya permintaan aplikasi atau pemanfaatan material baja pada komponen mesin, diperlukan suatu teknik modifikasi permukaan (techniques of surface modification). Teknik modifikasi ini untuk meningkatkan kekerasan permukaan dan mengurangi koefisien gesekan, serta

2 Wirjoadi., dkk. ISSN memperbaiki sifat-sifat mekanik menjadi material baru yang mempunyai sifat keras lebih baik.(1,2,3 ) Dengan kemajuan teknologi pada saat ini terdapat beberapa teknik modifikasi permukaan dengan menggunakan nitrogen, diantaranya telah dikembangkan teknik proses pelapisan untuk membentuk lapisan tipis dan memperbaiki sifat permukaan material menjadi material baru yang lebih keras. Teknik modifikasi permukaan tersebut adalah teknik nitridasi gas suhu tinggi (High Temperature Gas Nitriding : HTGN), nitridasi plasma suhu rendah (Low Temperature Plasma Nitriding) dan deposisi lapisan tipis nitrida besi (FeN) dengan teknik sputtering. Dalam penelitian ini akan menggunakan teknik sputtering yaitu proses pelapisan yang akan membentuk lapisan tipis nitrida besi dari target (Fe) yang didepositkan pada permukaan substrat material roll bearing ditambah gas nitrogen sebagai gas reaktif dan gas argon sebagai gas sputter.(4,5,6 ) Teknik sputtering ini merupakan pengembangan dari teknik coating yang sering digunakan untuk mendepositkan atom-atom material target hasil percikan pada permukaan suatu substrat atau material roll bearing. Teknik plasma sputtering ini mempunyai keunggulan apabila dibandingkan dengan teknik coating, yaitu pada material yang akan dilapiskan atau didepositkan tidak harus dipanaskan sampai meleleh. Hal ini sangat menguntungkan apabila untuk mendepositkan material-material yang mempuyai titik leleh tinggi dan lebih kuat melekat, karena atom-atomnya dapat masuk lebih dalam permukaan substrat, sehingga dapat untuk memperpanjang umur pakai material tersebut.(7,8 ) Dalam sistem teknik sputtering, target Fe diletakkan pada katoda, sedangkan roll bearing diletakkan pada anoda. Pada proses pelapisan dengan DC sputtering ini target Fe telah didepositkan pada permukaan roll bearing ditambah gas nitrogen sebagai gas reaktif. Pada umumnya gas sputter dalam teknik DC sputtering yang digunakan adalah gas argon. Untuk deposisi lapisan tipis FeN yang terdeposit pada suatu permukaan substrat sangat dipengaruhi terutama oleh suhu substrat dan waktu deposisi, serta komposisi campuran gas argon dan gas nitrogen. Penelitian ini bertujuan untuk meningkatkan sifat-sifat mekanik (kekerasan) dan struktur mikro lapisan tipis nitrida besi (FeN) yang dideposisikan pada material roll bearing.(8,9,10). Gambar 1. Roll bearing mesin sepeda motor Gambar 2. Roll bearing. Gambar 3. Bagian roll bearing. Gambar 4. Tampang lintang material komponen mesin (roll bearing) TATA KERJA Dalam penelitian ini cara kerjanya ada beberapa macam tahapan yang telah dilakukan yaitu persiapan bahan komponen mesin untuk substrat dan target Fe, gas nitrogen sebagai gas reaktif dan gas argon sebagai gas sputter, persiapan preparasi sampel dan peralatan sputtering untuk penelitian, pelaksanaan penelitian yaitu proses deposisi lapisan tipis nitrida besi (FeN) pada substrat material roll bearing, analisa data dari hasil proses lapisan tipis FeN yang didepositkan ke permukaan roll bearing. Persiapan Penelitian Persiapan bahan Bahan yang digunakan untuk penelitian yaitu material roll bearing untuk substrat yang dibeli dipasaran, sedangkan bahan Fe untuk target dibeli dari luar negeri. Bahan lain yang digunakan untuk mendukung penelitian ini yaitu gas argon untuk gas sputter dan gas nitrogen untuk gas reaktif. Kemudian bahan cairan untuk membersihkan substrat yaitu bensin, alkohol dan aceton, sedangkan kertas gosok, autosol untuk meratakan permukaan substrat, dan

3 152 ISSN Wirjoadi., dkk. kain halus (beludru) digunakan untuk menghaluskan permukaan substrat hingga menyerupai cermin. Persiapan peralatan a). Reaktor plasma 1. Tabung reaktor dari stainless steel yang dilengkapi dengan sebuah jendela kaca. 2. Pemegang target dan pemegang substrat. 3. Catu daya arus searah. 4. Alat ukur arus, tegangan dan vakum. 5. Pompa vakum (rotari dan turbo). 6. Pemanas substrat dan pendingin target. b). Alat-alat karakterisasi 1. Karakterisasi sifat-sifat mekanik dengan peralatan microhardness tester. 2. Karakterisasi struktur mikro dengan peralatan SEM (Scanning Electron Microscope). 3. Karakterisasi komposisi unsur dengan peralatan EDS (Electron Dispersive Spectroscopy). Gambar 5. Skema Sistem Deposisi DC Sputtering. Pelaksanaan Penelitian Preparasi substrat Bahan material roll bearing yang mengandung unsur Sn, Sb, Cu, Pb, Fe, As, Bi, Zn, Cd dan Al dipotong-potong dengan ukuran panjang 20 mm dan lebar 10 mm. Pada bagian permukaan yang akan dilapisi digosok dengan kain halus (beludru), lalu permukaannya diolesi autosol, kemudian digosok dengan kain bludru lagi sampai halus dan kelihatan menyerupai cermin. Setelah substrat kelihatan menyerupai cermin lalu dicuci dengan bensin sampai beberapa kali, kemudian substrat dicuci lagi dengan alkohol atau aceton yang ditempatkan pada alat ultra sonic cleaner, sehingga substrat roll bearing bersih dari kotoran dan lemak yang menempel pada permukaan substrat. Setelah itu substrat roll bearing dibersihkan dengan tissue, lalu dikeringkan dalam pemanas/oven dengan suhu 100 o C selama 1 jam, berfungsi untuk menguapkan cairan yang menempel substrat, kemudian dari oven substrat diambil, selanjutnya dimasukkan dalam pembungkus plastik klip.(8) Deposisi lapisan tipis FeN pada material roll bearing Deposisi lapisan tipis FeN pada roll bearing dilakukan dengan metode DC sputtering dan skema peralatan seperti yang ditampilkan pada gambar 5. Untuk target Fe diletakkan pada katode, sedangkan substrat roll bearing diletakkan pada anode. Kemudian tabung reaktor divakumkan menggunakan pompa turbo hingga tekanan 1,33 x 10 5 mbar, berfungsi untuk membersihkan partikel-partikel yang tak dikehendaki. Setelah pompa vakum turbo mencapai tekanan yang disyaratkan, kemudian gas argon sebagai gas sputter dan gas nitrogen sebagai gas reaktif dialirkan melalui kran, sehingga tekanan gas di dalam tabung reaktor akan naik menjadi 1,33x10 2 mbar. Pada bagian katoda (tempat target) didinginkan dengan air pendingin agar supaya suhu tempat target tidak naik karena tertumbuk ion argon. Kemudian pada bagian anoda (tempat substrat) justru dipasang pemanas yang berfungsi untuk memperbesar frekuensi getaran atom substrat. Apabila penyedia daya tegangan tinggi dc dihidupkan, maka gas argon yang ada pada celah elektroda akan terionisasi. Ion argon akan menumbuki target Fe, kemudian atom-atom Fe dan N akan bersenyawa menjadi FeN bersama-sama menumbuk permukaan substrat hingga membentuk lapisan tipis FeN pada permukaan substrat roll bearing. Lapisan tipis FeN yang terdeposit pada permukaan substrat roll bearing akan tergantung pada parameter sputtering yaitu suhu substrat, waktu deposisi, tekanan gas, aliran gas reaktif N 2 dan gas sputter Argon. Deposisi lapisan tipis FeN dengan metode sputtering dc ini telah divariasi dengan parameter suhu substrat 100, 150, 200 dan 250 o C, waktu deposisi 30; 60; 90 dan120 menit. Pada proses deposisi lapisan tipis FeN ini telah dilakukan pada posisi jarak anode dan katode 2 cm, tekanan gas 5x10-2 mbar, aliran gas reaktif nitrogen 20 % dan gas sputter argon 80 %, beda tegangan (anode-katode) 2 kv dan arus 20 ma.(4,5) Karakterisasi Untuk mengamati nilai kekerasan telah dilakukan pengukuran karakterisasi sifat-sifat mekanik (kekerasan) hasil lapisan tipis FeN yang didepositkan pada permukaan substrat roll bearing dengan peralatan Microhardness tester di Universitas Negeri Yogyakarta (UNY). Pengamatan morfologi permukaan struktur mikro dan tampang lintang hasil sputtering dari lapisan tipis FeN pada permukaan substrat roll bearing dilakukan dengan menggunakan peralatan SEM (Scanning Electron Microscope).

4 Wirjoadi., dkk. ISSN Sedangkan untuk mengamati kandungan komposisi unsur kimia pada permukaan lapisan dan kedalaman tertentu dilakukan dengan EDS (Electron Dispersive Spectroscopy) di PPPGL Bandung. HASIL DAN PEMBAHASAN Parameter Suhu Dalam penelitian ini material cuplikan yang dideposisi dengan lapisan nitrida besi (FeN) adalah material roll bearing. Untuk mendapatkan lapisan tipis nitrida besi pada substrat roll bearing dengan metode sputtering dc yang mempunyai sifat mekanik lebih kekeras tergantung pada suhu substrat dan waktu deposisi. Hasil pengukuran karakterisasi sifatsifat mekanik (kekerasan) lapisan tipis nitrida besi (FeN) pada substrat material roll bearing variasi suhu 100; 150; 200 dan 250 o C untuk waktu deposisi 60 menit, pada tekanan gas 5,0 x 10-2 mbar dan komposisi campuran gas Ar/N 2 = 80/20 ditunjukkan pada Gambar 6. besi (FeN) pada material roll bearing diperoleh optimum sekitar 595 VHN, pada suhu 150 o C untuk waktu deposisi 60 menit. Jika nilai kekerasan optimum tsb dibandingkan dengan nilai kekerasan standar 268 VHN, maka terjadi peningkatan nilai kekerasan sekitar 222 %. Parameter waktu deposisi Hasil pengukuran karakterisasi sifat-sifat mekanik (kekerasan) lapisan tipis nitrida besi (FeN) pada substrat material roll bearing variasi waktu deposisi 30; 60; 90 dan 120 menit untuk suhu 150 oc, pada tekanan gas 5,0 x 10-2 mbar dan komposisi campuran gas Ar/N 2 = 80/20 ditunjukkan pada Gambar 7. Gambar 6. Hubungan antara suhu substrat dengan kekerasan lapisan tipis nitrida besi (FeN) pada material roll bearing hasil sputtering pada waktu deposisi 60 menit. Pengamatan pengaruh suhu substrat terhadap kekerasan lapisan tipis nitrida besi (FeN) pada Gambar 6 terlihat bahwa apabila suhu dinaikkan dari 100 o C menjadi 150 o C untuk waktu deposisi 60 menit, maka nilai kekerasannya naik dari 460 VHN menjadi 595 VHN. Dalam hal ini disebabkan karena dengan meningkatnya suhu substrat, maka energi vibrasi atom-atomnya akan bertambah dan jarak antar atom semakin besar, sehingga atom-atom Fe dan N yang membentuk fase senyawa FeN akan menyisip dan masuk kedalam substrat.(1,3) Apabila suhu substrat dinaikkan lagi diatas 150 o C yaitu suhu 200 o C dan 250 o C, maka nilai kekerasan lapisan cuplikan justru menurun menjadi 422 VHN dan 309 VHN, karena nitrogen akan berdifusi lebih dalam dan membentuk daerah difusi dibawah lapisan senyawa. Berdasarkan hasil karakterisasi kekerasan dari cuplikan, maka nilai kekerasan lapisan tipis nitrida Gambar 7. Hubungan antara waktu deposisi dengan kekerasan lapisan tipis nitrida besi (FeN) pada material roll bearing hasil sputtering untuk suhu 150 o C. Dalam proses deposisi sputtering, ketebalan lapisan senyawa nitrida besi tergantung pada waktu deposisi dan ketebalan lapisan meningkat dengan bertambahnya waktu deposisi.untuk waktu deposisi 30 menit dalam Gambar 7 telah menunjukkan bahwa nilai kekerasan deposisi lapisan tipis nitrida besi FeN pada substrat material roll bearing sekitar 463 VHN. Ketika proses waktu deposisi diperpanjang menjadi 60 menit, maka nilai kekerasannya mengalami kenaikan menjadi sekitar 595 VHN. Dalam hal ini disebabkan karena kandungan senyawa atom-atom Fe dan N yang masuk ke dalam substrat material menjadi besar dan ketebalan lapisan senyawa nitrida besi juga bertambah besar. Apabila waktu deposisi diperpanjang lagi sampai 90 dan 120 menit, maka nilai kekerasan lapisan cuplikan justru menurun menjadi sekitar 432 VHN dan 336 VHN. Hal ini disebabkan oleh karena terjadi kejenuhan kandungan atom-atom nitrogen dan besi dalam plasma untuk membentuk senyawa nitrida besi, sehingga nilai kekerasan lapisan cuplikan roll bearing mengalami penurunan. Berdasarkan hasil karakterisasi kekerasan lapisan dengan peralatan microhardness tester, maka nilai kekerasan lapisan tipis nitrida besi

5 154 ISSN Wirjoadi., dkk. (FeN) pada material roll bearing diperoleh optimum sekitar 595 VHN, pada waktu deposisi 60 menit untuk suhu 150 o C. Dalam penelitian ini juga telah dilakukan pengamatan struktur mikro dan komposisi unsur kimia dengan menggunakan teknik SEM-EDS, terutama untuk mengetahui jumlah kandungan unsur nitrogen pada permukaan cuplikan sebelum dan setelah proses deposisi sputtering. Pengamatan struktur mikro dan komposisi unsur pada kondisi optimum yaitu waktu deposisi 60 menit dan suhu 150 o C. setelah proses deposisi apabila dibandingkan dengan permukaan sebelum proses deposisi sputtering menunjukkan ada pertambahan kandungan nitrogen sebesar 18,78 % atom. Pertambahan nitrogen ini berasal dari proses deposisi sputtering pada saat masuk ke dalam permukaan cuplikan dan berinteraksi dengan metal, khususnya besi akan membentuk lapisan senyawa nitrida besi (FeN) yang mempunyai sifat sangat keras atau mempunyai ketahanan aus yang baik. Gambar.8. Foto morfologi permukaan struktur mikro dengan SEM dan komposisi unsur dengan EDS untuk cuplikan sebelum deposisi. Hasil karakterisasi dan foto morfologi permukaan struktur mikro untuk cuplikan roll bearing dengan peralatan SEM, perbesaran 1000 kali dan komposisi unsur kimia dengan peralatan EDS. Gambar 8 menampilkan mikrograf SEM-EDS, untuk cuplikan sebelum mengalami proses deposisi sputtering. Gambar 9 menampilkan mikrograf SEM-EDS, untuk cuplikan material setelah mengalami proses deposisi sputtering. Berdasarkan analisis komposisi unsur kimia dari hasil karakterisasi menggunakan teknik SEM-EDS, maka diperoleh bahwa pada permukaan cuplikan roll bearing standar mempunyai kandungan N = 1,44 % atom; Cr = 1,77 % atom dan Fe = 96,8 % atom. Sedangkan pada permukaan lapisan cuplikan roll bearing setelah dilakukan proses deposisi dengan metode sputtering mempunyai kandungan N =20,22 % atom; Cr =0,05 % atom; Fe =77,34 % atom; Ni =2,13 % atom dan Mo =0,26 % atom. Kandungan nitrogen di permukaan lapisan Gambar.9. Foto morfologi permukaan struktur mikro dengan SEM dan komposisi unsur dengan EDS setelah dideposisi FeN pada material roll bearing, optimum pada suhu 150 o C, untuk waktu deposisi 60 menit. Gambar 10. Foto tampang lintang struktur mikro dgn (SEM) dan komposisi unsur dgn (EDS) lapisan tipis FeN pada roll bearing, untuk suhu 150 o C, waktu deposisi 60 menit pada kedalaman 2,5 µm.

6 Wirjoadi., dkk. ISSN Gambar 11. Foto tampang lintang struktur mikro dgn (SEM) dan komposisi unsur dgn (EDS) lapisan tipis FeN pada roll bearing, untuk suhu 150 o C, waktu deposisi 60 menit pada kedalaman 5 µm. Hasil karakterisasi dan foto dari tampang lintang struktur mikro untuk cuplikan roll bearing dengan peralatan SEM, perbesaran 1000 kali dan komposisi unsur kimia dengan peralatan EDS. Tampang lintang pada Gambar 10 terlihat bahwa ada lapisan senyawa nitrida besi berwarna putih, yang mempunyai kandungan unsur nitrogen sebesar 10,03 % atom pada posisi kedalaman 2,5 µm. Sedangkan untuk tampang lintang pada Gambar 11 terlihat bahwa ada lapisan yang membentuk struktur senyawa nitrida besi dan mempunyai kandungan unsur nitrogen sebesar 1,62 % atom pada osisi kedalaman 5 µm. Berdasarkan hasil pengamatan tersebut dapat diketahui bahwa kandungan nitrogen akan semakin kecil dengan bertambahnya penetrasi nitrogen ke dalam permukaan substrat. KESIMPULAN Berdasarkan hasil karakterisasi cuplikan dan pembahasan tentang deposisi lapisan tipis FeN pada substrat material roll bearing seperti yang diuraikan di atas, maka dapat diambil beberapa kesimpulan sebagai berikut : Karakterisasi sifat mekanik lapisan tipis FeN pada metal roll bearing hasil sputtering dengan microhardness tester diperoleh nilai kekerasan optimum 595 VHN, pada suhu 150 o C, untuk waktu deposisi 60 menit, sedangkan untuk cuplikan roll bearing standar 268 VHN. Hasil karakterisasi sifat mekanik diperoleh peningkatan nilai kekerasan sebesar 222 %. Karakterisasi morfologi struktur mikro dan komposisi unsur kimia dengan teknik SEM-EDS memperlihatkan adanya lapisan yang membentuk fase senyawa nitrida besi pada permukaan material roll bearing mengandung unsur N2 = 20,22%; Cr = 0,05% dan Fe = 77,34%. Karakterisasi tampang lintang struktur mikro dengan teknik (SEM-EDS) memperlihatkan bahwa kandungan unsur nitrogen diperoleh sebesar 10,03 % atom pada kedalaman 2,5 µm dan kandungan unsur nitrogen sebesar 1,62 % atom pada kedalaman 5 µm dari permukaan material. UCAPAN TERIMA KASIH Dengan ini kami sebagai penulis mengucapkan banyak terima kasih kepada Sdr Slamet Riyadi yang telah membantu pelaksanaan penelitian ini, terutama pada saat melakukan preparasi cuplikan, proses eksperimen, pengambilan data dan karakterisasi cuplikan. Semoga segala bantuan dan amal budi baik saudara mendapat balasan dari Allah SWT. Amien. DAFTAR PUSTAKA 1. LOWRENCE H, VAN VLACK, Elements of Materials Science and Engineering, University of Michigan, Addision Wesley Publishing Company, Reading Mass, USA, TJIPTO SUJITNO, SUPARDJONO M, Pengaruh Suhu dan Waktu nitridasi Terhadap Kekerasan Permukaan Baja Karbon Rendah AISI 1010 yang Dinitridasi dengan Teknik Lucutan Pijar, Prosiding PPI, PPNY-BATAN, 1996, hal SUDJATMOKO DKK, Perubahan Sifat-sifat Mekanik Besi / Baja / Aluminium Terhadap Dosis dan Energi Ion Nitrogen, Prosiding PPI, PPNY-BATAN, 1996, hal L. RISSANEN, M. NEUBAUER, K. P. LIEB AND P. SCHAAF, The New Cubic Iron- Nitride Phase FeN Prepared by Reactive Magnetron Sputtering, Journal of Alloys and Compounds, Volume 274, Issues 1-2, 26 June 1998, Page L. RISSANEN, P. SCHAAF, M. NEUBAUER, P. LIEB, J. KEINONEN AND T. SAJAVAARA, The Production of The New Cubic FeN Phase by Reactive Magnetron Sputtering, Applied Surface Science, Volume , Januari 1999, Pages A. S. KORHONEN AND E. HARJU, Surface Engineering with Light Alloys - Hard Coatings, Thin Films, and Plasma Nitriding, Journal of Materials Engineering and Performance, , Volume 9 (3), June A.M. de OLIVEIRA, R.M. MUNOZ RIOFANO, L.C. CASTELETTI, G.F. TREMILIOSI, and

7 156 ISSN Wirjoadi., dkk. 8. C.A.S. BENTO, Effect of The Temperature of Plasma Nitridinng in AISI 316L Austenitic Stainless Steel, Revista Brasileir de Aplicacoes de Vacuo, Vol. 2, No.2 (2003) SUDJATMOKO, Sputtering Untuk Rekayasa Permukaan Bahan, Diktat Kuliah Worshop, P3TM - BATAN Yogyakarta, E. ANDRZEJEWSKA, R. GONZALES- ARRABAL, D. BORSA AND D. O. BORMA, Study of The Phase of Iron-Nitride with a Stoichiometry Near to FeN, Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms,Volume 249, Issues 1-2, August 2006, Pages SHIGERU HAYAKAWA, Handbook of Sputtering Deposition Technology,Noyes Publications, TANYA JAWAB Herry Purnomo Wirjoadi Apa keunggulan teknik plasma sputtering apabila dibandingkan dengan teknik coating lainnya? Keunggulan teknik plasma sputtering apabila dibandingkan dengan teknik coating lainnya adalah pada material yang akan dilapiskan/didepositkan tidak harus dipanaskan sampai meleleh. Hal ini sangat menguntungkan apabila mendepositkan material material yang mempunyai titik leleh tinggi dan lebih kuat melekat, karena atom-atomnya dapat masuk lebih dalam pada permukaan substrat, sehingga dapat untuk memperpanjang umur pakai material.